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文档简介

靜電防護作業靜電防護作業1靜電產生的原理靜電的放電模式廠內靜電消除模式靜電量測儀器結論大綱靜電產生的原理大綱2靜電產生原理我想很多人都曾經有過這樣的經驗:當你有一片賽珞(硝纖象牙)質料的板子與頭頂磨擦時,頭髮會被吸引起來,此外在冬天當您上、下車手去接觸到車門時,也會有被電到的感覺。這些現象全部都是由靜電所引起的還有,在脫毛衣時會有啪、啪的爆裂聲;平常衣物會與身體貼在一起;梳頭髮時,毛髮容易斷裂。。。。這些都是在日常生活中因為抗靜電的產生所造成的困擾靜電的現象連在制造、生產業界也不例外靜電產生原理我想很多人都曾經有過這樣的經驗:當你有一片賽珞(3靜電發生的原因大致上可分為下列五個項目:1、接觸2、剝離3、磨擦4、衝撞5、破壞靜電發生的原因大致上可分為下列五個項目:1、接觸4決定帶電量的主要因素接觸面積:表面積愈大,帶電量亦多。壓力:壓力愈大,帶電量也愈多。摩擦頻率:頻率愈高,帶電量愈多。速度:速度愈快,帶電量愈多。濕度:濕度愈低,帶電量愈多。決定帶電量的主要因素接觸面積:表面積愈大,帶電量亦多。5二.ESD靜電放電的模式因ESD產生的原因及其對積體電路放電的方式不同,ESD目前被分類為下列四類:1.人體放電模式(Human-BodyModel,HBM)2.機器放電模式(MachineModel,MM)3.元件充電模式(Charged-DeviceModel,CDM)4.電場感應模式(Field-InducedModel,FIM)因ESD產生的原因及其對積體電路放電的方式61.人體放電模式(Human-BodyModel,HBM)A.人體因在地上走動磨擦或其他因素在人體上已累積了靜電B.當此人去碰觸到IC時,人體上的靜電便會經由IC的腳(pin)而進入IC內,再經由IC放電到地去C.此放電的過程會在短到幾百毫微秒(ns)的時間內產生數安培的瞬間放電電流,此電流會把IC內的元件給燒毀。D.對一般商用IC的2KVESD放電電壓而言,其瞬間放電電流的尖峰值大約是1.33安培。1.人體放電模式(Human-BodyModel,HBM7HBMESD的發生HBMESD的發生82.機器放電模式(MachineModel,MM)機器放電模式的ESD是指機器本身累積了靜電(例如機械手臂)當此機器去碰觸到IC時,該靜電便經由IC的pin放電。2.機器放電模式(MachineModel,MM)機器放93.元件充電模式-1(Charged-DeviceModel,CDM)A.此放電模式是指IC先因磨擦或其他因素而在IC內部累積了靜電,但在靜電累積的過程中IC並未被損傷。B.此帶有靜電的IC在處理過程中,當其pin去碰觸到接地面時,IC內部的靜電便會經由pin自IC內部流出來,而造成了放電的現象。3.元件充電模式-1(Charged-DeviceMode10(CDM)ESD可能發生的原因-1(CDM)ESD可能發生的原因-111(CDM)ESD可能發生的原因-2(CDM)ESD可能發生的原因-2124.電場感應模式(Field-InducedModel,FIM)A.FIM模式的靜電放電發生是因電場感應而起的B.當IC因輸送帶或其他因素而經過一電場時,其相對極性的電荷可能會自一些IC腳而排放掉,等IC通過電場之後,IC本身便累積了靜電荷,此靜電荷會以類似CDM的模式放電出來。有關FIM的放電模式早在雙載子(bipolar)電晶體時代就已被發現,現今已有工業測試標準C.在國際電子工業標準(EIA/JEDECSTANDARD)中,亦已對此電場感應模式訂定測試規範(JESD22-C101),詳細情形請參閱該工業標準4.電場感應模式(Field-InducedModel,13三.ESD之防護消滅或降低電荷產生的機會消散或中和已產生的電荷以適當的管理方式來保護產品,使其遠離ESD的威脅.加強元件本身底抗靜電的能力目前廠內用消散及導通的方式來消除靜電三.ESD之防護消滅或降低電荷產生的機會14-2

站別:IC、SUBFPC上料

站別:零件檢驗與清潔靜電防護作業(消散)-1-2站別:IC、SUBFPC上料15

站別:ILBBonding

靜電防護作業(消散)-2站別:ILBBonding靜16

站別:ACF貼附(機台正面)

站別:ACF貼附(機台反面)靜電防護作業(消散)-3站別:ACF貼附(機台正面)站別:ACF貼附(機台反17

站別:OLBBonding

站別::OLBBonding靜電防護作業(消散)-4站別:OLBBonding站別::OLBBo18

站別:一次檢查

站別:封膠靜電防護作業(消散)-5站別:一次檢查站別:封膠靜電防護作業(消散)-519

站別:前/後組裝站別:前/後組裝靜電防護作業(消散)-6站別:前/後組裝站別:前/後組裝靜電防護作業(消散)-20

站別:完成檢查站別:外觀檢查靜電防護作業(消散)-7站別:完成檢查站別:外觀檢查靜電防護作業(消散)-21

改善前改善後(抗靜電Tray)靜電防護作業(導通)-1改善前改善後(抗靜電Tray)靜電防護作業(導通)-22

用靜電手環用靜電腳環靜電防護作業(導通)-2用靜電手環用靜電腳環靜電防護作業(導通)-223

導電墊及導電線導電墊及導電接地無塵室中,所有物品皆需接地,所以連桌面也要用導電線接地(和靜電手環及腳環同一條接地,而所有機台也有接地,但機台及人員接地是不同接地線,且人員接地電位要高於機台接地,以免機台漏電時由接地線導到人員接地造成人員觸電發生危險靜電防護作業(導通)-3導電墊及導電線導電墊及導電接地無塵室中,所有物品皆需24

測試儀器:SSDH0601(作業標準:L-S-M4015)靜電消散時間:靜電風扇可在5秒內使靜電值由1000V

100V

廠內靜電量測儀器(消散方式)/量測方法-1測試儀器:SSDH0601(作業標準:L25

測試儀器:SSDH0601

靜電消散時間:除靜電風槍可在5秒內使靜電值由1000V

100V

廠內靜電量測儀器(消散方式)/量測方法-2測試儀器:SSDH0601靜電消散

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