T-SICA 006-2024 集成电路晶圆厂用天车传送系统通.用技术要求

SICAI 2 25.4天车控制系统 3 3 4 4 4 4 4 4 4 4 5 58.4贮存 5 5 6本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定司、重庆前卫无线电能传输研究院有限公司扬软件（上海）有限公司、荣耀半导体材料（嘉善）有限公1集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求本文件适用于集成电路晶圆厂用AMHS系统中的天车GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用GB/T13384机电产品包装通用技术3.1天车传送系统overheadhoisttransfer4缩略语AMHS：自动物料搬运系统（AutomaticMaterialHaAP：无线接入点（AccessPoint）FAB：晶圆制造车间（FabricatFOUP：12吋前开式晶圆盒（12"FrontOpeningUnifiedPoOCS：天车控制系统（OHTControlSyOHB：空中缓存单元（OverheadHoistBPOD：8吋开放式晶圆盒(8"Wafer2实际长度符合技术式样书的规定，满足震动5.2天车）；）；具有多组安全感应器，包括防追车测距传感器（Collision测传感器（LookForwardSensor下方物体检测传感器（LookDownSensor保险杠传感器（BumperSensor），FOUP防坠落检测传感器（FOUPDropDetectSensor夹爪摆动检测传感器（SwingSensor皮带松弛检测传感器（Sla）；AP运行状况整合到OCS≤80%5.3维修站c)提供测试轨道水平，温度，高度等相关的维修工具和设备；3e)提供安装更换天车所有部件的调试工具和设5.4天车控制系统控制器参数修改应能在具备可扩展性，有增加天车、轨道等扩展功能。具备监控各个天车运行数据以及部件寿命功能，包括但不限于天车行进速度、载荷状态、运核心部件运行数据开放，供使用具备故障避让功能，天车或轨道发生故障时，切断该故障轨道的运行，天车能自动避让故障具备天车与生产设备通信，天车运行，天车关非接触供电系统具备感热线温度监控功能。1具备在天车注册后，服务器将数据自动推送到天车，减少天车配置时间的功能。监控系统可接入本地网络。能够实时显示天车的位置、载荷状态、搬运路径及运行状态等信息。能够计算产品的可靠性把握机器的异常发生和修复状况，把握机器使用状况和稼动回数的推移。调查搬送回数和搬送时间的倾向，搬送时间的详细内容，调监控轨道上天车的通过量,监控轨道承载量。0具备故障排除说明书。46.1.2设备内部线路、气路等排列整齐有序，按类区分，无干涉现6.2防静电要求b)接地电阻：≤1Ω;6.3防火要求b)应防止产生不适当的化学混合物；d)应配备火灾监测/抑制设备，设备应连锁到电源和易7.1.1产品机械外壳应坚固并设置明显的安7.1.3急停功能应能强制切断设备的动力电源，在完7.1.4产品应配备故障报警装置、急停保护开关等安全设施和措施，并能正常工作，确保操作者的安7.2.2外露的电气线路和接插件布7.2.3设备运转中遇到非常状况时应能响应人工紧急停机；产品应在方便操作且醒目的位置安装急停7.2.4所有保护导线应进行端子连接，用作接地线的绝缘引线的表面应为黄绿双色，黄绿双色导线不得用作电气箱内的其他接线；电器控制箱汇流排接地处应有明显的接地端子与接地标58.2包装8.2.3随行文件应包括产品合格证和产品说明书、维修手册、常见故障排除手册等。8.3运输8.4贮存8.4.1应存放在清洁、干燥、通风良好、温度适宜的环境中，避免高温、高湿、灰8.4.3不同类型的设备应分类存放并定期对贮存的设备进行检查。9.1安装和维护过程中，供方的安装人员应符合使用方的安全要求，并在施工现场配置专门的安全人9.2供方应提供设备维修保养培训、现场操作培训和使用方需要的技能技术培训。应提供所有应用软9.3在设备保修期间，供方应提供设备维护及须更换的备件并与使用方约定零部件的损耗等级和存储9.4供方应提供售后服务，出现故障时在规定时间内提供维修答复和现场维修服务。9.5设备交货前，应通过所有功能测试并形成测试报告。测试报告包括详细的测试结果、测试项目、6[6]SEMIS1SafetyGuidelineforEquipmentSafetyL[7]SEMIS2Environmental,Health,andSafetyGuidelineforSemiconduManufacturingEquipment[8]SEMIE10Specification[9]SEMIS22SafetyGuidelinefortheElectricalDesignManufacturingEquipment[10]SEMIS23Guideforenergy,Utilities,a