• 现行
  • 正在执行有效
  • 2020-04-14 颁布
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【正版授权】 IEC TS 62607-5-3:2020 EN Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 5-3: Thin-film organic/nano electronic devices – Measurements of charge carrier concentration_第1页
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基本信息：

  • 标准号：IEC TS 62607-5-3:2020 EN
  • 标准名称：纳米制造-关键控制特性-第5-3部分：薄膜有机/纳米电子设备-载流子浓度的测量
  • 英文名称：Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 5-3: Thin-film organic/nano electronic devices – Measurements of charge carrier concentration
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2020-04-14

文档简介

IECTS62607-5-3标准主要关注纳米制造中的关键控制特性，特别是对于薄片有机/纳米电子设备中载流子浓度的测量。该标准提供了关于如何测量这些浓度的详细指南和要求。

以下是该标准中涉及的主要内容：

1.设备准备：在进行测量之前，需要确保设备处于最佳状态，并进行必要的清洁和预处理。

2.样品准备：样品应准备得足够小，以便能够测量单个设备或设备的部分。样品应尽可能保持薄片状，以减少测量误差。

3.测量方法：可以选择使用多种方法来测量载流子浓度，包括光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)和光谱学等方法。每种方法都有其优点和局限性，需要根据设备的特性和实验条件选择最合适的方法。

4.数据处理：在获得测量数据后，需要进行数据处理以获得准确的浓度值。这可能包括校准、归一化和线性化等步骤。

5.结果验证：在得出最终浓度值之前，必须验证测量结果的准确性和可靠性。这可以通过与其他方法或已知标准进行比较来实现。

6.质量控制：为了确保测量的准确性和可靠性，必须建立严格的质量控制程序，包括定期校准设备、检查样品质量和测量环境等。

7.误差分析：必须分析测量过程中的误差来源，并采取措施减少或消除这些误差。这可能包括改进测量方法、优化实验条件或使用更精确的测量设备。

IECTS62607-5-3标准为测量薄片有机/纳米电子设备中载流子浓度提供了详细的指南和要求。它涵盖了从设备准

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