LCD培训教材无尘室的原理

技术课培训教材LCD培训教材无尘室的原理第1页题目:无尘室原理内容介绍:无尘室原理;无尘室方式;无尘室管理.关键词:无尘室(CleanRoom);洁净度(Class);作成:金昌明LCD培训教材无尘室的原理第2页无尘室

什么是无尘室(CleanRoom):用通俗易懂语言来描述话,无尘室就是在某个空间空气中尘埃、微粒子控制在一定数值以下,把压力、温度、湿度、气流分布及其形状和速度控制在一定范围内为目标而建造屋子.CleanRoom简称为CRLCD培训教材无尘室的原理第3页洁净度什么是洁净度(Class)?就是指单位体积(通常是立方英尺)空气中含有大于、等于0.5μm直径尘粒数量,也称为无尘度.1英尺=30.48cm1英尺1英尺1英尺

为0.5μm直径尘粒.尘埃个数,就是洁净度.比如:有80个尘粒,那么洁净度就是80.LCD培训教材无尘室的原理第4页0.0010.010.11101001000粒径:

m烟尘大气尘云,雾大气中存在物常见粉、尘空气清洁装置电子显微镜下看得见粒子光学显微镜下看得见粒子肉眼看得见粒子油烟面粉干奶粉头发病毒HEPA过滤器静电式空气清净机普通空气过滤网微粒子大小LCD培训教材无尘室的原理第5页什么是尘粒?尘粒是微小灰尘、悬浮东西.尘粒越小,其表面积百分比相对增加,并不遵从牛顿定律运动,按重力垂落.而是在空气中做不规则运动,这种运动叫布朗运动.因是悬浮东西,而且做不规则运动,在洁净化技术、产品制造中是令人头痛代表物.总之,尘粒会对产品成品率高低影响至关主要.如:电腐蚀现象.尘埃LCD培训教材无尘室的原理第6页电腐蚀现象IC側尘粒(与空气中微量水份结合在一起)这么尘粒付着状态下通电话,电流经过尘粒流向邻近ITO中,会造成浅横线不良.这种状态下继续使用渐缓短路现象(在通电情况下渐渐地腐蚀ITO,以至于最终造成ITO断线→电腐蚀现象)电腐蚀:在通电情况下ITO被电解而造成断线现象LCD培训教材无尘室的原理第7页无尘室原理

经过空调系统和净化装置把空气进行调湿、调温和过滤,然后把净化空气经过无尘室高效过滤器送入到无尘室内,到达洁净等级标准.通常:温度:22℃±3℃;湿度:55%±5%.包含:1.空气调整系统;2.空气净化系统.LCD培训教材无尘室的原理第8页无尘室类型按洁净度和气流状态组合能够分为三种方式:紊乱式无尘室;水平平行流式无尘室;垂直平行流式无尘室.LCD培训教材无尘室的原理第9页1.紊乱式无尘室(ConventionalflowtypeCR):HEPA过滤器空气调和器进气口排气口HEPA:HighEfficiencyParticulateAirfilter.以玻璃纤维为主体制成高效过滤网经过无尘室屋顶高效过滤器出口向屋内送风.经过墙壁排气口回风.无尘室类型Ⅰ

LCD培训教材无尘室的原理第10页1.紊乱式无尘室(ConventionalflowtypeCR):HEPA过滤器空气调和器多孔板进气口无尘室类型Ⅰ

LCD培训教材无尘室的原理第11页无尘室类型Ⅱ

空气调和器照明吹出口2.水平平行式无尘室(CrossflowtypeCR):HEPA过滤网HEPA过滤网HEPA过滤网经过无尘室墙壁高效过滤器出口向屋内送风.经过墙壁排气口回风.LCD培训教材无尘室的原理第12页无尘室类型Ⅱ

2.水平平行式无尘室(CrossflowtypeCR):HEPA过滤网点检空间墙壁吸附口空气室LCD培训教材无尘室的原理第13页无尘室类型Ⅲ

3.垂直平行式无尘室(DownflowtypeCR):HEPA过滤网空气调和器经过无尘室屋顶高效过滤器出口向屋内送风.经过地板排气口回风.因经过整个屋顶高效过滤器向下送风,故该类型无尘室造价高于其它类型.地板(吸附口)LCD培训教材无尘室的原理第14页无尘室类型Ⅲ

3.垂直平行式无尘室(DownflowtypeCR):HEPA过滤网空气调和器屋顶内空气室地板下空气室地板吸附口LCD培训教材无尘室的原理第15页无尘室管理标准四大标准:杜绝把灰尘带入无尘室;降低和预防无尘室中尘粒产生;去除无尘室中灰尘;监测环境参数.LCD培训教材无尘室的原理第16页标准-11.杜绝把灰尘带入无尘室;进入无尘室中有:空气;人员;设备;材料等.LCD培训教材无尘室的原理第17页标准-11.杜绝把灰尘带入无尘室;(一).空气:(1).经过过滤网净化空气:惯用过滤网:玻璃纤维和玻璃石棉等.玻璃纤维:能过滤0.3

m悬浮尘粒,甚至到达0.04

m

悬浮尘粒;过滤效果:99.99%玻璃石棉:依据石棉直径大小决定;例:1

m石棉过滤1

m尘粒.LCD培训教材无尘室的原理第18页标准-11.杜绝把灰尘带入无尘室;(一).空气:(2).设定室内压力高于室外.为了预防室外未过滤空气经过缝隙或入口处进入到无尘室中,无尘室内要保持一定静压.无尘室中空气压力普通要比室外高25Pa左右.LCD培训教材无尘室的原理第19页标准-11.杜绝把灰尘带入无尘室;(二).人员:进入无尘室人员必须穿着无尘衣(包含手套、帽子、鞋、口罩),用纯水洗手,再经过风淋室进入无尘室.参考资料:进退入无尘室手顺书LCD培训教材无尘室的原理第20页标准-11.杜绝把灰尘带入无尘室;(三).设备及材料:进入无尘室设备及材料要经过特殊清洁方法,即除尘处理后,才能够进入无尘室.LCD培训教材无尘室的原理第21页标准-2进入无尘室必须穿着无尘衣.不得使用轻易产生灰尘材料、设备、备品等.使用无尘室用具.(无尘纸、无尘本、圆珠笔等)降低没必要人员活动、设备运转.制订设备摆放结构设计方案.没必要物品禁止带入到无尘室.无尘室中禁止脱无尘衣.无尘室内物品数量限制在最少程度.物品摆放作出要求,降低空气乱流.参考资料:无尘室管理要求2.降低和预防无尘室中尘粒产生.LCD培训教材无尘室的原理第22页标准-3定时清扫无尘室(每七天一次大扫除);设备、工作台天天要清扫;增加换气,尤其是易产生灰尘场所.3.去除无尘室中灰尘.LCD培训教材无尘室的原理第23页标准-4定时测定无尘度(每七天一次);空调系统定时点检;4.监测环境参数.LCD培训教材无尘室的原理第24页无尘室测定数据-1F测定日期:6月份(15日-30日)LCD培训教材无尘室的原理第25页无尘室测定数据-2F测定日期:6月份(15日-30日)LCD培训教材无尘室的原理第26页无尘室测定数据-3F