传感器原理与电路设计第11讲电容_第1页
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文档简介

前言电容式传感器利用了将非电量的变化转换为电容量的变化来实现对物理量的测量。广泛用于位移、振动、角度、加速度以及压力、差压、液面(料位)、成份含量等方面的测量。特点:结构简单、体积小、分辨率高;可实现非接触式测量;动态响应好;能在高温、辐射和强振动等恶劣条件下工作;电容量小,功率小,输出阻抗高,负载能力差,易受外界干扰产生不稳定现象。前沿变面积型工作原理变介质型变极距型1.工作原理工作原理ε:极板间介质的介电常数;ε0

:真空介电常数;εr:极板间介质相对介电常数;A:两平行板所覆盖的面积;d:两平行板间的距离。变介质型变极距型变面积型前沿变面积型工作原理变介质型变极距型2.变面积型电容式传感器工作原理电容改变量与水平位移成线性关系线位移变面积型前沿变面积型工作原理变介质型变极距型2.变面积型电容式传感器工作原理电容改变量与角位移成线性关系角位移变面积型前沿变面积型工作原理变介质型变极距型3.变介质型电容式传感器工作原理电容增量与被测液位的高度成线性关系相当于C1和C2并联前沿变面积型工作原理变介质型变极距型4.变极距型电容式传感器工作原理电容增量与极板间距离的变化成近似直线关系或泰勒展开前沿变面积型工作原理变介质型变极距型4.变极距型电容式传感器工作原理击穿或短路问题一般极板间距在25~200um范围内,而最大位移应小于间距的十分之一,因此这种电容式传感器主要用于微位移测量。d0越小传感器灵敏度越高,过小容易击穿或短路。可在极板件加入高介电常数的云母材料。相当于电容串联。前沿变面积型工作原理变介质型变极距型4.变极距型电容式传感器工作原理非线性问题分析同变磁阻式电感式传感器为了提高

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