浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告

建设项目环境影响报告表 《建设项目环境影响报告表》编制说明《建设项目环境影响报告表》由具有从事环境影响评价工作资质的1.项目名称──指项目立项批复时的名称，应不超过30个字（两个学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表 12、项目所在地自然环境社会环境简况 47 56 60 666、项目主要污染物产生及预计排放情况 88 898、建设项目拟采取的防治措施及预期治理效果 1079、项目审批原则符合性分析 108 113浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表1、建设项目基本情况/2018-330702-39-03-07/保投资号，厂区占地面积40180平方米，建筑面积19542.7平方米。公司主要从事不同尺寸的LED图形化蓝宝石衬底片和外延片的研发、设计、生产、销售等，是一家过环境保护设施竣工验收（金环开验[2015]9号）；企业于2017年《年产192万1浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表为了进一步适应市场需求，企业拟总投资29541万元，在企业原有厂区内的1#厂房一层建设实施。项目总占地面积40180平方米，总建筑面积19542.7平方米。主要采用多线切割蓝宝石工艺、CMP化学机械抛光技术，新增多线切割机、依据《中华人民共和国环境影响评价法》（2016年修正）、《建设项目环境保护管理条例》（2017年修订）的有关规定，该项目必须进行环境影响评价。对照《建设项目环境影响评价分类管理名录（2018）》，项目应属于“二十八、计算机、通信和其他电子设备制造业，83电子元件及电子专用材料制造：电子专用材2浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表表1.2-1本技改项目完成后企业产品方案一览表序号产品名称年产量单位规格审批情况1蓝宝石衬底片万片2英寸金环建开[2017]75号蓝宝石衬底片36万片4英寸2蓝宝石衬底片400万片4英寸本次技改项目新增合计蓝宝石衬底片592万片//Item项目Unit单位Specification规格1.SurfaceOrientation表面晶向C-plane(0001)1-1towardmdegree0.20±0.051-2towardadegree0.00±0.102.OrientationFlat定位边A-plane(11-20)2-1PrimaryFlatdegree0.00±0.202-2PrimaryFlatLengthmm30.0±0.53.Diameter直径mm100.0±0.14.Thickness厚度650±105.TTV总厚度偏差6.BOW碗曲度7.Flatness(Warp)翘曲度3浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表8.LTV(10.0*10.0mm)区域厚度偏差9.FrontsideRoughness正面粗糙度nm10.BacksideRoughness背面粗糙度0.8≦Ra≦1.211.Waferedge倒角Curve:R-Type,12.Lasermark标记N/A13.Chips崩边Peripheral≦1.5mm;Width≦0.5mm14.Cleanliness清洁度“up0.3um”<250pcsand“up0.5um”≦50，no5umparticle,nostains,noscratch,15.Package包装Vacuumpackedcassetteof25pcsincleanroom，EPI-Ready16.OthersAccordingtocustomerrequirements4浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表序号原辅材料名称单位年耗量包装形式工序24吋晶棒毫米800000（22608kg）3切削液升5000（5000kg）200L/桶切割4碳化硼公斤6500025kg/袋研磨5清洗剂BL1500升15000（15000kg）20L/桶清洗6液体蜡升4000（2800kg）2L/桶贴蜡7钻石液升870（783kg）500mL/瓶铜抛8抛光液升820000（1000000kg）20L/桶化抛9氢氧化钾升37000（54000kg）5L/塑料桶清洗双氧水升2320（2600kg）4L/塑料桶清洗硫酸升4600（4600kg）4L/塑料桶清洗磷酸升3800（4600kg）4L/塑料桶清洗钻石切割线米18000000（1900kg）研磨砂公斤80000抛光布垫张600（300kg）无蜡吸附垫张7200（720kg）原辅料名称组分切削液油性剂、极压剂、乙醇胺去离子水碳化硼碳化硼>95%清洗剂BL1500氢氧化钾0.5~1.0%，水99.0~99.5%液体蜡松香20~30%，正丙醇50~60%钻石液金刚石粉0.2~0.8%，水性溶剂98.2%~99.3%、添加剂0.5~1.0%抛光液二氧化硅≤41%，水≥59%氢氧化钾浓度45%双氧水浓度30%硫酸浓度97%磷酸浓度85%5浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表本项目原辅材料理化性质分析序号原料名称性质1硫酸化学式H2SO4，分子量98.078理化性质：硫酸熔点10.371℃,沸点33.7℃,是一种无色无味油状液体，是一种高沸点难挥发的强酸，易溶于水，能以任意比与水混溶。通常使用的是它的各种不同浓度的水溶液，用塔式法和接触法制取。前者所得为粗制稀硫酸，质量分数一般在75%左右；后者可得质量分数98.3%的纯浓硫酸，沸点338℃,相对密度1.84。用途：硫酸是基本化学工业中重要产品之一，不仅作为许多化工产品的原料，而且还广泛地应用于其他的国民经济部门。LC50510mg/m3，2小时（大鼠吸入320mg/m3，2小时（小鼠吸入2磷酸分子式H3PO4；分子量97.9724理化性质：熔点42℃,沸点158℃（分解，磷酸受热逐渐脱水，因此没有自身的沸点），市售磷酸是含85%H3PO4的粘稠状浓溶液。从浓溶液中结晶，则形成半水合物2H3PO4·H2O（熔点302.3K）。磷酸是三元中强酸，分三步电离，不易挥发，不易分解，几乎没有氧化性。具有酸的通性。用途：磷酸是生产重要的磷肥（过磷酸钙、磷酸二氢钾等）的原料，也是生产饲料营养剂（磷酸二氢钙）的原料。磷酸是一种重要的化工原料，主要作用如下：处理金属表面，在金属表面生成难溶的磷酸盐薄膜，以保护金属免受腐蚀；和硝酸混合作为化学抛光剂，用以提高金属表面的光洁度；生产洗涤用品、杀虫剂的原料磷酸酯；生产含磷阻燃剂的原料。磷酸是食品添加剂之一，在食品中作为酸味剂、酵母营养剂，可口可乐中就含有磷酸；磷酸盐也是重要的食品添加剂，可作为营养增强剂。磷酸可用于制取含磷药物，例如甘油磷酸钠等。毒性数据：磷酸用在食品添加剂，素来有骨质疏松症的疑虑。研究指出，饮用碳酸饮料者没有比其他人摄取更多的磷，但身体的钙磷比却显著的降低。另一项临床研究指出，磷的摄取会降低骨密度。但此实验以磷的总摄取量为主，并未明确证明使骨密度降低的主因是磷酸。对人无中毒报告；浓溶液对皮肤有腐蚀作用；LD501530mg/kg（大鼠，经口），2740mg/kg（兔经皮）。6浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表3双氧水化学式H2O2，分子量34.01理化性质：水溶液为无色透明液体，有微弱的特殊气味。纯过氧化氢是淡蓝色的油状液体。熔点-0.89℃（无水），沸点158℃（无水），折射率1.3350（25℃),相对密度（水=1）1.46（无水饱和蒸气压(kPa)0.13(15.3℃)。能与水、乙醇、乙醚以任何比例混合，不溶于苯、石油醚。具助燃、强刺激性，与重金属等混合易爆炸。用途：分医用、工业用和民用三种。日常消毒的是医用双氧水，可杀灭肠道致病菌、化脓性球菌，致病酵母菌，一般用于物体表面消毒。化学工业用作生产过硼酸钠、过碳酸钠、过氧乙酸、亚氯酸钠、过氧化硫脲等的原料，酒石酸、维生素等的氧化剂。医药工业用作杀菌剂、消毒剂，以及生产福美双杀虫剂和40l抗菌剂的氧化剂。印染工业用作棉织物的漂白剂，还原染料染色后的发色剂。民用主要是处理厨房下水道的异味，到药店购买双氧水加水加洗衣粉倒进下水道可去污，消毒，杀菌。毒理性质：毒性LD504060mg/kg（大鼠经皮）；LC502000mg/m3，4小时（大鼠吸入）。4氢氧化钾化学式KOH，分子量56.105641320~1324℃,相对密度2.044g/cm，闪点52°F，折射率n20/D1.421，蒸汽压1mmHg(719℃)。具强碱性及腐蚀性。极易吸收空气中水分而潮解，吸收二氧化碳而成碳酸钾。溶于约0.6份热水、0.9份冷水、3份乙醇、2.5份甘油。当溶解于水、醇或用酸处理时产生大量热量。0.1mol/L溶液的pH为13.5。溶于乙醇，微溶于醚。有极强的碱性和腐蚀性，其性质与烧碱相似。用途：无机工业用作生产钾盐的原料；日化工业用作制造钾肥皂、洗污肥皂、洗头软皂等的原料；制药工业用于制造黄体酮、香兰素等原料；染料工业用于制造三聚氰胺染料；电池工业用于制造碱性蓄电池；用作干燥剂、吸收剂，用于制钾肥皂、草酸及各种钾盐，还用于电镀、雕刻、石印术等；在染料工业中，用于生产还原染料，如还原蓝RSN等；在电化学工业中，用于电镀、雕刻等；在纺织工业中，用于印染、漂白和丝光，并大量用作制造人造纤维、聚酯纤维的主要原料；此外，还用于冶金加热剂和皮革脱脂等方面。毒理性质：中等毒，半数致死量（大鼠，经口）1230mg/kg；刺激性：家兔经皮50mg（24h），重度刺激；家兔经眼1mg（24h），中度刺激。7浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表5正丙醇化学式C3H7OH，分子量60.10理化性质：有乙醇气味的无色透明液体，溶于水、乙醇、乙醚。熔汽密度（空气=1）2.07，饱和蒸气压1.33kPa(14.7℃)，燃烧热2017.9kJ/mol，临界温度263.6℃,临界压力5.17MPa。用途：主要用来做燃料油的杀菌剂、农药及医药原料、香料原料，红霉素，溴丙烷，尼泊金丙脂，油漆，油墨，乙酸正丙脂等。毒理性质：急性毒性——LD501870mg/kg（大鼠经口5040mg/kg（兔经皮）；LC5048000mg/m3（小鼠吸入）。6乙醇胺化学式C2H7NO，分子量61.0837理化性质：常温下为无色粘稠液体带氨味，溶于水，溶液呈强碱性，能与水、乙醇和丙酮等混溶，微溶于乙醚和四氯化碳。熔点10.5℃,沸点170℃,凝固点-5℃,折射率1.4540，相对密度1.0180(20/4℃)，动力粘度(20℃)24.14mPa·s，闪点93.3℃。用途：用于表面活性剂、石油添加剂、防腐剂、油墨制造、有机合成原料；也可用于金属清洗剂、防锈剂的原料；食品工业用加工助剂；用于制造非离子型洗涤剂、乳化剂、汽车防冻液；用于生产乙烯胺系列产品的原料。毒理性质：急性毒性——LD502050mg/kg（大鼠经口1000mg/kg（兔经皮）；LC502120mg/m3、4小时（大鼠吸入）；亚急性和慢性毒性——大鼠吸入100~200mg/m3×6小时/日×5日/周，中枢神经系统抑制，条件反射改变，兔吸入24mg/m3×35日，中枢神经系统受到一定抑制，皮肤出现刺激现象。表1.2-6本技改项目完成后企业主要生产设备序号名称数量单位备注1晶向定向仪DX-75台年产192万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目生产设备2多线切割机MWS-612DD5台3双面研磨机16B-5L7台4超声波清洗机LSA-121台5倒角机W-GM-42503台6酸碱清洗机CX146台7JGMT-30、TGMT-308台8晶片上蜡机CZTL-01A6台9单面铜抛机NSD-4050/40364台单面抛光机NSC-4050/4036台8浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表甩干机CT-6053台自动Candela检查机CS20R1台FT17平整度检查机nidek2台晶向定向仪丹东新东方8台本次技改项目新增设备多线切割机MB288S台超声波清洗机5台双面研磨机22B台超声波清洗机6台倒角机东精精密WGM-4250台20酸洗机辰轩台21旋干机立式甩干机台22高温退火炉/31台23超声波清洗机无锡雷士8台24甩干机卧式甩干机4台25自动分选机BOW分选机8台26超声波清洗机辰轩6台27甩干机5台28自动贴蜡机辰轩（自动）485/360台29铜抛机50G22台30自动去蜡清洗机/5台31化抛机NTS-50G22台32自动清洗机/6台33甩干机4台34超声波清洗机/5台35甩干机6台36自动晶片刷洗机/29台铜抛2899h/a、化抛6060h/a、中间清洗4630h/a、抛光液清洗3556h/a、酸碱清洗9浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表4寸片产品4561716571浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表序号备注主体工程1切割间主要安装8台晶向定向仪、18台多线切割机及清洗机。依托现有备新增。2倒角间主要安装14台倒角机。3研磨间主要安装15台双面研磨机及清洗机。4退火间主要安装31台退火炉及酸洗机。5贴蜡间主要安装12台晶片上蜡机及清洗机。6铜抛间主要安装22台单面铜抛机及清洗机。7化抛间主要安装22台单面抛光机及清洗机。8化学品试剂间主要存放各类化学试剂。公用工程及辅助工程7给排水系统生产用水和生活用水全部来自市政自来水网；空调循环冷却水由闭式冷却塔供给，可满足要求使用。设有1台闭式冷却塔，配2台280m3/h冷却循环泵，一开一备。配一套10t/h的纯水设备，纯水与浓水产生比例为3:1。排水采用雨污分流制。雨水排入市政雨水管网，进入金华江；生产废水经有效收集后，进入公司废水处理站处理达标后，纳入金华市秋滨污水处理厂进一步处理后排放。依托现有8配电系统本项目供电依托厂区现有供电系统。本项目配套变压器1250KVA，可以满足生产需求。9空调系统项目配套建设中央空调系统，为各生产车间提供恒温保证。中央空调系统配套水冷螺杆冷水机组（RSW-300-2）和力聚预混热水机组（YHZRQ-45NW）。夏天温度较高，以冷水机组工作为主，冬天温度较低，以热水机组工作为主；热水机组使用天然气炉加热。供汽项目天然气依托工业园区天然气管道提供。预计年用天燃气量5万m3。依托现有环保工程项目酸雾废气收集后依托厂区原有的碱喷淋塔处理，尾气引至25m高排气筒排放；车间洁净系统废气通过排风机引至15m高排气筒排放；企业对厂区内现有的60m3/d的污水处理站进行升级改造，采酸雾喷淋废仓库均1浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表用中和沉淀-水解酸化-氧化-MBR处理工艺，经改造完成后可达到150m3/d的处理能力，可满足本项目需求；员工生活污水经沼气净化池处理后外排至市政污水管网；危险废物收集后，在厂内设临时贮存设施，按照相关标准进行设计；生活垃圾收集后统一由环卫部门进行处置。依托现有。污水处理站经改造后满足本项目需求。服务工程本项目不包括食堂、宿舍等服务工程的内容/应急系统企业已建有一座容积约220m³的事故应急池，可满足本项目需依托现有本项目位于浙江省金华市婺城区南二环西路2688号，项目所在地地理位置图表1.2-7本项目所在地四周情况介绍序号厂界方向距离1东侧紧邻浙江东晶电子股份有限公司2南侧隔二环南路为农田3西侧紧邻浙江巴斯曼机械有限公司4北侧紧邻浙江派尼尔科技股份有限公司生产厂房（1#标准厂房、3#标准厂房），厂区出入口位于南侧紧邻二环南路。厂区由南向北依次为闲置空地、1#标准厂房、3#标准厂房，厂区西侧设有污水处理站和根据企业规划，公司年产60万片PSS高光效图形蓝宝石衬底项目和年产96万片PSS基AIN薄膜蓝宝石衬底技改项目生产线拟不再实施，企业厂区内（1#标2浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表本次技改项目拟需员工约150人，企业原有劳动号，厂区占地面积40180平方米，建筑面积19542.7平方米。公司主要从事不同尺寸的LED图形化蓝宝石衬底片和外延片的研发、设计、生产、销售等，是一家）；3浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表序号项目名称类别审批文号审批时间验收情况实施情况1年产60万片PSS高光效图形蓝宝石衬底项目报告书金环建2014.7.24金环开验[2015]9号拟整体搬迁2年产192万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目报告书金环建开[2017]75号2018.6.7已通过专家组环保“三同时”竣工验收3年产96万片PSS基AIN薄膜蓝宝石衬底技改项目报告书金环建开[2017]76号2018.6.7已通过专家组环保“三同时”竣工验收拟整体搬迁企业原有项目位于金华经济技术开发区二环南路2688号，在浙江博蓝特半导4浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表序号原辅材料名称单位年耗量包装形式备注年产60万片PSS高光效图形蓝宝石衬底项目原辅材料消耗汇总1蓝宝石片600000（2.1t）/3.5g/片，主要成分为Al2O32硫酸升26500（48.76t）4L/塑料桶98%3双氧水升8750（9.888t）4L/塑料桶30%4光刻胶升1000(1.018t)4L/塑料桶AZG×R601，主要成分包括线形酚醛树脂、感光剂（5-硝基苊）、溶剂（环己酮）5去边剂升1540（1.355t）4L/塑料桶AZ7030，主要成分为PGME/PGMEA混合物（即为丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯的混合物）6显影液升7500（7.508t）20L/塑料桶AZ300MZF，主要成分为TMAH水溶液（四甲基氢氧化铵水溶液2.38%）7三氯化硼公斤60050kg/钢瓶/8氦气公斤30050kg/钢瓶/9水吨35260//电万度//年产192万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目原辅材料消耗汇总12吋晶棒毫米1250000（8831.25kg）//24吋晶棒毫米400000（11304kg）//3切削液升2500（2500kg）200L/桶切割4碳化硼公斤3287025kg/袋研磨5清洗剂BL1500升7560（7560kg）20L/桶清洗6液体蜡升2L/桶贴蜡7钻石液升4900（4410kg）500mL/瓶铜抛8抛光液升205200（256500kg）20L/桶化抛9氢氧化钾升18846（27436.01kg）5L/塑料桶清洗双氧水升1160（1287kg）4L/塑料桶清洗硫酸升2320（4245.6kg）4L/塑料桶清洗磷酸升1900（3211kg）4L/塑料桶清洗钻石切割线米9500000（950kg）//5浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表研磨砂公斤40000//抛光布垫张300（150kg）//无蜡吸附垫张3600（360kg）//水吨22400//电万度//年产96万片PSS基AIN薄膜蓝宝石衬底技改项目原辅材料消耗汇总14英寸蓝宝石平片万片100（18369kg）/全工段2光刻胶加仑600（2443kg）4L/塑料桶匀胶3显影液升27986（27986kg）20L/塑料桶显影4去边液升570（2006kg）4L/塑料桶匀胶5硫酸升24960（45676kg）4L/塑料桶清洗6双氧水升21120（23443kg）4L/塑料桶清洗7丙酮升1020（816kg）/8异丙醇升465（366kg）/9BCl3气体公斤510050kg/钢瓶干法刻蚀He气体公斤51050kg/钢瓶干法刻蚀ICP铝盘个910/干法刻蚀ICP密封圈个6500/干法刻蚀Al靶材个5/PVD镀膜水吨13200//电万度//序号设备名称规格型号数量单位备注1ICP刻蚀机ICP-3600C3台PSS图形的干法刻蚀2步进光刻机NSR-2205I10D2台对光刻胶曝光特定图形3匀胶机David2台在蓝宝石表面涂光刻胶4显影机David2台对曝光后的光刻胶显影5甩干机SV-702-M21台甩干清洗后的片子63D显微镜usuffTMcustom1台检测PSS三维尺寸7光学显微镜BX51M（Digital）2台检查片子的表面状况8清洗机定制1台清洗衬底片表面9膜厚测量仪F501台测量光刻胶的厚度烘箱H-RUL-601台烘烤清洗过的刻蚀托盘6浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表特气柜/1台供应刻蚀机所需的气体SEM扫描电镜NNSEM4501台剖面分析PSS图形纯水设备1套纯水与浓水的产生比例为3:1序号设备名称型号数量单位备注1晶向定向仪DX-75台晶棒定向2多线切割机MWS-612DD5台晶棒切割3双面研磨机16B-5L7台晶片研磨4超声波清洗机LSA-121台研磨后清洗5倒角机W-GM-42503台倒角6酸碱清洗机CX146台清洗7JGMT-30、TGMT-308台高温退火8晶片上蜡机CZTL-01A6台上蜡9单面铜抛机NSD-4050/40364台抛光单面抛光机NSC-4050/4036台抛光甩干机CT-6053台甩干自动Candela检查机CS20R1台/FT17平整度检查机nidek2台/序号设备名称型号数量单位备注1清洗机辛耘-ws1001台清洗衬底片表面2超声波清洗机/1台清洗底片3匀胶机CND-Coater2台涂胶4步进式光刻机Nikon-Stepperi11D6台光刻5显影机CND-Developer2台显影6ICP刻蚀机（单腔）MAXIS-300LAH8台干法刻蚀7ICP刻蚀机（双腔）MAXIS-300LDH1台干法刻蚀83D显微镜ZETA-3001台尺寸测量9椭偏仪/1台检测真空PVD镀膜机AppliedMaterials-PVDAIN5台镀膜全自动目检机睿励-AOI目检机2台外观检查特气供给系统上海正帆-定制1台气体输送7浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表衬底片项目配备员工150人，96万片PSS基AIN薄膜蓝宝石衬底项目配备员工50人，因此原有项目合计员工为250人。生产装置均按三班制生产，每班8小时光刻：1800s；显影：1200s；PSS刻蚀：2400s；去胶：1200s；纯水清洗：500s；氧水溶液（1#槽），一个存放配比为4:1的硫酸与双氧水溶液（2#槽），另两个存放纯水（3#、4#槽）用于清洗。单个槽内同时可清洗2盘衬底片，而单盘可同时容8浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表9浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表通过化学反应机理进行Al2O3材料的刻蚀；另一方面，等离子体中的BCl+2、BCl+3主提供的资料可知，基片的刻蚀深度仅为基片厚度的1/450，气化的铝元素极小。因此可以得到，刻蚀废气的主要成份仍应为BCl3。He气不充进刻蚀腔参与刻蚀反），浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表的切削液（切削液与纯水的配比为5:100，三天更换一次切削液，每次更换量为5升）；将切割后的衬底片放入一座超声波清洗水槽内，灌入清水并加温至50度，单次可放入一批316片衬底片，注入清水40体注入由纯水和清洗剂BL500配比的混合液（36:3.6），温度设为60度，20批次浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表缘修整成圆弧状，改善薄片边缘的机械强度，避免应力集中造成将倒角后的衬底片放入酸洗机中，每批次片子分别经过机内5个槽体清洗。1批次后换水，工作时间为1600S；3号槽放置混酸（磷酸、硫酸、双氧水的配比为16:12:0.25），可注入28升混酸，使用200批次后换水，工作时间为180将清洗后衬底片放入退火炉中，退火炉将温度升至1450度对片子进行退火，将已贴覆衬底片的陶瓷盘反置于机内下载台的铜抛面上，经上载台下降固定浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表除。每批次可同时放置4盘陶瓷盘，2寸片加工第一批往研磨桶三批后更换桶中研磨液；4寸片加工时往研磨桶中加注20升的抛光液，在使用1清洗时间为800S，使用20批后更换；2号槽注入纯浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表纯水，4号槽采用喷淋、溢流方式清洗片子，5号槽只采用溢流清洗片子，两个槽），3、PSS基AIN薄膜蓝宝石衬底技改项目生产工艺流程及产污位制作PSS基AlN薄膜蓝宝石衬底片的原材料为外延级平整的蓝宝石衬底。各1200s；光刻：3600s；显影：1200s；PSS刻蚀：1800s；去胶：500s；甩干：200s；PVD镀膜：10浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表氧水溶液（1#槽），一个存放配比为4:1的硫酸与双氧水溶液（2#槽），另两个存放纯水（3#、4#槽）用于清洗。单个槽内同时可清洗2盒衬底片，而单盒可同时容浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表通过化学反应机理进行Al2O3材料的刻蚀；另一方面，等离子体中的BCl+2、BCl+3主提供的资料可知，基片的刻蚀深度仅为基片厚度的1/450，气化的铝元素极小。He不充进刻蚀腔体参与刻蚀反应，主要起导热和均匀刻蚀盘），浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表该工序原理为在衬底片的表面通过PVD（PhsicalVaporDeposition物理气相沉能。此方法既缩短了MOCVD的工艺时间，提高产量；又可以获得高质量的LED预溅射到辉光稳定后，再通入高纯氮气，使溅射室内气压稳定地保持在0.8Pa，接浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表表3.1-1PSS高光效图形蓝宝石衬底项目产物环节及主要污项目编号污染工序污染物（因子）主要去向废水W1纯水清洗1及甩干1清洗废水（pH、SS、CODCr、石油类）经污水站处理后纳管W2显影显影废水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W3刻蚀中和废水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W4纯水清洗2及甩干2清洗废水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W5废气处理喷淋废水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W6空调系统循环水（pH、SS、CODCr）循环使用，不外排W7纯水系统浓水（pH、SS、CODCr、NH3-N）用于厂区绿化W8职工生活生活污水（pH、SS、CODCr、NH3-N）经沼气池净化后纳管废气G1硫酸清洗酸雾废气（硫酸雾）收集后经碱喷淋处理G2匀胶有机废气（环己酮、非甲烷总烃等）收集后经活性炭吸收G3显影有机废气（三甲胺、甲醇、恶臭等）收集后经活性炭吸收G4PSS刻蚀刻蚀废气（BCl3、AlCl3、HCl等）收集后经碱喷淋处理G5去胶酸雾废气（硫酸雾）收集后经碱喷淋处理G6热水锅炉天然气燃烧废气（颗粒物、SO2、NOx）直接引至高空排放G7车间洁净系统混合废气（硫酸雾、VOCs等）直接引至高空排放酸洗、去胶硫酸废液委托处置匀胶匀胶废液委托处置显影废显影液委托处置保养丙酮废液委托处置检查不合格产品回用于生产原料包装废包装桶（袋）回收利用/委托处置纯水制备废膜环卫部门统一清运废水处理污泥外运填埋废气处理废活性炭委托处置S10擦拭设备废抹布委托处置职工生活生活垃圾环卫部门统一清运噪声/设备运行噪声浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表洗，1个槽用冷水清洗。由于企业未对该工序用水进行计量，因此其废水产生量只0.048t），达产情况下平均每天生产批次为40次（设备），该项目在显影工序会用纯水冲洗显影后的底片，根据企业提供的资料，2英寸浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表），项目pHCODCrNH3-N清洗废水1368.0t/a污染物浓度mg/m³0.026.67污染物产生量t/a/0.01372.74E-050.0091显影有机废水51.3t/a污染物浓度mg/m³0.026.67污染物产生量t/a/0.00051.03E-060.0003刻蚀中和废水709.42t/a污染物浓度mg/m³5.00300.1污染物产生量t/a/0.02137.09E-050.0071酸雾喷淋废水5.8t/a污染物浓度mg/m³7.6525872.497.00污染物产生量t/a/0.01501.44E-054.06E-05综合废水2134.52t/a污染物浓度mg/m³/23.650.057.78污染物产生量t/a/0.0500.00010.017上述综合废水水质浓度低于验收监测报告（金环监报[2014]综字第395号）中综上，该项目生产废水年产生量约2134.52t/a，经厂内污水处理站处理达入网标准后纳入市政污水管网，最终由金华市秋滨污水处理厂处理达标后排入金华江，一级标准A标准。因此，该项目生产废水排环境量为2134.52t/a，CODC企业空调系统采用自来水作为冷却水，根据统计，企业2016年空调系统加水浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表该项目10t/h纯水设备工作过程中会产生部分浓水。根据企业提供的资料，纯最终由金华市秋滨污水处理厂处理达标后排入金华江，则项目生活污水排放量表3.1-3该项目废水污染源强汇总废水种类污染物名称产生量削减量排放量排放去向生产废水废水总量2134.5202134.52经厂内污水处理站处理后纳入市政污水管网CODCr0.8750.7680.107NH3-N0.0002/0.011生活污水废水总量810.00810.0经沼气净化池处理后纳入市政污水管网CODCr0.2840.2430.041NH3-N0.0280.0240.004浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表企业该项目配有一台清洗机（配套两个酸洗槽+两个纯水清洗槽），两个酸洗3:1），1个用于去胶清洗（硫酸和双氧水的比例为4:1）。两个酸洗池产生的硫酸高排气筒高空排放。根据验收监测报告（金环监报[2014]综字第395号，监测工况为100%达产），详见下表，硫酸雾经处理后排放速率及排放浓度符合《大气污染单位：浓度mg/m3，速率kg/h监测时间浓度范围平均值平均风量排放速率0.218~39.00.1505.39~11.97.920.092平均值0.218~39.0按90%计，则硫酸雾产生量约9.171t/a，约0根据验收监测报告（金环监报[2014]综），（GB16297-1996）中“新污染源大气污染物排放限值二级标准”，由此可计算得非单位：浓度mg/m3，速率kg/h监测时间浓度范围平均值平均风量排放速率0.94.43×1030.0040.64.60×1030.003平均值0.754.52×1030.003595%计，处理效率按70%计，则经处理后匀胶废气的排放量约0.023t/a。另外，可可知，显影液为2.38%的四甲基氢氧化铵显影废气主要为少量水蒸汽和极微量的四甲基氢氧化铵分解产生的三甲胺及甲醇C4H13NO→C3H9N+C91.1559.1132.047.208×2.38%×10%0.0110.006及0.006t/a，由显影机台上方集气罩收集后通过活性炭纤维有机废气净化器处理后引至室外25m排放。收集效率按95%计，处理效率按70%计，设计风机风量为氯化氢作为该股废气的特征污染因子。根据验收监测报告（金环监报[201单位：浓度mg/m3，速率kg/h监测时间浓度范围平均值平均风量排放速率0.044~0.3440.1920.0020.150~0.7060.4020.005平均值0.044~0.7060.2970.0035），不含灰份、硫份（总硫含量≤200mg/Nm3根据《第一次全国污染源普查工业污染源产排污系数手册》，每燃烧104m3的天然气产生烟气量为136259.17m3，年耗量名称污染物排放系数污染物排放量排放速率排放浓度1.35万m³/a（4000h/a）烟气量1.84×105m3/a45.99m3/h/NOx18.71kg/104m30.025t/a0.006kg/h137.3mg/m3SO24.0kg/104m30.005t/a0.001kg/h29.4mg/m3浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表）；）；表3.1-8该项目设备有机溶剂保养时间一览表设备名称设备数量保养频次保养时间累计保养时间匀胶机215min/次37.5h显影机25min/次0.67h光刻机215min/次2h清洗机130min/次6h刻蚀机32h/次300h80%计，处理效率按70%计，则经处理后的丙酮及异丙醇排放量约0.042t/a及浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表单位：t/a产生工序污染物名称产生量排放量最终去向有组织无组织*合计酸洗去胶硫酸雾9.1710.8710.459经碱喷淋装置处理后由25m高排气筒排放匀胶环己酮0.0800.0230.0040.027经活性炭纤维有机废气净化器处理后引至25m高排气筒排放显影三甲胺0.0110.0030.000550.0040.0060.0020.00030.002保养丙酮0.1760.0420.0350.077异丙醇0.0190.0050.0040.009清洁异丙醇0.09400.0940.094由车间排风系统收集至15m高排气筒排放刻蚀氯化氢0.5600.02100.021经碱喷淋装置处理后由25m高排气筒排放天然气燃烧0直接引至15m高排气筒排放NOx0.0250.02500.025SO20.0050.00500.005VOCs合计0.3860.0750.1380.213/*注：该项目各生产工序均在相对密闭的车间内进行，各工段散发至车间的废气均通过车间排风系统抽至15m高排气筒排放。因此严格意义上讲，本项目没有无组织废气的排放。废包装桶、硫酸废液、匀胶废液、废显影液、废抹布、废活浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表序号固废名称实际产生量t/a属性处置方式是否符合规范1不合格品0.002一般废物回用于生产符合2废包装桶危险废物由供应商浙江三鹰化学试剂有限公司回收利用符合3硫酸废液32危险废物委托浙江金泰莱环保科技有限公司处置符合4匀胶废液0.5危险废物委托金华市莱逸园环保科技开发有限公司处置符合5废显影液危险废物符合6废抹布0.06危险废物符合7废活性炭0.7危险废物符合8丙酮废液0.2危险废物符合9污泥2危险废物收集后外运填埋符合废膜0.01一般废物环卫部门统一清运符合生活垃圾7.5一般废物环卫部门统一清运符合序号设备名称数量噪声级dB（A）监测距离1刻蚀机3距设备1m处2匀胶机270距设备1m处3清洗机1距设备1m处4各类风机若干距设备1m处5水泵若干距设备1m处浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表表3.1-12原有项目生产“三废”产生及排放情况一览表污染物类型产生量削减量排放量废气硫酸雾（t/a）9.1717.841氯化氢（t/a）0.560.5390.021环己酮（t/a）0.080.0530.027三甲胺（t/a）0.0110.0070.004甲醇（t/a）0.0060.0040.002丙酮（t/a）0.1760.0990.077异丙醇（t/a）0.1130.010.103VOCs合计（t/a）0.3860.1730.213天然气烟气量（Nm3/a）1.84×10501.84×105SO2（t/a）0.00500.005NOX（t/a）0.02500.025废水废水量（t/a）2944.5202944.52CODCr（t/a）0.148NH3-N（t/a）0.02820.01320.015不合格品0.0020.0020废包装桶0硫酸废液32320匀胶废液0.50.50废显影液0废抹布0.060.060废活性炭0.70.70丙酮废液0.20.20污泥220废膜0.010.010生活垃圾（t/a）7.57.50LAeq70~80dB（A）夜55dB（A）浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表年产192万片高精度项目编号污染工序污染物（因子）主要去向废水W1定向切割切割废水（pH、SS、CODCr、氨氮、石油类）进污水站处理W2切割后清洗清洗废水（pH、SS、CODCr、氨氮、石油类）W3双面研磨研磨废水（pH、SS、CODCr）W4研磨后清洗清洗废水（pH、SS、CODCr）W5倒角打磨废水（pH、SS、CODCr）W6退火前清洗清洗废水（pH、SS、CODCr、TP）W7化抛化抛废水（pH、SS、CODCr、铜）W8中间清洗清洗废水（pH、SS、CODCr、铜）W9抛光液清洗清洗废水（pH、SS、CODCr）W10酸碱清洗清洗废水（pH、SS、CODCr、TP）W11碱喷淋塔喷淋废水（pH、SS、CODCr）W12循环冷却系统循环冷却水（pH、SS、CODCr）循环使用，不外排W13纯水系统浓水（pH、SS、CODCr）用于厂区绿化W14职工生活生活污水（pH、SS、CODCr、NH3-N）沼气池净化后纳管废气G1退火前清洗酸洗废气（硫酸雾）经碱喷淋处理G2贴蜡贴蜡废气（正丙醇）经活性炭吸收G3酸碱清洗酸洗废气（硫酸雾）经碱喷淋处理G4热水锅炉天然气燃烧废气（SO2、NOx）直接引至高空排放G5车间洁净系统混合废气（硫酸雾、正丙醇）直接引至高空排放双面研磨废碳化硼外卖综合利用退火前清洗、酸碱清洗硫酸废液委托处置贴蜡废液体蜡委托处置铜抛铜抛废液委托处置检查不合格品回用于生产原料包装废包装桶/袋原料供应商回收废水处理污泥委托处置纯水制备废膜环卫部门统一清运职工生活生活垃圾环卫部门统一清运噪声/设备运行噪声浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表项目pHCODCrNH3-N总磷石油类定向切割废水2.5t/a污染物浓度mg/L8.8687303.2污染物产生量t/a/0.0228.00E-061.25E-055.00E-083.75E-05切割后清洗废水10.8t/a污染物浓度mg/L8.767179.0污染物产生量t/a/0.0081.73E-055.40E-052.16E-079.72E-05双面研磨废水89.64t/a污染物浓度mg/L9.7863.170.7污染物产生量t/a/0.0061.25E-056.27E-041.79E-066.27E-05研磨后清洗废水523.2t/a污染物浓度mg/L7.504002.294.0污染物产生量t/a/0.2090.0010.0031.05E-050.002倒角工序打磨废水836.0t/a污染物浓度mg/L9.7863.170.7污染物产生量t/a/0.0530.0061.67E-055.85E-04退火前清洗废水131.7t/a污染物浓度mg/L7.50788污染物产生量t/a/0.1040.0056.59E-042.90E-054.74E-04化抛废水271.70污染物浓度mg/L7.503503020000.5污染物产生量t/a/0.0950.0080.5435.43E-061.36E-04中间清洗废水5217.85t/a污染物浓度mg/L7.505002.04.0污染物产生量t/a/2.6090.0100.0261.04E-040.021抛光液清洗废水1259.93t/a污染物浓度mg/L7.9270.50.360.2污染物产生量t/a/0.0893.78E-040.0082.52E-052.52E-04酸碱清洗废水3008.23t/a污染物浓度mg/L80040.00.223.6污染物产生量t/a/2.4070.1200.0156.62E-040.011酸雾喷淋塔废水9.8t/a污染物浓度mg/L7.6525872.49///污染物产生量t/a/0.0252.44E-05///综合废水11361.35t/a污染物浓度mg/L/495.2853.020.08污染物产生量t/a/5.6270.1450.6020.0010.036浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表表3.1-20该项目废水污染源强汇总废水种类污染物名称产生量削减量排放量排放去向生产废水废水总量11361.35011361.35经厂内污水处理站处理后纳入市政污水管网CODCr5.6275.0590.568NH3-N0.1450.0880.057生活污水废水总量243002430经沼气净化池处理后纳入市政污水管网CODCr0.8510.729NH3-N0.0850.0730.012浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表图3.1-4该项目水平衡分析图浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表单位：t/a产生工序污染物名称产生量排放量最终去向有组织无组织合计清洗硫酸雾0.4470.0420.0220.064经碱喷淋处理后引至25m高排气筒排放贴蜡正丙醇0.38700.3870.387由车间排风系统收集至15m高排气筒排放天然气燃烧烟气量（Nm3/a）3.82×1053.82×10503.82×105直接引至15m高排气筒排放NOx0.0520.05200.052SO20.0110.01100.011VOCs合计0.38700.3870.387/表3.2-4建设项目固体废物分析结果固废种类产生工序形态主要成分预计产生量t/a属性危废代码废碳化硼双面研磨碳化硼32.5一般废物/硫酸废液酸洗液态硫酸、磷酸、双氧水8.2危险废物HW34废液体蜡贴蜡液态松香、正丙醇危险废物HW08铜抛废液铜抛液态金刚液、铜离子、水4.5危险废物HW22不合格品检查三氧化二铝0.01一般废物/废包装桶原料包装金属、塑料、玻璃危险废物HW49污泥污水处理半固态含水污泥3.0一般废物/废膜纯水制备膜0.02一般废物/生活垃圾职工生活纸、厨余物等22.5一般废物/浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表序号设备名称数量噪声级dB（A）位置排放方式监测距离1多线切割机590生产车间连续距设备1m处2双面研磨机795生产车间连续距设备1m处3超声波清洗机175生产车间连续距设备1m处4倒角机395生产车间连续距设备1m处5酸碱清洗机6生产车间连续距设备1m处68生产车间连续距设备1m处7晶片上蜡机670生产车间连续距设备1m处8单面铜抛机495生产车间连续距设备1m处9单面抛光机90生产车间连续距设备1m处甩干机375生产车间连续距设备1m处五、年产192万片即开即用蓝宝石衬底片技表3.2-6原有项目污染源强汇总单位：t/a污染物产生工序污染物名称产生量削减量排放量废水生产废水生活污水废水总量13791.35013791.35CODCr6.4785.7880.690NH3-N0.2300.1610.069废气清洗硫酸雾0.4470.3830.064贴蜡正丙醇0.38700.387天然气燃烧烟气量（Nm3/a）3.82×10503.82×105NOx0.05200.052SO20.01100.011VOCs合计0.38700.387双面研磨废碳化硼32.532.50酸洗硫酸废液8.28.20贴蜡废液体蜡0铜抛铜抛废液4.54.50检查不合格品0.010.010原料包装废包装桶0污水处理污泥3.03.00纯水制备废膜0.020.020职工生活生活垃圾22.522.50浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表项目编号污染工序污染物（因子）主要去向废水W1纯水清洗1及甩干1清洗废水（pH、SS、CODCr、石油类）经污水站处理后纳管W2显影显影废水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W3刻蚀中和废水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W4纯水清洗2及甩干2清洗废水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W5超声波清洗清洗废水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W6废气处理喷淋废水（pH、SS、CODCr、NH3-N）W7循环冷却系统循环冷却水（pH、SS、CODCr）循环使用，不外排W8纯水系统浓水（pH、SS、CODCr、NH3-N）用于厂区绿化W9职工生活生活污水（pH、SS、CODCr、NH3-N）经沼气池净化后纳管废气G1硫酸清洗酸雾废气（硫酸雾）收集后经碱喷淋处理G2匀胶有机废气（环己酮、非甲烷总烃等）收集后经活性炭吸收G3显影有机废气（三甲胺、甲醇、恶臭等）G4PSS刻蚀刻蚀废气（BCl3、AlCl3、HCl等）收集后经碱喷淋处理G5去胶酸雾废气（硫酸雾）G6热水锅炉天然气燃烧废气（颗粒物、SO2、NOx）直接引至高空排放G7设备保养有机废气（丙酮、异丙醇等VOCs）收集后经活性炭吸收G8日常清洁及车间洁净系统混合废气（硫酸雾、VOCs等）直接引至高空排放酸洗、去胶硫酸废液委托处置匀胶匀胶废液委托处置显影废显影液委托处置检查不合格产品回用于生产原料包装废包装桶回收利用/委托处置擦拭设备废抹布委托处置废气处理废活性炭委托处置废水处理污泥外运填埋设备保养丙酮废液委托处置S10纯水制备废膜环卫部门统一清运职工生活生活垃圾环卫部门统一清运噪声/设备运行噪声浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表根据企业提供的资料，技改项目将新增1台清洗机（日最大生），管网。清洗用水量类比现有项目（清洗机尺寸及换水频），提供的资料，4英寸单片清洗消耗的纯水量比2英寸单氨氮浓度分别为10mg/L及0.02mg/L，则该股废水CODCr、氨氮年产生量分别为浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表料，该超声波清洗机采用流动式水流清洗，水流量约9L/min，日工作时间约16h声波清洗废水产生量约为2462.4t/a，排入污水处理站处理达标后纳入市政污水管企业拟新建一套酸雾喷淋塔处理清洗机产生的酸雾废气，废气经处理后引至约半年左右更换一次，则洗涤塔废水排放量约为9.8t/a。废水水质类比现有项目，为0.190t/a及0.0005t/a（为保守起见，按污水站进口浓度计算后分别为2.902t/a及0.0006t/a经厂内污水处理站处理达入网标准后纳入市政污水管网，最处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）一级标准产废水排环境量为7078.1t/a，CODCr排环境量为0.354t/a，NH3-N排环境量为技改项目所在生产车间同现有项目一致，因浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表2000t/a，冷却水经冷水机组冷却后企业技改项目拟新增员工50人，三班制生产，年工作300天。员工生活用水废水种类污染物名称产生量削减量排放量排放去向生产废水废水总量7078.107078.1经厂内污水处理站处理后纳入市政污水管网CODCr2.9022.5480.354NH3-N0.0006-0.0340.035生活污水废水总量810.00810.0经沼气净化池处理后纳入市政污水管网CODCr0.2840.2430.041NH3-N0.0280.0240.004浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表单位：t/a产生工序污染物名称产生量排放量最终去向有组织无组织*合计酸洗去胶硫酸雾9.1710.8710.459经碱喷淋装置处理后由25m高排气筒排放匀胶环己酮0.1640.0470.0080.055经活性炭纤维有机废气净化器处理后引至25m高排气筒排放显影三甲胺0.0490.0140.0020.0160.0270.0080.0010.009保养丙酮0.2350.0560.0470.103异丙醇0.0820.0200.0160.036清洁异丙醇0.28300.2830.283由车间排风系统收集至15m高排气筒排放刻蚀氯化氢4.7600.19000.190经碱喷淋装置处理后由25m高排气筒排放天然气燃烧4.41×1054.41×10504.41×105直接引至15m高排气筒排放NOx0.0610.06100.061SO20.0130.01300.013VOCs合计0.8400.1450.3570.502/浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表表3.3-4建设项目固体废物分析结果固废种类产生工序形态主要成分预计产生量t/a属性危废代码不合格品检查三氧化二铝0.006一般废物/*废包装桶原料包装塑料、玻璃4.5危险废物HW49硫酸废液酸洗、去胶液态硫酸59危险废物HW34匀胶废液匀胶液态光刻胶危险废物HW16废显影液显影液态显影液危险废物HW16废抹布擦拭布、有机物0.2危险废物HW49废活性炭有机废气处理活性炭危险废物HW49污泥污水处理半固态含水污泥2.0一般废物/丙酮废液设备保养液态丙酮0.5危险废物HW06废膜纯水制备膜0.02一般废物/生活垃圾职工生活纸、厨余物等7.5一般废物/序号设备名称数量噪声级dB（A）位置排放方式监测距离1刻蚀机9生产车间连续距设备1m处2匀胶机270生产车间连续距设备1m处3清洗机1生产车间连续距设备1m处4真空PVD镀膜机575生产车间连续距设备1m处5超声波清洗机175生产车间连续距设备1m处6各类风机若干生产车间连续距设备1m处7水泵若干生产车间、污水站连续距设备1m处浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表表3.3-6原有项目污染物产生及排放情况汇总单位：t/a污染物产生工序污染物名称产生量削减量排放量废水生产废水生活污水废水总量7888.107888.1CODCr3.1862.7920.394NH3-N0.029-0.0100.039废气酸洗、去胶硫酸雾9.1717.841匀胶环己酮0.1640.1090.055显影三甲胺0.0490.0330.0160.0270.0180.009保养丙酮0.2350.1320.103异丙醇0.0820.0460.036清洁异丙醇0.28300.283刻蚀氯化氢4.7604.5700.190天然气燃烧烟气量（Nm3/a）4.41×10504.41×105NOx0.06100.061SO20.01300.013VOCs合计0.8400.3380.502检查不合格品0.0060.0060原料包装废包装桶4.54.50酸洗、去胶硫酸废液59590匀胶匀胶废液0显影废显影液0擦拭设备废抹布0.20.20有机废气处理废活性炭0污水处理污泥2.02.00设备保养丙酮废液0.50.50纯水制备废膜0.020.020职工生活生活垃圾7.57.50浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表表3.4-1原有项目污染物产生及排放情况汇总单位：t/a污染物污染物名称产生量削减量排放量废水废水总量24623.95024623.95CODCr4.0232.792NH3-N0.12300.123废气硫酸雾10.5657.8412.724环己酮0.1910.1090.082三甲胺0.0530.0330.0200.0290.0180.011丙酮0.3120.1320.180异丙醇0.4680.0460.422氯化氢4.7814.570.211正丙醇0.38700.387烟气量（Nm3/a）505NOx0.13800.138SO20.02900.029合计VOCs0.338不合格品0.0720.0720废包装桶0硫酸废液99.299.20匀胶废液0废显影液6.86.80丙酮废液0.70.70废抹布0.260.260废活性炭2.12.10废碳化硼32.532.50废液体蜡0铜抛废液4.44.40污泥770废膜0.050.050生活垃圾37.537.50浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表根据金环建开[2017]76号（见附件）文件，企业原有项目总量控制指标为：1.3.6原有项目污染防治措施、存在的问题及整改要求表3.6-1现有项目污染防治措施及存在的问题项目原环评及批复要求的措施企业实际采取的措施存在的问题及整改要求废气硫酸雾收集后经废气洗涤塔碱喷淋处理后通过室外25m排气筒高空排放。废气收集后经废气洗涤塔碱喷淋处理后于25m高空排放，该设施已通过环保验收。硫酸雾监测浓度接近允许值，建议加强喷淋系统的维护。刻蚀废气匀胶废气收集后经活性炭纤维有机废气净化器处理后引至25m排气筒高空排放。三股废气收集后一起经活性炭纤维有机废气净化器处理后于25m高空排放，该设施已通过环保验收。无显影废气保养废气车间排风系统废气收集后直接引至15m排气筒高空排放。收集后直接引至15m排气筒高空排放。无天然气燃烧废气收集后引至15m以上高空排放。燃烧烟气收集后引至15m高空排放。无废水废水项目须进一步做好厂区雨污分流、清污分流系统、事故应急系统完善，以及生产装置区地面的防腐防渗漏工作。雨水排入市政雨水管网；冷却水循环使用；生产废水入公司污水处理站经中和、沉淀、水解酸化、氧化及MBR处理后排入市政污水管网；生活污水经沼气净化池处理后排入市政污水管网。项目采用雨污分流、清污分流制；雨水排入市政雨水管网；冷却水循环使用；生产废水入公司污水处理站处理后排入市政污水管网；生活污水经沼气净化池处理后排入市政污水管网；设有容积约220m³的事故应急池。废水处理设施已通过环保验收。无浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表废原料包装桶（袋）、硫酸废抹布、污水处理污泥、废活性炭、丙酮废液属于危险及时委托有资质单位处置。厂内暂存场所须按规范要求做好防雨、防渗、防漏工作，纯水制备膜、生活垃圾收集后由环卫部门统一清运。不合格产品回用于生产。废原料包装桶（袋）由原料供应商浙江三鹰化学试剂有限公司回收利用；硫酸废液委托浙江金泰莱环保科技有限公司处置；匀胶废液、废显影液、丙酮废液、废抹布、废物污泥、废活性炭等委托金华市莱逸园环保科技开发有限公司安全处置；不合格品回用于生产；废纯水制备膜、生活垃圾由环卫部门清运。危废转移联单制度执行情况有待规范；危废仓库建设有待改进。合理厂区车间布局，选用低噪声设备，对高噪声源采用隔音、消声、减振等措施进行治理。设备安装时已采取加固减振措施；厂区绿化较好；生产班制为三班制，企业各独立车间密闭性好，噪声对外界环境影响不大。无1、因喷淋塔排放口硫酸雾浓度已接近允许排放标准，建议企业加强对酸雾喷2、企业应进一步规范危废转移联单制度的执行，做好危废转移的调账记录，3、企业应继续保持各项污染防治设施的正常运行，建立健全各项环保规章制度，做好环保设施的管理和维护工作，落实应急预案，4、鉴于目前在用危废仓库地势较低，易受雨涝影响，建议尽早建设符合要求浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表2、项目所在地自然环境社会环境简况西跨度151公里，土地面积10942平方公里。市区位于东阳江、武义江和金华江交南属仙霞岭，北、西北接龙门山及千里岗山脉。山地内侧散布起伏相对和缓的丘陵，浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表金华市域内江河分属钱塘江、瓯江、曹娥江、椒江4大水系，流域面积分别为9332.73平方公里、949.71平方公里、341.6平方公里和293.96平方公里，分别占浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表有地质根据计算的总储量在3000万吨以上。主要分布在武义、永康、义乌、东阳、），树居首位，中型矿床（矿石储量大于50万吨）30处，小型矿床60处及矿点矿化点金华九龙--山口岩矿储量0.8亿吨。沸石资源主要分布于金华汤溪、永康中山、东阳铅、锌、煤、石煤、铀、磷、石墨、珍珠岩、方解石等15种。其中主要已经开发利用的矿产有萤石、水泥用灰岩、砖瓦用粘土、建筑石料、建筑用砂、饰面用花岗石、种，其中森林树种440种，草本植物约300余种，农作物品种资源800余种。属国岩茶，东阳的东白茶、席草，东阳、磐安的药材“浙八味”中的白术、白芍、元浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表鲫鱼以及长春鳊、三角鲂、团头鲂、鲴鱼、鳜鱼、鳇鱼、泥鳅、黄鳝、鲶鱼等30多2.2社会环境简况(社会经济结构、教育、文化、文物保护等)口30.05万人。金华属于“文化之邦”，有较好的人文地理条件。金华市的文化教2017年全市实现地区生产总值3870亿元，增长6.5%；一般公共预算收入357.7），2013年10月，按照省委、省政府关浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表园区”、“首批省级电子商务示范园区”、“浙江省工业循环经济示范2.3.1金华市城市总体规划修改（2006－2022020年市区人口预测为165—185万人，城市化水平84%；中心城区人浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表④市区空间发展战略：“两山一廊，聚合主轴”“两山一廊”：南山、北山为主要生态空间加强保护，中部走廊作为发展主轴妥善），），）：1、基本特征：面积44.31平方公里；为金华开发区江南区块以工业发展为主的（2）环境质量目标：地表水环境质量达到Ⅲ类标准；环境空气质量达到二级标（1）严格实施污染物总量控制制度，根据环境功能目标实现情况，编制实施重（2）禁止新建、扩建三类工业项目，但鼓励对三类工业项目进行淘汰和提升改（4）优化居住区与工业功能区布局，在居住区和工业功能区、工业企业之间设浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表（7）加大工业点源达标治理力度，推进企业废水治理设施建设，加快污水处理（9）最大限度保留原有自然生态系统，保护好河湖湿生境，禁止未经法定许可5、符合性分析：本项目为电子专用材料制造项目，不属于三类工业项目。本项目不属于《部分工业行业汰落后生产工艺装备和产品指导目录(20102.4.1金华市秋滨污水处理厂一期工程概况计，分期实施，先行实施一期工程，一期工程位于金华江），浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告表2.4.2金华市秋滨污水处理厂二期工程概况金华市秋滨污水处理厂二期工程位于污水处理厂厂区西侧和北侧，总投资2.75），），2.4.3金华市秋滨污水处理厂三期工程概况金华市秋滨污水处理厂三期工程位于金华市秋滨污水处理厂现有厂区西南侧和配套设施，出水水质标准为《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）度处理工艺。三