设备安全管理及ESO安全查核

设备安全管理及ESO安全查核目录012

目录设备安全管理简介设备前期管理3

设备ESO查核具体介绍4设备ESO查核常见缺失设备安全管理设备使用期管理设备安全管理是对设备寿命周期全过程的管理，包括选择设备、正确使用设备、维护修理设备以及更新改造设备全过程的安全管理工作设备前期管理一、设备前期管理采购立项阶段专业小组审核各设备部门组织评估小组对设备基本安全规格要求进行讨论确认各负责人对确认版设备安全规格进行会签确认标书审核环安对需发售的标书中涉及设备安全规格的条款进行确认，确保标书符合专业小组要求合同审核招标完成后，环安对需签署的合同进行审核，确认所中标厂商对专业小组的设备安全规格要求如实相应，并在合同中进行约定验收确认根据厂商提供的安全符合报告及设备实际情况确认安全规范执行落实情况，并签字确认ESO第一阶段查核设备装机完后，对设备进行ESO第一阶段查核，确认是否满足送电要求，并签字确认，记录查核缺失ESO第二阶段查核如需进行第二阶段查核，则对设备进行第二阶段查核，确认是否满足供应要求，并签字确认，记录查核缺失ESO第三阶段查核设备验收前完成第三阶段查核，确认是否满足验收要求，并签字确认设备安全评估阶段设备安全查核阶段设备验收阶段设备安全三阶段查核（ESO）对厂务各类系统以及新装、改装、移位中需要实施“机台装机核查”的机台（EquipmentSign-Off，以下简称ESO），在调试、装机、上线前完成相应的安全查核，避免因系统或机台安全设施不足或因装机工程失误，造成人员伤害或财产损失。设备送电前：设备部门与环安、电气人员约定时间，根据《ESO第一阶段核查表》确认电气、机械部分的安全性，确认OK则进行送电并发放第一阶段合格标签化学品、特殊气体输送前：设备部门与环安、化学人员约定时间，根据《ESO第二阶段核查表》确认相关系统设施完备性，OK则进行相关物资的供应，并发放第二阶段合格标签设备移交生产部门投入正式生产前：设备部门与环安约定时间，根据《ESO第三阶段核查表》确认设备缺失改善及人员培训完成，及相关作业SOP的安全性，确认OK完成ESO全部查核，并发放第三阶段合格标签一、设备前期管理采购立项阶段专业小组审核各设备部门组织评估小组对设备基本安全规格要求进行讨论确认各负责人对确认版设备安全规格进行会签确认标书审核环安对需发售的标书中涉及设备安全规格的条款进行确认，确保标书符合专业小组要求合同审核招标完成后，环安对需签署的合同进行审核，确认所中标厂商对专业小组的设备安全规格要求如实相应，并在合同中进行约定验收确认根据厂商提供的安全符合报告及设备实际情况确认安全规范执行落实情况，并签字确认ESO第一阶段查核设备装机完后，对设备进行ESO第一阶段查核，确认是否满足送电要求，并签字确认，记录查核缺失ESO第二阶段查核如需进行第二阶段查核，则对设备进行第二阶段查核，确认是否满足供应要求，并签字确认，记录查核缺失ESO第三阶段查核设备验收前完成第三阶段查核，确认是否满足验收要求，并签字确认4、ESO第一阶段查核设备送电前：设备部门与环安窗口、电气人员约定时间，到设备现场根据ESO第一阶段核查表确认电气、机械部分的安全性；组织环安窗口及厂务电气人员根据第一阶段核查表到现场进行核查是否满足送电要求将核查表由各负责人签字记录核查缺失，并确认缺失风险等级缺失汇总进统计表，追踪改善进度YNG设备部门组织设备部门环安窗口厂务电气环安窗口环安窗口设备部门发放查核合格标签，送电环安窗口厂务电气环安窗口4、ESO第一阶段查核组织环安窗口及厂务电气人员根据第一阶段核查表到现场进行核查是否满足送电要求将核查表由各负责人签字记录核查缺失，并确认缺失风险等级缺失汇总进统计表，追踪改善进度YNG设备部门组织设备部门环安窗口厂务电气环安窗口环安窗口设备部门发放查核合格标签，送电环安窗口厂务电气环安窗口对发现的缺失进行风险等级确认，是否满足送电要求：根据查核项目R字段的等级，若发现A类缺失项，则不允许送电；4、ESO第一阶段查核组织环安窗口及厂务电气人员根据第一阶段核查表到现场进行核查是否满足送电要求将核查表由各负责人签字记录核查缺失，并确认缺失风险等级缺失汇总进统计表，追踪改善进度YNG设备部门组织设备部门环安窗口厂务电气环安窗口环安窗口设备部门发放查核合格标签，送电环安窗口厂务电气环安窗口设备部门根据查核后的表单逐一找各单位负责人签字；签字完成后，环安窗口将查核表复印一份留存，并发放合格标签4、ESO第一阶段查核组织环安窗口及厂务电气人员根据第一阶段核查表到现场进行核查是否满足送电要求将核查表由各负责人签字记录核查缺失，并确认缺失风险等级缺失汇总进统计表，追踪改善进度YNG设备部门组织设备部门环安窗口厂务电气环安窗口环安窗口设备部门发放查核合格标签，送电环安窗口厂务电气环安窗口对查核到的A类以下缺失记入查核缺失记录表内，并列出改善计划、改善责任人和改善时间，环安窗口将查核情况统计到《设备ESO统计表》，定期追踪，对为改善的缺失请标红色字体；改善完成的请打上黄色底色，并改为黑色字体。一、设备前期管理采购立项阶段专业小组审核各设备部门组织评估小组对设备基本安全规格要求进行讨论确认各负责人对确认版设备安全规格进行会签确认标书审核环安对需发售的标书中涉及设备安全规格的条款进行确认，确保标书符合专业小组要求合同审核招标完成后，环安对需签署的合同进行审核，确认所中标厂商对专业小组的设备安全规格要求如实相应，并在合同中进行约定验收确认根据厂商提供的安全符合报告及设备实际情况确认安全规范执行落实情况，并签字确认ESO第一阶段查核设备装机完后，对设备进行ESO第一阶段查核，确认是否满足送电要求，并签字确认，记录查核缺失ESO第二阶段查核如需进行第二阶段查核，则对设备进行第二阶段查核，确认是否满足供应要求，并签字确认，记录查核缺失ESO第三阶段查核设备验收前完成第三阶段查核，确认是否满足验收要求，并签字确认设备是否使用到制程危害物质（如特气、化学品等），若没有则不用进行第二阶段查核；若有，则进行第二阶段ESO核查确认是否需进行ESO第二阶段查核5、ESO第二阶段查核组织环安窗口及厂务化学、机械人员根据第二阶段核查表到现场进行核查是否满足供应要求将核查表由各负责人签字记录核查缺失，并确认缺失风险等级缺失汇总进统计表，追踪改善进度YNG设备部门组织设备部门环安窗口厂务人员环安窗口环安窗口设备部门发放查核合格标签，送电环安窗口厂务电气环安窗口设备部门与环安窗口、厂务化学人员、厂务机械人员等相关人员约定时间，根据第二阶段核查表确认相关系统设施完备性，对发现的缺失进行风险等级确认，是否满足供应要求；对查核到的A类以下缺失记入查核缺失记录表内，并列出改善计划、改善责任人和改善时间，环安窗口将查核情况统计到《天马设备ESO统计表》，定期追踪，对为改善的缺失请标红色字体；改善完成的请打上黄色底色，并改为黑色字体。一、设备前期管理采购立项阶段专业小组审核各设备部门组织评估小组对设备基本安全规格要求进行讨论确认各负责人对确认版设备安全规格进行会签确认标书审核环安对需发售的标书中涉及设备安全规格的条款进行确认，确保标书符合专业小组要求合同审核招标完成后，环安对需签署的合同进行审核，确认所中标厂商对专业小组的设备安全规格要求如实相应，并在合同中进行约定验收确认根据厂商提供的安全符合报告及设备实际情况确认安全规范执行落实情况，并签字确认ESO第一阶段查核设备装机完后，对设备进行ESO第一阶段查核，确认是否满足送电要求，并签字确认，记录查核缺失ESO第二阶段查核如需进行第二阶段查核，则对设备进行第二阶段查核，确认是否满足供应要求，并签字确认，记录查核缺失ESO第三阶段查核设备验收前完成第三阶段查核，确认是否满足验收要求，并签字确认6、ESO第三阶段查核设备移交生产部门投入正式生产前：设备部门与环安窗口约定时间，根据《ESO第三阶段核查表》确认设备缺失改善及人员培训完成，及相关作业SOP的安全性若设备缺失改善完成及人员培训完成，及相关作业SOP的安全性OK，则设备部门根据查核后的表单逐一找各自负责人签字；签字完成后，环安窗口将查核表复印一份留存，并发放合格标签一、设备前期管理采购立项阶段专业小组审核各设备部门组织评估小组对设备基本安全规格要求进行讨论确认各负责人对确认版设备安全规格进行会签确认标书审核环安对需发售的标书中涉及设备安全规格的条款进行确认，确保标书符合专业小组要求合同审核招标完成后，环安对需签署的合同进行审核，确认所中标厂商对专业小组的设备安全规格要求如实相应，并在合同中进行约定验收确认根据厂商提供的安全符合报告及设备实际情况确认安全规范执行落实情况，并签字确认ESO第一阶段查核设备装机完后，对设备进行ESO第一阶段查核，确认是否满足送电要求，并签字确认，记录查核缺失ESO第二阶段查核如需进行第二阶段查核，则对设备进行第二阶段查核，确认是否满足供应要求，并签字确认，记录查核缺失ESO第三阶段查核设备验收前完成第三阶段查核，确认是否满足验收要求，并签字确认7、验收确认设备部门于验收之前要求厂商将评估表内的要求，提供相应的书面符合性报告，并组织评估，环安窗口根据立项时提出的条款核对符合性报告及至设备现场审核设备符合性，确认能否满足安全规格要求，验收合格后进行签字，将评估表及ESO第三阶段核查表附到技术验收OA中，环安审核节点方可通过验收阶段设备部门要求厂商提供安全符合性报告环安窗口审核安全符合性报告，至设备现场核对是否符合安全要求评估表签字，验收NGY二、设备ESO查核确保装机完成，符合法规要求；避免装机时或后续发生事故/隐患。ESOEquipmentInstallationSign-off机台装机安全查核执行ESO目的110V二、设备ESO查核一、使用110V及以上电源且须进行二次配线的机台，

包括生产机台、量测机台、测试机台、CIM机台等适用范围二、使用制程危害物质（HazardousProcessMaterial－HPM）的机台

(制程危害物质是指任何固态、液态、气态的，在一定程度上会对人体健康产生

危害，具有可燃性及反应性的物质)三、具有其它特殊危害之设备。四、厂务系统：电力系统、空调系统、化学供应

系统、给水排水系统、压缩空气系统、制程

真空系统等二、设备ESO查核设备装机负责工程师完成设备安全查核表单查核。完成设备查核缺失改善。追踪厂务查核缺失改善。完成各项签核流程。厂务部门完成厂务安全查核表单查核。提供各项签核所需资料。完成厂务查核缺失改善。ESH稽核各阶段检查执行状况。确认各阶段查核已完成。协助供应特殊气体、化学品前安全确认。权责二、设备ESO查核送电/测试/供应非制程危害物质前需完成一阶段。Level-1Level-2Level-3设备移交制程或制造前需完成第三阶段。CDASOPTraining供应制程危害物质前完成第二阶段。查核时机水电二、设备ESO查核二、设备ESO查核Level-1三.维修空间二.逃生方向四.电气接线、标示一.消防设施重点1第一阶段查核/Level-1：二、设备ESO查核Level-1八.其它相关安全设施六.管路标示五.Interlock、EMO设置七.危害警告标示(中/英)重点2二、设备ESO查核Level-1A、厂房及建筑物的消防设备1、自动撒水系统经过测试功能是否正常？2、是否在机台前后的走道上的天花板均装置撒水头

以涵盖整个机台?3、火警警报探测器(烟感/温感)是否经过测试且功能正常?4、灭火器所在位置是否标示及分布点是否唾手可得?(办公室区为25m/Fab区为15.24m,其它危险区域为9.14m)5、人员疏散警报或警示灯及广播是否清楚且明显?【厂务部分】二、设备ESO查核Level-1B.电气系统1、厂务相关电源线路由电盘至机台端连接正确？2、供应电盘端己标示使用机台、附属设备编号和机台主开关

位置.3、机台端电源标示包含供应电盘位置、供应回路编号,

以及电盘开关编号和电压。4、插座标示有编号及电盘编号（机台内的插座若与机台来自不同电盘，也需要标示。）二、设备ESO查核Level-1A.一般事项B.净空1. 所有相关管路须每隔3公尺加标示，转弯点及穿墙前后管路要有标示且清楚。2. 非HPM管路在使用前是否经过饱压或测漏测试，确认管路无泄漏风险主机台正面操作区及主通道宽度须有1米。机台及相关附属设备的维修通道宽度至少须有0.8米。机台维修空间须足够电盘或控制盘门完全开启。【设备部分】二、设备ESO查核Level-1C.电气系统漏电断路保护若有UPS设备

UPS是否正确标示出其所支持的机台?2.机台及厂务电盘上方若有可能的泄漏源

电盘是否做好必要的保护措施?电线管理是否适当?

避免绊倒、拉扯电线,现场需维持良好的整洁。设备是否有活电作业？(如进行量测时，将

护盖移开，能直接接触到50-600伏特电压）有湿式制程或电气组件有可能接触到液体之

机台是否有漏电断路器装置，且此装置是否

有合格认证易燃物品及设施：若相关设备装于危险区或电气

相关组件暴露于易燃物之雾气中

其电气用品应为防爆型。二、设备ESO查核Level-1D.紧急停机装置1、EMO是否有适当中英文标示?2、EMO功能是否正常？确认EMO复归后不会自动重新重启。3、EMO切断此系统电力供应时是否含UPS?4、若己安装EMO防护盖，此设置于紧急情况时是否可以按下?5、作业人员步行距离3米内必须至少有一个EMO按钮？二、设备ESO查核Level-1E.有害能量与防护1.所有机械危害的防护（如光栅、防护板、Interlock等)

是否适当且有效？2.所有危害性能量已被确认且已提供一隔离方式。

(如上锁的电气开关)3.所有机械臂移动范围适当围篱4.高低温危害防护是否适当且有标示5.电气危害的防护及标示是否适当?(直流电>50伏特、交流电>30伏特):二、设备ESO查核Level-1F.雷射 1、雷射分类等级:Alllaserclasses:Class______注1:Class1指正常操作下有雷射发生但不造成伤害性。注2:3b之雷射若眼睛直视会造成伤害。包括反射光之光束，正常状况下，3b雷射之扩散光不会造成伤害。注3:分类4之电射不但直视及反射光会造成伤害。而且扩散光亦会造成伤害.此类电射可能会造成皮肤如冋火灼伤之危害。2、雷射系统己由机台制造商确认符合相关国际标准，且在此机台外侧张贴合格标签3、雷射光源附近己加防护外罩，张贴危险警示标识。5、所有与雷射相关之安全联锁皆功能正常?6、己降低窗口/孔雷射危害等级至Class1以下?二、设备ESO查核Level-1G.辐射1.是否有放射源?(如果有的话，请与ESH单位联络)2.所有与辐射相关的安全联锁皆功能正常?3.辐射相关警告标示己张贴完成?4.辐射必要的阻绝挡板皆设置正常?5.如果有紫外光源存在，此光源是否被隔绝或以安全连锁防护?5R1.5R60°R60°二、设备ESO查核Level-2第二阶段查核/Level-2：

（未使用化学危险物品，不需进行Level-2的查核）

二、设备ESO查核Level-2【厂务部分】A、通风、排气1、是否有通风排气系统的平衡计算报告?(压力之平衡是否满足安全状况)2、抽风排气管路的类别及流向已标示？(每隔3米须有标示)3、是否有静压表以供机台排气风管调整压力时使用?4、排气系统调节闸是否有固定妥当(以防止被人误动或破坏)并标示?二、设备ESO查核Level-2B、化学废液、废弃物质处置1、机台排出的废液是否有连接到适当的排放设施?2、所有相关管路须每隔3米加标示,且于转弯点及穿墙前加管路标示且标示清楚。3、所排放之废液与防漏盘/废液管材质是否兼容?二、设备ESO查核Level-2C、化学品中央供应系统1、所有相关管路须每隔3米加标示,且于转弯点及穿墙前加管路标示且标示清楚。2、所有化学品供应管路是否经压力测试且测试文件经确认无误?(附文件)3、是否已确认所有的化学品管路供应端及机台端连结正确？4、所有的套管路是否经泄露测试且泄露测试文件经确认无误?(附文件)5、双套管内管件不得用车牙方式配管,须用焊接6、有机溶剂系统的所有接点均为连续式焊接?7、机台上的紧急停止按钮动作时是否化学药品停止供应至机台?二、设备ESO查核Level-2D、气体传送系统1、所有特气的可能泄漏点设有抽气。2、气体管路已正确标示3、依必要性正确使用双套管.4、双套管正确安装(两管终点密封处以压力/真空监测,开口在机台，封口在VMB)5、气瓶柜是否有足够的通风量(330cfm（立方英尺每分钟）在双气瓶柜/450cfm在三气瓶柜)6、气瓶柜抽风系统是否有紧急供应电源?7、易燃性气体气瓶柜内是否设置灭火系统?8、气瓶柜是否设置气体侦测器?二、设备ESO查核Level-2E、气体侦测器1、气体侦测器功能是否经由负责人确认(附证明数据)。2、气体侦测警报系统是否由厂务控制室或气体供应室监控?3、工作区域之警报声及警示灯是否确认功能正常?二、设备ESO查核Level-2F、制程废气处理系统1、废气处理设备是否标示所处理的机台或气柜的名称/编号?2、是否有足够的容量可以处理制程机台在最糟的状况下所产生最大的排出废气量？(制程气体在全开时的流量)3、当废气处理设备停止运作或失效,或抽气系统出现异常警报时，反应气体会停止供应或是将气体送至另一处理设备？4、若发生异常其警报是否包含声音及视觉的警讯?5、废气处理设备出口管路是否使用耐腐蚀及耐火的材质?6、废气处理设备安装方式是否适于检查及保养?是否有足够的维修空间？（足以移开chamber等）二、设备ESO查核Level-2【设备部分】A、一般事项1、所有系统组件是否均已做好防震措施?2、所有穿楼地板开孔均已做好防火填塞？3、机台是否均已标示机台编号?支持设备是否标示所支持机台的名称?4、是否有局限空间须进入施行机台操作或维修?

若是,这些局限空间之入口是否有标示?5、使用易燃易爆化学品的设备需确保各部位（包括设备本体，其他附属部件，法兰连接处等）静电可以及时导出，非焊接连接的部件需进行静电跨接。6、在距离开放化学用品的使用场所15米处是否设有冲身洗眼器,且冲身洗眼器之功能测试是否正常,并加以标示?(有机会直接接触液体化学品之场所)二、设备ESO查核Level-2B、机台的消防设备1、使用可燃/易燃液体的抽气柜、机台是否装设有灭火系统?2、设有灭火系统的设备必须装有火警探测器3、机台的火警探测器已确认可启动灭火系统4、是否确认设备火警探测器之警报显示正常？5、机台的灭火系统经过测试功能正常?6、机台的自动灭火系统在机台前方是否有紧急手动启动拉盒或按钮,并标示明确?7、机台自动灭火系统操作面板上是否标示有手动操作流程图示?二、设备ESO查核Level-2C、安全相关的连锁装置1、明确机台安全连锁项目,并包括当安全连锁作动时,何者会被启动，何者会被关掉?(如漏液Sensor)2、所有安全连锁装置是否已通过测试并已正常运作？D、个人防护用品1、机台的操作、保养等作业所应备有之个人防护具(PPE)均已备妥？2、个人防护具(PPE)是否以正确方式存放且立即可以取得?3、定期检查个人防护具(PPE),并确认它是否维持在良好状态?二、设备ESO查核Level-2E、制程化学品供应1、化学物质输送系统负责人是否确认化学品输送机制?2、机台各部构造材质是否与化学物质兼容？3、化学危害标示已完成且正确无误，含机台前、维修区、供应柜等4、加热方式是否安全?是否有过热保护，绝缘保护，短路保护？5、温度侦测器功能是否正常？6、排放废液管线连接是否正确且有标示?相关阀门是否正确开关?二、设备ESO查核Level-2F、真空泵浦1、泵浦各部件的规格是否足以负荷整个系统的最大工作压力？2、反应气体之输出入端是否标示着气流方向?3、机台是否可侦测到泵浦的异常问题?4、真空泵浦是否有适当的防震保护?所有管路是否适当固定?5、抽气管材质是否适用于泵浦气体?6、真空泵浦和马达是否有过温保护?二、设备ESO查核Level-2G、辐射1、是否已执行完游离辐射泄漏的检查?2、是否适当的警告标志已置于机台上(例如:RF,UV,IR,X-RAY)?3、是否所有的安全联锁工作正常?二、设备