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文档简介

1120XX121产品名目PRODUCTSCTLOG解决方案产品应用周密定位,光刻XX压电致动器显微成像高区分率显微镜压电Z向样品XX压电物镜扫描器生物工程流式细胞仪细胞分选电生理/膜片钳/小区内计量微平移XX直线促动器微操作器快速压电促动器航天图像处理低温与真空环境压电偏摆镜压电扫描XX主动光学纳米技术纳米制造纳米自动化管型促动器盘型促动器弯片促动器压电元件通信调整通信对接测量多通道波导压电偏摆镜压电促动器晶圆检查纳米计量周密加工XX旋转定位XX光电子通信集成光学压电弯片定位用压电促动器PZT器数据存储技术读/写头测试高动态纳米定位XX超快操纵器公司简介INTRODUCTION哈尔滨溶智纳芯科技专从事微动与宏动类产品的研发和制造,产品掩盖科研,教学、工业等众多领域。公司技术力气雄厚,专业技术人员占人员总数的比例超过百分之九十,且拥有丰富的相关工作阅历。悦目。求。一时间得到解决,无后顾之忧。雄厚技术,先进工艺,严格质检,准时售后,表达在您得到的任何一种产品上,把更多的时间还给您个人。历史客户清华大学大学ZG航空航天大学理工大学ZG心清华大学深圳争论生院 天律大学中科院物理与数学争论CPT哈尔滨工业大学哈尔滨工程大学ZGXX大学哈尔滨理工大学ZG科学院长春光学周密机械与物理争论所哈尔滨商业大学XX大学天律核工业理化工程争论院长春理工大学XX大学物理所沈阳理工大学沈阳建筑大学重庆绿色智能技术争论院沈阳电子大学南XX航空航天大学XXxxx合肥工业大学XX科技大学北斗导航科技重庆大学合肥工业大电子所XX大学燕山大学XXXX大学XX州大学ZG44XX师范大学职业技术学院大学力学系长春亮丽光电XX大学电力大学XX武汉理工大学电子科技大学XX沙国防科技大学西安交通大学XX微远仪器设备有限公司西安工业大学国防科学技术大学XXXX航空仪表有限公司国防科学技术大学光电科学与工程学院 香XX理工大学XXXX科技学院中南大学XXZG计量科学争论院邮电大学天律必利优科技首都师范大学ZG矿业大学江油先进机电设备交通大学同济大学XXXXXX师范大学南XX信息工程大学麦田富润科技有限公司XX大学嘉兴学院无锡恩译科技厦门大学XX理工大学南XXXX科技大学XXXXXXXX科学院重庆大学高怡達科技〔深圳〕工业大学ZG计量科学争论院深圳市百纳影像科技有限公司ZG矿业大学交通大学光电所XX福地视野光电技术有限公司物理所交能大学美时医疗XX信息工程大学XX工业大学志邦科技XX大学XX理工大学南昌兴鑫电子天律南开大学清华大学精仪系赛凡光电仪器XX理工大学XX师范大学XXXX大学机械学院XX工业大学福州顺时代电子ZG54争论所深圳大学宝瑞光电科技哈尔滨工业大学机械设计系 哈工大机电院深圳大学反光材料厂哈尔滨工程大学机电工程学院理工大学信息学院ZG工业工程争论院哈尔滨工程大学核科学与技术学院 西安工业大学中科院沈阳自动化所名目ContentsP系列——压电陶瓷系列——封装压电陶瓷BXXCXXH系列——压电陶瓷驱动电源E系列——压电陶瓷闭环操纵器M系列——高精度LVDT测位仪DXXLRXXZXXKXX压电陶瓷制动器的构造添加第三种BO3(表示二价金属离子,B表示四价金属离子或几种离子总和为正四价〕型化合物,如:Pb(Mn1/3Nb2/3〕O3和Pb(Co1/3Nb2/3〕O3等组成的三元系。假设在三元系统上再外,还有一种偏铌酸盐系压电陶瓷,如偏铌酸钾钠〔N0.5·K0.5·NbO3〕和偏铌酸锶钡〔Bx·Sr1-x·Nb2O5〕等;z为正压电效应。z场去掉后,电介质的变形随之消逝,这种现象称为逆压电效应,或称为电致伸缩现象。z将压电陶瓷片共烧到一起,机械构造串连,电路构造并连,从而得到大位移输出的压电陶瓷叠;叠堆型压电陶瓷见以下图叠堆型压电陶瓷由正电极层,负电极层,正负电极绝缘层,电压正极供给总线和电压负极供给总线,上绝缘层(工作面),下绝缘层(工作面,银镀在陶瓷软质导电体连接在一起,并引出外线,外线用于连接电压驱动器;z陶瓷构造一样,只是陶瓷中间开有圆孔,用于特别应用见以下图叠层型压电陶瓷输出位移如下:ΔLd33nUd33:单片陶瓷片的应变系数(m/V)n:压电陶瓷片个数U:驱动电压(V)Piezomechnik(PZPhysikInstrumente(PIz压电陶瓷双Z方向生弯曲变形;右图是压电陶双晶片并联操纵方式和串联操纵方式ΔL=1/2d31U(L/d)2(m/V)L:陶瓷管长度(m)压电陶瓷特性压电陶瓷的迟滞特性同一压电陶瓷的升压和降压位移曲线之间不同,并存在位移差称为迟滞特性,如以下图所示压电陶瓷的非线性瓷的迟滞和非线性,如以下图压电陶瓷的闭环曲线压电陶瓷的蠕变特性压电陶瓷在肯定的驱动电压下,压电能到达稳定值,如右图所示压电陶瓷选型和使用方法及应用压电陶瓷材料刚度:510MP则会损坏压电陶瓷,拉力损坏压电陶瓷侧向力损坏压电陶瓷压力的正确使用压频率。压电陶瓷叠堆执行器的特点是的高达几百牛顿的刚度值,压电陶瓷的材料刚度算计如下:kStck=E*/LE=σ/εKStck:压电陶瓷材料刚度;E:弹性模量A:压电陶瓷的横截面〔mm〕L:压电陶瓷的长度〔m〕σ:在弹性变形范围内的应力〔MP〕ε:在应力作用下产生的应变,即相对变形量〔Δl纲。的选型手册中都以给出压电陶瓷的材料刚度.压电陶瓷在电场力作用下的刚度:力和位移成反比关系,右图是压电陶瓷在电场力作用下的输出力和输出位移关系图,横轴为压在不同驱电压时都有力与位移的对应关系,k =Fmx/?L0kFmx:压电陶瓷在电场力作用下输出的最大力?L0:压电陶瓷在电场力作用下输出的最大位移在选用压电陶瓷先确定压电陶瓷要驱动的负载然后按上图确定压电陶瓷的输出力,和输出位移,以免造成驱动压电陶瓷的输出力和位移不够。压电陶瓷在电场力作用下驱动负载力不变的应用:压电陶瓷在无变化负载力(F)的作用下,产生了压电陶瓷的材料变形量,所以压电陶瓷的零点位置发生变化,压电陶瓷的电压,压电陶瓷的位移量输不变,输出力和负载的关系如右图,公式如下:?Ln≈Fv/kF=m·g?Ln:压电陶瓷在受重力的作用下零点偏移量kF:压电陶瓷所受的重力(N)m:负载质量(Kg)g:重力加速度(m/s压电陶瓷在受重力(或不变负载)时,压电陶瓷产生零点偏移量,这由压电陶瓷的材料刚度和压电陶瓷所受的不变负载有关,压电陶力,假设超过会将压电陶瓷损坏,有变化,只是零点向下,压电陶瓷的位移输出量不变压电陶瓷在电场力作用下无预紧力,低刚度负载的应用:压电陶瓷在无预紧力和低刚度负载时压电陶瓷的压电材料变形量的电压,输出位移,输出力和负载的关系如右图,公式如下:?L≈?L0(k/k +kL)?LR≈?L0(1-k/k +kL)Feff≈k (k/k +kL)Fmx-eff≈k (1-k/k +kL){}?L0:空载压电陶瓷在V0(电场力)驱动下输出最大位移(Fmx=0)Fmx:0(电场力)驱动下输出最大力(?L0=0)Fmx-eff:空载压电陶瓷在V0(电场力)驱动负载所损耗的输出力?L:压电陶瓷在V0(电场力)驱动下加负载kL移量Feff:压电陶瓷在V0(电场力)驱动下加负载kL作用下输出的力?LR空载压电陶瓷在V0(电场力)驱动负载所损耗的输位移k:压电陶瓷在电场力作用下的刚度kL:低负载刚度(弹簧钢度)F:力坐标V0:电压陶瓷的最大驱动电压(产生最大的电场力):空载压电陶瓷升压和降压的位移输出曲线B:加载kL压电陶瓷在电场力作用下有预紧力并加刚度负载的应用:压电陶瓷在有预紧力和刚度负载时压电陶瓷的压电材料发生零点位移变,输出力和负载的关系如右图,公式如下?Ln≈FV/kFV:压电陶瓷的预紧力,?Ln:压电陶瓷在受重力的作用下零点偏移量在有预紧力和刚度负载时压电陶瓷所输出的位称量和输出力发生了零点位移变低,输出位移变小,其它计算不变2压电陶瓷动态应用快速响应是一个压电致动器的特征,压电陶瓷驱动电源快速的驱动电压变化驱动压电陶瓷的快速位置变化,这个特点在扫上面压电陶瓷在保证公称位移输出量的最大响应速度是在可以通过智能操纵技术或位置伺服操纵加以减小;例如:一个10kHz谐振频率的压电陶瓷在约30(需要输出足够电流和驱动电压)压电陶瓷在动态应用中,压电陶瓷质量与负载质量的关系:压电陶瓷轴向振动频率输出时,压电陶瓷需要具有预紧力,的附加载荷可以用以下公式估算:在定位应用,压电陶瓷输出频率大大低于谐振频率,保持操以由如下公式计算:压电陶瓷的动态输出力:1万米/秒的高加速度。由于可能的耦合质量以及执行器本身的惯性,动态拉力发生必需得到补偿的机械预紧力例如:1kHz的输出动力,2μm位移〔峰值〕1质量大约是±40N。压电陶瓷的电容量像一个电容器。压电陶瓷的位移输出和电荷成比例。压电陶瓷瓷是由很多陶瓷层电级并联,电容也取决于层的数目。压电陶瓷有漏电流损失在μ以下的范围内压电陶瓷是呈现高内阻:Tmin:压电陶瓷的响应速度[sf0:压电陶瓷的谐振频率[Hz]

m[kgf0:压电陶瓷的谐振频率[Hz]f0”:压电陶瓷驱动负载输出谐振频率负载[Hz]meff[kg]meff”压电陶瓷的三分之一质量加上负载质量[kg]f[Hzφ:相位角[度]f0:压电陶瓷的谐振频率[Hz]Fdyn:压电陶瓷的动态输出力[Nmeff之一质量[kgF[Hz]ΔL〔峰峰值〕[m上图是叠堆压电陶瓷在1kHz的单极性正弦信号测量电容容C的堆栈致动器可以被估量为一个电容器:假设叠堆压电陶瓷去除上下绝缘片,陶瓷的总长度:N≈L/HL:公式可变为如下:定位操作,低静态和动态当通电时,存储在一个压电致动器的能量四周,在电荷每I:流,即使在格外高的负载的状况下。能耗相对较低。即使突然断开电源,压电陶瓷位置回零不断渐渐的发生。位置操纵操作能〔数字或模拟,过滤器和操纵器类型,带宽〕也限制了定位系统的工作带宽。C:叠堆型压电陶瓷电容量[F]n:叠堆型压电陶瓷叠层的数目εT33:介电常数=ε33/ε0[s/Vm]ml:压电陶瓷的长度[m]hL:叠堆型压电陶瓷每层的厚度[m]I:压电陶瓷的电流[]Q:电荷[CsV:压电陶瓷驱动电压[Vt:时间[s]2压电陶瓷动态功率消耗:的工作频率,幅值和电容量。而静态应用压电陶瓷功率消耗几乎产生功率损耗使压电陶瓷产生热量,压电陶瓷在正常动态应用中的峰值功率和压电陶瓷的损耗功率可以估算如下:0.01到0.02。2%的电功率流过压电陶瓷转化为热。在大信号状况压电陶瓷时,损耗因子可在0.25到0.3,冷却措施是必要的。对瓷。脉冲模式操作的压电陶瓷的输出位移可以最快在微秒范围三倍大于压电陶瓷谐振频率。压电陶瓷位移反响器件应变仪的粘贴实物图和原理图如下:以下图为粘贴后的实物图,以下图为应变仪的桥接原理图P:压电陶瓷的峰值有效功率[W瓷脉冲输出所需功率)P :平均值功率[W](压电陶瓷连续输出所需功率)P1:压电陶瓷的损耗功率[W]tnδ:介质损耗因数f:操纵频率[Hz]C:电容量[F]VPP:驱动电压〔峰峰值〕[V]I:平均电流[](压电陶瓷连续动态驱动输出所需电流)Imx:压电陶瓷驱动最大峰值有效电流[](压电陶瓷脉冲输出所需电流)f:操作频率[HZ]Fmx:最大工作频率[HZC:负载电容量[F]t:冲电时间[s]VPP:驱动电压〔峰峰值〕[V]压电陶瓷的特点:容性负载,驱动电压在0到150V 工作温度在-20℃~120℃,应速度右在微秒级驱动要求直流稳压电源依据驱动的方式不同可输出直线位移,也可以作为震荡源使用主要应用:科学叠堆型压电陶瓷选型表德国Piezomechnik(PZ)叠堆型压电陶瓷选型表pst1500V~+150V的电压与位移曲线Pst-HD200系列0V~+150V的电压与位移曲线■pst150系列-30V~+150V的电压与位移曲线Pst-HD20030V~+150的电压与位移曲线名称:单片压电陶瓷微位移致动器单片压电陶瓷的特点多层共烧一体轴向响应频率大d31d33在力传感器/发电机中的广泛应用50V可以驱动格外高负荷温度范围:-273°C~+130°CPZT陶瓷材料常数d31 -240picometer(皮米)/Volt(伏)d33+580picometer(皮米)/Volt(伏)电介质常数ε:1900居里温度:250°C密度:7.5g/cm3弹性顺度s33:20x10-12m2/N单片压电陶瓷微位移致动器选型表产工施加可以硬盘产品特点体积小响应速度精度高:寿命长:牢靠性高〕1000万次以高压较低:40V夹具固定到振是由两片一样电陶瓷双晶片变形。(一般从几抑制、激光陀螺备注响应时间在小以上-200V振动XX上,经同的沿厚度方片一片收缩,到几十克)、螺等。10ms经10-55-10H方向极化的压另一片伸长大位移〔可压电规格外,我压电陶瓷z扫频振动,瓷双晶片1minu粘接而成,将可以通过转变如:选针器、片选型册以依据客户ute,振动幅度致动器一端固变正负极连线盲人阅读器册要求定制度0.35mm。试固定,构成悬线来操纵,压器、压电泵、试验后无机械悬臂梁构造,压电陶瓷片非电子锁、摄械损伤。沿Z方向非固定端便像机快门、名称:光纤拉伸-压电陶瓷环形压电陶瓷的特点多层共烧一体轴向响应频率大d31d33在力传感器/发电机中的广泛应用50V可以驱动格外高负荷温度范围:-273°C~+130°CPZT陶瓷材料常数d31 -240picometer(皮米)/Volt(伏)d33+580picometer(皮米)/Volt(伏)电介质常数ε:1900居里温度:250°C密度:7.5g/cm3弹性顺度s33:20x10-12m2/N单片压电陶瓷微位移致动器选型表多层共烧一体轴向响应频率大rryd31d33在力传感器/发电机中的广泛应用50V温度范围:-273°C~+130°C外表绝缘:镀银电极,外表无涂层PZTd31:-240picometer(皮米)/Volt(伏)d33:+580picometer(皮米)/Volt(伏)电介质常数ε:1900居里温度:250°C7.5g/cm3s3320x10-12m2/N简易封装压电陶瓷选型表压电陶瓷选型方法请参考封装开/闭环压电陶瓷致动器构造资料/驱动电源型号:RH11;闭环操纵器型号:RE53压电陶瓷驱动电源带宽分析压电陶瓷转变长度的速率这个参数在高速应用中格外重要。容量就可以计算出来:0.5。b额定电压V负载压电陶瓷的最大驱动电压〔压电陶瓷的伸缩长度。d)压电陶瓷驱动电源最大带宽,和可驱动的负载电容量。为了驱动外部电容〔压电陶瓷放电的微分,dV/dt,称为转换速率。电容越大,所需要的电流就越大:〔slewrte:电压转换速率;Imx:驱动电源产生最驱动电流;C:压电陶瓷电容量〕比方对于一个100微米的压电陶瓷,电容20μF0.50V75V3应时间成为限制带宽另一因素。正弦信号Vppf有:右图为时间和电压的曲线。在t2nπ(n=012,...)点处到达最大转换速率,或者电压变化:由上面第一个公式可推得:因此,对于上面的例子,最大带宽〔75V〕为.三角波信号Vpek0驱动的压电陶瓷,转换速率与斜率相等:.f1/T矩形波信号Vpek0tr为最小上升时间,则或者.封装开/闭环压电陶瓷致动器构造封装开/闭环压电陶瓷安装方法及输出方法正确使用位移输出端半圆体E3位移输出端外螺纹封装压电陶瓷输出端与被驱动体的外螺纹联连E1位移输出端内螺纹封装压电陶瓷输出端与被驱动体的内螺纹联连压电陶瓷构造特点:封装开/闭环压电陶瓷致动器构造如右侧轴向剖视图所示,由压电陶瓷、机械壳体,压缩弹簧、位移输出杆四局部组成;不能承受拉力的缺乏;真空型;底部面螺纹固定直口固定外直径固定名称:封装环压电陶瓷致动器R150系列封装开/闭环压电陶瓷致动器驱动电压为:-10V~+150V,闭环使用建议:0V~+120V,驱动电压负压过大会使压电陶瓷反向极化,用户使用时负压不要超过-10V.系列名称产品实图外形尺寸图输出位移位接头构造出厂标准配置…R150/11/…/E1z标准位移头E1(用户可选择E2或E3类型)z电压输出线长1.5mmz传感器线长1.5mmz电压线接头:BNCz传感器线:4芯航插R150/13/…/E1z标准位移头E1(用户可选择E2或E3类型)z电压输出线长1.5mmz传感器线长1.5mmz电压线接头:BNCzR150/20/…/E1z标准位移头E1(用户可选择E2或E3类型)z电压输出线长1.5mmz传感器线长1.5mmz电压线接头:BNCR150/22/…/E1z标准位移头E1(用户可选择E2或E3类型)z电压输出线长1.5mmz传感器线长1.5mmz电压线接头:BNC传感器线:4芯航插封装压电陶瓷致动器选型参数表压电陶瓷选型方法请参考封装开/闭环压电陶瓷致动器构造资料/驱动电源型号:RH11;闭环操纵器型号:RE53驱动电压范围:-10V~+150V备注:除上述规格外,我公司也可以依据客户要求定制pst150pst150系列封装开/闭环压电陶瓷致动器驱动电压为:-30V~+150V,闭环使用建议:-10V~+120V,驱动电压0V.系列产品实图外形尺寸图出厂标准配置pst150/5…VS10z接头为沉孔M3深4mmVbs类型)z闭环为两引线输出,线长1.5mmz电压线接头:BNCz传感器线:4芯航插pst150/7…VS12z接头为沉孔M3深4mm(用户可选择Vg、Vbs、pF类型)z闭环为两引线输出,线长1.5mmz电压线接头:BNCz传感器线:4芯航插pst150/10…VS15z接头为沉孔M4mmVg、Vbs、pF类型)z闭环为两引线输出,线长1.5mmz电压线接头:BNC传感器线:4芯航插pst150/15…VS20z接头为沉孔M55mmVgVbspF类型)z闭环为两引线输出,线长1.5mmz电压线接头:BNC传感器线:4芯航插pst150/20…VS25z接头为沉孔M64mmVgVbspF类型)z闭环为两引线输出,线长1.5mmz电压线接头:BNC传感器线:4芯航插Pst系列压电陶瓷致动器选型参数表XX名称产品实图构造说明应用举例XX压电陶瓷直推驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵XX压电陶瓷直推/构造放大驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵具有分体式和一体式构造XX压电陶瓷驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵XX压电陶瓷驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵XX压电陶瓷驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵微动测一维测位头/三维测位头压电陶瓷驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵六自由度并联机器人压电陶瓷驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵XX产品特性高速响应;压电陶瓷驱动;重复定位精度高;纳米级位移区分率;机体材料分铝合金和钛合金;具有开环和闭环两种;承受数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度;标准型-k微小型-W承受计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动构造;承受先进的外表处理工艺,提高了适应不同工作环境的力量。选型说明:例如:RB110SKR:公司名称B:产品系列1:输出维数,1S:闭环选择,开环无K:标准型,W代表微小型材料:超硬铝合金闭环:含反响传感器输出线XX标准型-k型号RB110SRB125SRB150SRB1100SRB1150SRB1200S单位序号mmⅠ62x6288x52114x114mmⅡ52x52mm55x5565x65Ⅲ40x40Ⅳ4-M3104-M4104-M410mmmmⅤ32x3245x4540x402222mmⅥ22mm2020Ⅷ20mmⅦ8810Ⅹ4-φ84-φ84-φ10mmⅨ4-φ4.5φ4.5φ5.5mmrryXX产品特性高速响应;压电陶瓷驱动;较高的重复定位精度;纳米级位移区分率;机体材料分铝合金和钛合金;具有开环和闭环两种;承受数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度;分体组合式-F一体式-Q承受计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动构造;承受先进的外表处理工艺,提高了适应不同工作环境的力量。选型说明:例如:RB210SFR:公司名称B:产品系列2:输出维数,2维,X轴和Y轴1010,单位微米S:闭环选择,开环无F:分体组合型,Q代表一体式构造材料:超硬铝合金闭环:含反响传感器输出线Q高速响应;压电陶瓷驱动;较高的重复定位精度;纳米级位移区分率;机体材料分铝合金和钛合金;具有开环和闭环两种;承受数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度;承受计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动构造;承受先进的外表处理工艺,提高了适应不同工作环境的力量高速响应;压电陶瓷驱动;较高的重复定位精度;纳米级位移区分率;机体材料分铝合金和钛合金;具有开环和闭环两种;承受数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度;承受计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动构造;承受先进的外表处理工艺,提高了适应不同工作环境的力量zXXXXXXz轴XX组合为三维X、y、zX、y、z20x20x2050x50x5020x20x2050x50x5017x17x1745x45x4517x17x1745x45x45LVDT(电感)LVDT(电感)高速响应;压电陶瓷驱动;较高的重复定位精度;纳米级位移区分率;名称:微动测位头产品特性本产品构造由宏动和微动输出组合产品 ;50mm构造可分不锈钢或铝合金构造;可分X轴/XY轴/XYZ轴组合;纳米级位移区分率;具有开环和闭环两种;

手动行程可到承受数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度;RB1系列RB3系列承受计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动构造;承受先进的外表处理工艺,提高了适应不同工作环境的力量z名称:六自由度并联机器人微动六自由度并联机器人宏动六自由度并联机器人X、Y、Z、θx、θy、θzX、Y、Z、θx、θy、θz定位参数X=20μm、Y=20X=10mm、Y=10mmθx=±2°、θy=±2°、θz=±2°高速响应,压电陶瓷驱动或直流伺服电机驱动;较高的重复格保证构结精度;承受计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动构造;XXRE56XX名称产品实图构造说明应用举例一维压电偏XX压电陶瓷直推驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵XX压电陶瓷直推/构造放大驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵一维重载纳XX压电陶瓷驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵一维Z轴纳米定位平XX材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵XX压电陶瓷驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵维测位头压电陶瓷驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵联机器人压电陶瓷驱动材料为超硬铝或不锈钢料材具有开环或闭环操纵XX一维倾斜XX构造驱动电路与计算方法承受单支压电陶瓷驱动输出XX面中端柔性铰链变形输出一维摆角:θx:PZT输出位移量:压电陶瓷与中线的距离θx= /XX构造驱动电路与计算方法承受四支压电陶瓷驱动输出XX面二层柔性铰链变形输出二维摆角:θY、θX:1PZT输出位移量B:2PZT输出位移量C:3PZT输出位移量D:4PZT输出位移量:压电陶瓷中心位置直径θY=(+D)/θX=(B+C)/XX构造驱动电路与计算方法承受三支压电陶瓷驱动输出XX面二层柔性铰链变形三支压电陶瓷在120°角均布输出二维摆角:θY、θX输出z维平移距离:Z:1号PZT输出位移量B:2号PZT输出位移量C:3PZT输出位移量:12b23θY=2–(B+C)/2θX=(B–C)/bZ=( +B+C)/3三脚架驱动倾斜式系统的驱动平XX面由三支压电致动器驱动,以120°角平分到另一个驱动位置,承受坐标变换,运动可以分不同机构之间的。除了倾斜的平XX,也可以使用线性z方向,这是很重要的,例如,用于校正的光学路径长度四脚差分压电驱动的倾斜系统平XX由两对压电致动器位于不同的倾斜方向。轴倾斜θX和θY正交布置使坐标变换是没有必要的。这一结论在线性和角度定位具有很好的稳定范围。倾斜角操纵系统的最大工作频率在很大程度上取决于它的机械响应频率与功率放大器的性能,操纵器和传感器也很重要。系统的组合由倾斜角平XX面和镜,需要计算反射镜基板的第一谐振频率的有效惯性矩。解释:m[g]Im=镜子的惯性矩g×mm2]L[mm]H[mm]TXX外表的距离[mm]R[mm]该系统的响应频率计算和惯性矩使用下面的公式的反射镜基板:有镜子的压头/倾斜系统谐振频率fXX[Hz]f0XX[Hz]I0XX(seetechnicldtg×mm2]]IM=镜子惯的性矩[g×mm2]z@S:集成反响传感器确定位移测量,使用传感器类型:SGS〔应变式传感器〕SGSz@XO:开环驱动0?120V工作电压典型的开环倾斜角度。最大工作电压范围为-20?+150V。z@XC:闭环操作,操纵器具有-20+150V等。z@XOR:压电陶瓷带动传动机械所产生的最小直线位移或最小摆角值。z@XCR:闭环区分率操作,指操纵器反响信号的最小值,主要取决反响传器的采集最小值。z@Pz@R重复定位精度指从初始运动起点开头连续运行屡次输大小取决于屡次运行精度误差的累积值和机械与测量仪器的精度值。z@L线性度实际输出的校准直线与给定直线间的最大偏差称为线性度〔线性度又称为“非线性误差性特性越好。表示为公式如下:δ线性度=ΔX/X程*100%。XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlXX产品特性压电陶瓷驱动;重复定位精度高;纳米级位移区分率;机体材料分铝合金和钛合金;具有开环和闭环两种;承受数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度;承受计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动构造;承受先进的外表处理工艺,提高了适应不同工作环境的力量。型号类型参数RC124RC124SRC150RC150SRC150D注解输出轴方向θXθXθXθXθXSGSSGS@SθX开环摆角(0V~120V)[mrd]±102.52.555±5@XOθX.闭环摆角范围[mrd24.5@XCθX开环摆角区分率[μrd]0.050.050.10.10.2@XORθX摆角区分率[μrd]0.10.10.10.10.2@XCR输出线性度%0.20.2精度 [μrd]-----±1-----±1-----重复定位精度 [μrd]-----±3-----±1-----空载响应频率[KHz44444共振频率/φ15x4毫米玻璃镜[kHz±20%2.52.52.52.5100共振频率/φ15x4毫米铜镜子[kHz±20%]2.22.22.22.2±3.5陶瓷输出支点与输出XX[mm]±0.5666610输出XXg?mm2]230230310310450驱动压电陶瓷型号[μF]±20500500100010003x200动态工作电流系数[μ/Hz˙μm]±200.10.10.1机体材料铝合金/Invr铝合金/Invr铝合金/Invr铝合金/Invr合金铝/Invr电压联接-----工作温度范围[℃]-20?80-20?80-20?80-20?80-20~70电缆长度[m]1.51.51.51.52电压接口连接器 BNCBNCBNCBNC传感接口连接器-----四芯航插-----四芯航插-----0.05重量〔含电缆联接器〕[Kg]闭环/开环操纵器型号RE51/RH11电压驱动线一根反响传感器一根D4XX产品特性高速响应;压电陶瓷驱动;光束偏转至10毫弧度,区分率为50nrd活塞运动到30微米〔对于路径长度调整〕紧凑型三脚架设计带共面轴消退偏振旋转亚毫秒响应闭环精度更高25〔1“〕直径无摩擦,高精度柔性导向系统并联运动对增加动力和更好的多轴精度型号类型参 数 RC330.2 RC330.2S RC330.4 RC330.8RC330.8S注解开环闭环开环闭环开环闭环输出轴方向θX、θYθX、θYθX、θYθX、θYθX、θYθX、θY反响传感器类型------4xSGS------4xSGS 4xSGSθXθY0V~150V[mrd]±1044881515θX.θY闭环摆角范围[mrd2.55.510θX.θY开环摆角区分率[μrd]0.020.020.10.10.20.2θX.θY闭环摆角区分率 [μrd]------0.05 0.5输出线性度%------±0.1------±0.2 ±0.25精度[μrd]------0.10------0.3 0.8重复定位精度[μrd]------0.15------0.5 1空载响应频率[KHz332211共振频率/φ25x8毫米玻璃镜[kHz±20%]221.51.50.80.8共振频率/φ25x8毫米铜镜子[kHz±20%]221.51.50.80.8XX[mm]±0.5666666XX面的转动惯量[gmm2515515515515515515驱动压电陶瓷型号 电容量[μF]±20%3x5003x5003x2003x2003x2003x200单支动态工作电流系数 [μ/Hz˙μm]±200.220.80.40.80.80.8机体材料invr合金invr合金invrinvr合金invr金invr电压联接工作温度范围 [℃]-20~80-20~80-20~80-20~80-20~80-20~80电缆长度[m1.51.51.51.51.51.5电压接口连接器BNCBNCBNCBNCBNCBNC传感接口连接器------四芯航插------四芯航插------四芯航插重量〔含电缆联接器〕[Kg0.05闭环/开环操纵器型号RE51/RH14电压驱动线四根D5XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlXX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlXX产品特性高速响应;压电陶瓷驱动;光束偏转至10毫弧度,区分率为50nrd活塞运动到30微米〔对于路径长度调整〕紧凑型三脚架设计带共面轴消退偏振旋转亚毫秒响应闭环精度更高直径无摩擦,高精度柔性导向系统并联运动对增加动力和更好的多轴精度型号类型参数RC325.3RC325.3SRC330.4RC330.4SRC330.8RC330.8S注解闭环闭环输出轴方向θX、θY、zθX、θY、zθX、θY、zθX、θY、zθX、θY、zθX、θY、z反响传感器类型3xSGS4xSGS4xSGSθX.θY开环摆角(0V~150V[mrd±20%]±3±3±5±5±10±10θX.θY闭环摆角范围 [mrd]------±2------±4------±8θXθY开环摆角区分率[μrd]0.020.020.20.20.40.4θX.θY闭环摆角区分率 [μrd]0.050.10.2Ζ轴开环输出位移[μm±20%]35356060100100 Ζ轴闭环输出位移[μm305080θXθY输出线性度%------±0.1------±0.2------±0.25θXθY精度[μrd]------0.10------0.3------0.8 θX.θY重复定位精度[μrd]------0.15------0.5------1Ζ轴输出线性度%------±0.1------±0.2------±0.2Ζ轴精度[nm]0.10.20.2Ζ轴重复定位精度[nm0.5------0.1------0.1Ζ轴开环/闭环区分率 [nm]0.125/0.6250.125/0.6250.5/10.5/11/21/2空载响应频率[KHz112211共振频率/φ25x8毫米玻璃镜[kHz±20%0.80.81.51.50.80.8共振频率/φ25x8毫米铜镜子[kHz±20%]0.50.51.51.50.80.8陶瓷输出支点与输出XX[mm]±0.5666666输出XX面的转动惯量[g?mm2]515515515515515515驱动压电陶瓷型号 电容量[μF]±20%3x2003x2003x5003x5003x10003x1000 态工作电流系数[μ/Hz˙μm]±200.220.80.40.80.80.8机体材料铝合金铝合金铝合金铝合金铝合金铝合金电压联接工作温度范围 [℃]-20~80-20~80-20~80-20~80-20~80-20~80电缆长度[m]1.51.51.51.51.51.5 电压接口连接器BNCBNCBNCBNCBNCBNC传感接口连接器四芯航插------四芯航插------四芯航插重量〔含电缆联接器〕[Kg]0.05RE53/RH13电压驱动线三根反响传感器三根D6压电陶瓷驱动电源及压电陶瓷闭环操纵器名称产品实图功能说明应用举例多功能压电陶瓷驱动电源手动操作计算计通信旋钮操纵输出模拟操纵纹形储存功能多路压电陶瓷驱动电源1到20的数字型压电陶瓷驱动电XX与计算机有通信功能,可软件操作输出操纵电压手动模拟压电陶瓷驱动电源 模拟形压电陶瓷驱动电源 手动旋钮操纵电压输出模拟操纵输出波形操纵压电陶瓷驱动电源 波形输出压电陶瓷驱动电源可同时输出和单独输出软件设置波形输出大功率压电陶瓷驱动电源多路传感器处理单元多路压电陶瓷输出大功率压电陶瓷驱动电源集成压电陶瓷闭环操纵器集成压电陶瓷操纵器计设定型构造,可分为1通道,2通道和3通道,最多6通道模块型压电陶瓷操纵大主控模块功率模块传感器模块模块化设计配置主用户按实际应用选择高精度输出位移,E1XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html名称:多功能压电陶瓷驱动电源产品特性输出电压通道:1~33过流保护功能、波形存储,输出功能 rry高性能操纵器及16位/D转换专用运算放大电路保证了高压大电流输出同时具有过流、短路保护等功能具有高频率响应和极低的静态电压纹波10输出电压的实时监控、液晶汉字显示、薄膜按键输入、RH11RH13编码旋SPP具有可编程功能,具有VC动态链接库压电陶瓷、驱动进口陶瓷产品技术参数XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlE2XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html压电陶瓷驱动接法操纵压电陶瓷,也可以把多支压电陶瓷并联驱动,电容并联电容量相加,总电容量增大,会影响输出频率特性;单路机箱及尺寸三路机箱及尺寸重量:3kg重量:5kgE3名称:多路压电陶瓷驱动电源产品特性输出电压通道:2/4/5/62/4/5/616/D专用运算放大电路保证了高压大电流输出同时具有过流、短路保护等功能具有高频率响应和极低的静态电压纹波10输出电压的实时监控、液晶汉字显示、薄膜按键输入、键盘输入操纵、模拟信号输入操纵、RH14RP16编码旋SPP具有可编程功能,具有VC动态链接库压电陶瓷、驱动进口陶瓷产品技术参数XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlE4压电陶瓷驱动接法操纵压电陶瓷,也可以把多支压电陶瓷并联驱动,电容并联电容量相加,总电容量增大,会影响输出频率特性;单路机箱及尺寸三路机箱及尺寸重量:3kg重量:5kgE5XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html名称:十路模拟型/二十路数字型压电陶瓷驱动电源产品特性过流保护功能、波形存储,输出功能16/D专用运算放大电路保证了高压大电流输出同时具有过流、短路保护等功能具有高频率响应和极低的静态电压纹波10输出电压的实时监控、液晶汉字显示、薄膜按键输入、RH210RH120编码SPP具有可编程功能,具有VC动态链接库压电陶瓷、驱动进口陶瓷产品技术参数XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlE6压电陶瓷驱动接法操纵压电陶瓷,也可以把多支压电陶瓷并联驱动,电容并联电容量相加,总电容量增大,会影响输出频率特性;单路机箱及尺寸三路机箱及尺寸重量:3kg重量:5kgE7XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlXX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html输出电压通道:1~3路;模拟输入通道:1~3路;具有过流保护功能;输出短路保护功;具有数值电压显示功能;输出电压旋钮调整功能;模拟输入具有电压偏置功能;专用运算放大电路保证了高压大电流输出;RH21:简易电源RHb21:手动调整波形输出电源模拟输入可输入正弦波.矩型波.三角波等交变信号进口PZT陶瓷等产品技术参数E8过流保护功能、波形存储,输出功能16/D专用运算放大电路保证了高压大电流输出同时具有过流、短路保护等功能具有高频率响应和极低的静态电压纹波10输出电压的实时监控、液晶汉字显示、薄膜按键输入、键盘输入操纵、模拟信号输入操纵、RH31RH35SPPVC压电陶瓷、驱动进口陶瓷产品技术参数XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlE9波形输出功能具体说明可单独或同时输出5的任一波形矩形波设定:初值、占幅值、频率升沿时间、下降沿时间、幅值、频率值、频率值、频率置电压、幅值、频率tXX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlE10XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html压电陶瓷驱动接法操纵压电陶瓷,也可以把多支压电陶瓷并联驱动,电容并联电容量相加,总电容量增大,会影响输出频率特性;单路机箱及尺寸三路机箱及尺寸重量:3kg重量:5kgE11产品特性输出电压通道:1~3路;输出短路保护功;模拟输入具有电压偏置功能;专用运算放大电路保证了高压大电流输出;模拟输入可输入正弦波.矩型波.三角波等交变信号进口PZT陶瓷等产品技术参数XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlE12产品特性输出电压通道:1~33过流保护功能、波形存储,输出功能16/D专用运算放大电路保证了高压大电流输出同时具有过流、短路保护等功能具有高频率响应和极低的静态电压纹波10输出电压的实时监控、液晶汉字显示、薄膜按键输入、键盘输入操纵、模拟信号输入操纵、SPPVC压电陶瓷、驱动进口陶瓷操纵通道1~3路输出电压范围/D/)±5或±10/〔16bit〕输出区分率0.5mV/D)±5或±10/〔16bit〕可设置偏置电压软件、手动液晶屏LCD液晶显示屏键盘4x4通信接口USB2.0、USB1.1、RS232(串口)手动键盘设置输出正弦、方波、三角波、梯形波、锯齿波电脑软件键盘设置输出正弦、方波、三角波、梯形波、锯齿波自编程二次开发操纵VC++、DLL传感器模块传感器类型LVDT(电感)或SGS(电阻)通道1~3路传感器采集信号输出电压〕VXX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlF1XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html传感器采集信号连接器四芯航空插头供电机箱供电电源电压要求C220±10%V供电电源频率要求50±10%Hz工作温度要求-10~45℃相对湿度1V)2K1K0.8K机体构造材料7075供给技术资料包括CD安装尺寸图,SolidWorks三维图,调试文件,安装与使用手册输出引线BNC孔端连接器,线长1.5m,传感器线长1.5m,I2XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlZXX产品特点放大机械体承受压电陶瓷驱动承受有限元分析,优化构造尺寸频率响应快,带负载力量大,构造简洁压电陶瓷分布位置为三点支撑,间隔120度,压电陶瓷具有防震设计,消退震荡对压电陶瓷损伤;此产品为大推力构造设计,适用于输出力大的实际应用;有限元分析,设计优化,用客可订制产品用户可依据自己的应用不同可订制加工位口;产品名称:大推力ZXX型号RH3KN150V3000N150V60输出端摩擦片材料7075输出端摩擦片可更换驱动压电陶瓷数量3压电陶瓷具有手动预紧和微调输出端位移功能3支均可调节压电陶瓷驱动电压0~150V压电陶瓷电容量18响应频率(注:小信号峰峰值:Vpp>1V2K摩擦片数量4/7075机体构造材料7075供给技术资料CD,SolidWorks手册输出引线BNC1.5m外形构造尺寸I3XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html产品特点适合于两相步进电机1-4位置、速度和零位返回三种工作模式用户可编程的线性和S曲线加减速操纵电隔离)光电隔离的CW/CCW或CP/DIR脉冲输出方式空闲脉冲输出功能外部启动/停顿操纵最大步进速率400KPPS1-16,777,2158200m8名称:四轴步进电机操纵卡型号R-b4P4操纵轴数4〔4XX〕操纵方式1-4操纵信号光电隔离的CW/CCW或CP/DIR脉冲输出方式I/O操纵8/8联系方式计算机PCI插槽操作方式计算机软件外部电压DC+12V~+24V±10%限位信号EL+(正限位)/SD+(正减速限位)/ORG(零位)/SD-(负减速限位)/EL-(负限位)方框图运动操纵卡需要安装在计算机PCI插槽,基于总线(PCI)传输数据,操纵在计算机软件上操作,J1产品特点1-4最高脉冲输出频率可达6.4MHz,可以操纵脉冲串输入型伺服电机或步进电机S/减速功能位置、速度、原点返回和手动编码器跟随四种工作模式13脉冲输出为CP/DIR脉冲方向方式、CW/CCW双脉冲方脉冲输出为差动或单端方式二到四轴直线插补以及任何两轴之间的圆弧插补每轴4个光电隔离的机械信号接口:正、负限位开关、减速开关、零位开关每轴5个光电隔离的伺服电机专用信号接口:INPLM、ERC、SVON、SRDY◆每轴增量编码器信号接口,差动或单端方式,28位加/减计数功能运动中可转变速度或目标位置冲,可以削减到达停顿前的振动校正,以降低或消退传动机构间隙对位置操纵精度的影响〔在进展圆弧插补时,不能进展间隙补偿〕关,均对进给量进展校正纵卡的更多轴可同时启动、同时停顿;可以由一条指令或一个外部信号的触发而同时停顿运动。输入信号模式可以是90°相差信号(解码方式可以是1倍频,2倍频或4倍频)或者双脉冲信号〔在P上输PB〕起动频率(FL)输出一个预定个数的脉冲串,在加速过程中,假设初始速度设置得较高,此功能可以有效地防止丢步的脉冲数和从反响编码器读回的脉冲数之差进展计数,通过这个偏差计数器可以进展失步检测或推断运动是否到位置到达软件限位值时,马上停顿或减速脉电机运动,之后,这些轴只能向与以前运动方向相反的方向运动COUNTER1〔指令位置计数器、COUNTER2〔机械位置计数器、COUNTER3〔偏差计数器〕和COUNTER4〔通用计数器〕之间12〔+SL、-SL〕可编程中断功能ID1616200m16MS-DOS Borlnd C/C++ 函 数 库 ,Windows-98/ME/NT/XP/2023DLL试系统性能供给软件编程例程XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlJ2XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html名称:四轴伺服电机操纵卡型号R-S4P4操纵轴数4轴参考时钟19.2MHz减速点设定自动2~4范围-134,217,728~+134,217,727〔28〕速度1PPS~6.4MPPS精度±0.5LSB范围-134,217,728~+134,217,727〔28〕速度1PPS~6.4MPPS精度±0.5LSB连续插补速度脉冲输出速度1PPS~6.4MPPS精度±0.1%加速度/减速度自动设定 FL速度1PPS~6.4MPPSFH速度1PPS~6.4MPPS位置脉冲范围-134,217,728~+134,217,727〔28〕编码器反响输入计数范围-134,217,728~+134,217,727〔28〕最大输入频率1MHz通用数字输入口数量16电压+12V~+24V±10%通用数字输出口数量16电流最大200m电压+12V~+24V±10%外部电压DC+12V~+24V±10%J3XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html电机驱动箱〔与操纵卡配套使用〕产品特点每一轴都可以单独操纵 各轴都可以同时或分别动作 具有硬件限位功能每轴具有归零功能,可设置零点每轴软件上都有电机步距角设定驱动器细分数设定输入和显示末端运行值可选择:步数、毫米、度数等循环次数可以设定每一轴都可以单独操纵,各轴都可以同时或分别动作每轴具有硬件限位功能每轴具有归零功能,可设置零点每轴软件上都有电机步距角设定,驱动器细分数设定输入和显示末端运行值可选择:步数、毫米、度数好的参数自动运行多轴可以同时运行,按设定的参数自已循环,循环次数可以设定名称:电机驱动箱〔注:与操纵卡配套使用〕指标\型号Rb1Rb2Rb3Rb4Rb5Rb6操纵电机数123456I/O888888正限(+EL123456负限位〔-EL〕123456零位(ORG123456最大速度400kpps脉冲操纵CW/CCW/CP/DIR驱动线+/-/B+/B-电移XX接口DB9具有光栅尺接口DB9上位机软件操纵有具有可编程操纵动态链接库具有例如软件有电源电压要求V220±10%电源频率要Hz50±10%J4多功能操纵器rry可操纵步进电机驱动的位移XX和压电陶瓷驱动的微动XX;多功能操纵器具有过流保护功能,波形存储;液晶汉字显示,薄膜按键输入.键盘输入操纵,波形操纵;微动操纵具有可编程功能,上位机串口操纵.模拟信号输入控;16/D专用运算放大电路保证了高压大电流输;同时具有过流;短路保护等功能;具有高频率响应和极低的静态电压纹波;10输出电压的实时监;驱动压电陶瓷双晶片;驱动叠层型压电陶瓷;驱动封装开闭压电陶瓷;名称:多功能操纵器指标\型号R-hb输出通道1~4电压输出范围(V)-20~+150-20~+200-20~+300±150±200±300电压输出阻抗(Ω)<20模拟输入电压(V)±105模拟输入阻抗(kΩ)<1000.3电压稳定性(24小时)<0.1%电压输出入监控LCD显示电压显示(LCD液晶)128x64键4x4电压显示区分率(mV5过流\短路保护电流(m>500电源静态电压纹波(mV)≤20动态频率(KHz)负载(2uF2电源阶跃响应(ms2V220±10%Hz50±10%步进电机操纵模块操纵轴数1~4/D30~5V〕驱动线+/-/B+/B-最大输入数值-32767~+32767I/o3最大驱动速度400kpps细分数0-128最小驱动速度1pps驱动电流0.25~1.4传感器类型常开〔24v)直流电输出5v/24vXX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlJ5XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlXX产品特点传动机构与光纤夹具分别设计;256细分;传动机构承受斜齿,保证传动平移牢靠;步进电机后端具有手动调整功能;表银白色设计,吸光量小;XX型号指标Rzt1360单位产品构造尺寸最大转角360o(度)电机类型步进电机(1.8o)齿轮传动类型斜齿传动比步进电机输入:光纤轴输出=2.0831区分率0.0067128o(度)重复定位精度0.005o(度)机重0.25kg材料铝合金/XX/尼龙可拆卸光纤夹具头φ120μm可选(φ900μmφ650μmφ250μmφ120μm、等)最大负载0.5kg工作温度范围-20~+80oC接线图+/-/B+/B-(选四线接线方法)驱动器接线图0.45/0.6(电机热量很大)RxK1XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlZ轴楔形高精度电动位移平XX产品特点标准配备步进电机,运动操纵器可实现自动操纵;精研丝杆副驱动,区分率高;导轨承受穿插滚柱导轨,运行舒适,线性度好,承载大;楔形升降,整体高度底,运行平稳;Z轴平XX垂直导向承受周密线性滑块导轨,定位精度高,稳定性好;密封承受不锈钢材料,抗热屑和激光;XX定器件;名称:Z轴楔形高精度电动位移平XX型号Jmv10Jmv10S行程10mm;10mm;螺杆导程2mm2mm区分率〔步进电机细分数:128〕:0.001〔步进电机细分数:128〕:0.001重复定位度0.005mm0.0005mm标配电机42步进电机〔1.8°〕42步进电机〔1.8°〕最大静转矩1.0Nm1.0Nm额定工作电1.51.5反响单元无有正负限位开关有有传感器接线无有zK2XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.html压电陶瓷转体机构产品特点压电陶瓷驱动,响应速度快;微小的角变形量,可以无穷小的区分率;具有轴向转动和径向转动两种;有限元分析,设计优化,用客可订制产品名称:轴向扭曲压电陶瓷管型号型号外形尺寸=内径×外径×厚度[mm]标称轴向扭曲角[um@150V]〔±10%〕刚度[N/um]频率〔小信号输入〕PztXΦ20Φ20×Φ40×<30注(外径尺寸跟据实设计可适量调整)0°~0.02°1084kzH静态图动态图0~150V名称:径向扭曲压电陶瓷管型号外形尺寸=内径×外径×厚度[mm]标称径向扭曲角V〔±%〕刚度[N/um]频率〔小信号输入〕PztRΦ20Φ20×Φ40×<30注(外径尺寸跟据实设计可适量调整)0°~0.02°1084kzH静态图动态图0~150VK3XX://.docsj/doc/40ef02b158d0116d17492e.htmlXX

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