半导体器件失效分析基础71张课件

半导体器件失效分析基础半导体器件失效分析基础1半导体器件失效分析基础内部资料,注意保密半导体器件失效分2课程说明课程时长:4小的授课方式:讲授必备条件:数投、便携机、白板、扩音设备课程简介:通过对《半导体器件失效分析基础》课程的讲解使学员体会到产品进行元器件失效分析的重要性和迫切性本课程主要讲授了器件常见失效模式、常见失效机理、失效分析流程、失效分析技术、失效分析委托流程等。通过典型失效分析照片讲解,加深学员对该课程的理解和提高学员对失效分析的兴趣课程说明3主要内容1、失效分析产生和发展2、失效分析目的及意义、失效分析基本内容、主要失效模式和机理、失效分析程序6开展失效分析具备的条件和注意事项、失效分析仪器设备一览表失效分析仪器设备介绍9典型失效分析照片介绍内部资料,注意保密主要内容41、失效分析的产生和发展随着微电子学的飞速发展,半导体器件已广泛地应用于宇航、军事领域、工业、通讯和民用产品中。因此对半导体器件的可靠性进行研究具有非常重要的意义。内部资料,注意保密1、失效分析的产生和发展5、失效分析的产生和发展(续)半导体器件可靠性研究的内容主要包括以下两方面(1)评价可靠性水平可靠性数学可靠性试验可靠性评估等内部资料,注意保密、失效分析的产生和发展(续)61、失效分析的产生和发展(续)(2)如何提高可靠性失效分析失效物理工艺监控可靠性设计等1、失效分析的产生和发展(续)71、失效分析的产生和发展(续)器件可靠性研究首先是从评价可靠性开始的,但研究重点现在已逐渐转向如何提髙可靠性方面。■可靠性研究更重要的是为了提高可靠性,所以失效分析和失效物理成为可靠性研究的重失效分析和失效物理的研究,它不单纯是学术研究,更重要的是为了满足可靠性工程迅速发展的需要。1、失效分析的产生和发展(续)8、失效分析的产生和发展(续)传统的可靠性评价工作遇到的困难(1)在试验时间、试验样品、人力、物力方面遇到了难以克服的困难(2)半导体器件和集成电路的品种及工艺更新速度很快,使得过去取得的可靠性数据常常变得不适用。、失效分析的产生和发展(续)91、失效分析的产生和发展(续)(3)当代电子设备和系统日益复杂化,对器件提出了高可靠的要求。为了解决以上问题,迫切需要种既省时间,又省费用的可靠性研究方法。失效分析和失效物理研究就是为了达到这一目的而迅速发展起来的1、失效分析的产生和发展(续)101、失效分析的产生和发展(续)失效分析的发展历史间50年代60年代70年代以后主要研阻容元件晶体管集成电路、大规模究对象电子管集成电路集成电路、超大规模集成电路「发展阶段统计失效阶段控制失效阶段可靠性保证法(开始阶段)(在规模发展阶段)(巩固提高阶段)研究方失效率法失效分析法可靠性保证法理论基础可靠性数学失效物理可靠性物理研究重点失效规律失效机理工艺控制、可靠性设计、可靠性标准研究目的计算失效率。提高可靠性保证可靠性1、失效分析的产生和发展(续)11半导体器件失效分析基础71张课件12半导体器件失效分析基础71张课件13半导体器件失效分析基础71张课件14半导体器件失效分析基础71张课件15半导体器件失效分析基础71张课件16半导体器件失效分析基础71张课件17半导体器件失效分析基础71张课件18半导体器件失效分析基础71张课件19半导体器件失效分析基础71张课件20半导体器件失效分析基础71张课件21半导体器件失效分析基础71张课件22半导体器件失效分析基础71张课件23半导体器件失效分析基础71张课件24半导体器件失效分析基础71张课件25半导体器件失效分析基础71张课件26半导体器件失效分析基础71张课件27半导体器件失效分析基础71张课件28半导体器件失效分析基础71张课件29半导体器件失效分析基础71张课件30半导体器件失效分析基础71张课件31半导体器件失效分析基础71张课件32半导体器件失效分析基础71张课件33半导体器件失效分析基础71张课件34半导体器件失效分析基础71张课件35半导体器件失效分析基础71张课件36半导体器件失效分析基础71张课件37半导体器件失效分析基础71张课件38半导体器件失效分析基础71张课件39半导体器件失效分析基础71张课件40半导体器件失效分析基础71张课件41半导体器件失效分析基础71张课件42半导体器件失效分析基础71张课件43半导体器件失效分析基础71张课件44半导体器件失效分析基础71张课件45半导体器件失效分析基础71张课件46半导体器件失效分析基础71张课件47半导体器件失效分析基础71张课件48半导体器件失效分析基础71张课件49半导体器件失效分析基础71张课件50半导体器件失效分析基础71张课件51半导体器件失效分析基础71张课件52半导体器件失效分析基础71张课件53半导体器件失效分析基础71张课件54半导体器件失效分析基础71张课件55半导体器件失效分析基础71张课件56半导体器件失效分析基础71张课件57半导体器件失效分析基础71张课件58半导体器件失效分析基础71张课件59半导体器件失效分析基础71张课件60半导体器件失效分析基础71张课件61半导体器件失效分析基础71张课件62半导体器件失效分析基础71张课件63半导体器件失效分析基础71张课件64半导体器件失效分析基础71张课件65半导体器件失效分析基础71张课件66半导体器件失效分析基础71张课件67半导体器件失效分析基础71张课件68半导体器件失效分析基础71张课件69半导体器件失效分析基础71张课件70END16、业余生活要有意义，不要越轨。——华盛顿

17、一个人即使已登上顶峰，也仍要自强不息。——罗素·贝克

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