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文档简介

一种MEMSME（微电子机械系统）常广泛。其中，平面线圈是其中一个重要的组件。本论文介绍了一种基于电沉积的平面线圈制备方法，该方法使用化学药品和电解质进行电沉积，可以在基板上制造具有高性能的平面线圈，从而有效地解决了传统的平面线圈制造方法存在的一些问题。实验结果表明，使用该方法可以MES应用的进一步发展提供了重要的技术支持。在微电子机械系统（ME）中，平面线圈是非常重要的组件，常用于传感器、控制器和执行器等方面。传统的平面线圈制造方法包括光刻、电子束光刻和微影技术等，虽然这些方法可以实现高精度的制造，但制ECF过程中，基板通过电解液接地，作为阳极。此外，涂有铜的ECF过程中，电解液中的铜离子会逐渐沉MEMS中，电沉积技术被用于增强微机电系统的电电解液：铜离子通过实验，我们制造了一系列电沉积平面线圈样品。实验结果表明，使用该方法可以制造出具有高精度、高灵敏度和高稳定性的平面线圈。MEMS应用的进一步发展提供了重要的技

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