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  • 2006-10-19 颁布
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【正版授权-英语版】 ISO 18516:2006 EN Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 18516:2006 EN
  • 标准名称：表面化学分析 欧杰电子能谱和 X 射线光电子能谱 横向分辨率的确定
  • 英文名称：Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy — Determination of lateral resolution
  • 标准状态：废止
  • 发布日期：2006-10-19

文档简介

ISO18516:2006EN是一个关于表面化学分析的标准，特别关注了Auger电子光谱学和X射线光电子光谱学这两种分析方法，尤其是它们在确定横向分辨率方面的应用。

Auger电子光谱学是一种表面分析技术，它利用电子隧道扫描显微镜（STEM）中的能量损失谱（ELS）来研究样品表面的化学组成和化学键结构。当电子与表面原子相互作用时，会释放出Auger电子，这些电子的能量损失与表面元素的化学状态和化学键结构有关。因此，通过分析这些能量损失，可以确定样品表面的化学组成和化学键结构。

X射线光电子光谱学是一种表面分析技术，它利用X射线光电子能谱（XPS）来研究样品表面的化学组成。XPS是通过分析X射线与样品表面原子的相互作用产生的光电子来获取信息。与Auger电子光谱学类似，XPS也可以用于确定样品的化学组成和化学键结构。

在ISO18516:2006EN中，规定了如何使用Auger电子光谱学和X射线光电子光谱学来确定样品的横向分辨率。该标准提供了详细的实验步骤和数据处理方法，以确保结果的准确性和可靠性。此外，该标准还考虑了不同样品类型和表面状态的影响，并提供了相应的建议和指导。

ISO18516:2006EN标准提供了关于使用Auger电子光谱学和X射线光电子光谱学来确定样品横向分辨率的详细指南和规范。这些技术可以提供有关样品表面化学组成和化

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