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  • 2014-05-12 颁布
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【正版授权】 ISO 11952:2014 EN Surface chemical analysis - Scanning-probe microscopy - Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 11952:2014 EN
  • 标准名称：表面化学分析 扫描探针显微镜 使用 SPM 确定几何量：测量系统的校准
  • 英文名称：Surface chemical analysis — Scanning-probe microscopy — Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems
  • 标准状态：废止
  • 发布日期：2014-05-12

文档简介

ISO11952是一个关于表面化学分析的国际标准，它涉及到使用扫描探针显微镜（SPM）测定几何量的方法。其中，校准测量系统是该标准的一个重要部分。

校准测量系统的主要目的是确保扫描探针显微镜的测量精度和准确性。它涉及到对扫描探针显微镜的各种参数进行校准，包括扫描探针的位移、角度、力等。这些参数的准确测量对于获取准确的几何量数据至关重要。

在进行校准时，需要遵循一定的步骤和程序。首先，需要选择适当的校准标准物质，如标准样品或已知几何尺寸的物体。然后，通过一系列的校准操作，如测量、比较、验证等，确保扫描探针显微镜的测量系统能够准确地测量这些标准物质。

校准过程涉及到许多技术和方法，包括使用不同的扫描模式、选择适当的扫描参数、使用光学辅助装置等。这些技术和方法的正确使用可以大大提高校准的有效性和准确性。

ISO11952:2014ENSurfacechemicalanalysis—Scanning-probemicroscopy—DeterminationofgeometricquantitiesusingSPM:Calibrationofmeasuringsystems为扫描探针显微镜的用户提供了一种规范和标准的方法来校准他们的测量系统，以确保获取准确和可靠的几何量数据。这对于许多科学和工

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