静电放电保护基本原理简介教学课件

OQ静电放电架护基本原理简介Valadononry.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyLcontent目录ESD保护的基本原ESD设计的基本概念基本ESD保护器件DArtfouramadononry.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyLArtonesD保护的基本原理ESD现象简介工作机制V特性曲线设计窗囗SD保护失效Valadononry.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL◎ESD现象简个高压、大电流、短时间的事件·电流>1A·电压高达上万伏上升时间~15ns,衰减时间~150nsEOS(ElectricalOver-Stress,EOSt什么是静族的一种(闪电和电磁脉冲)电放电(ESD)静电电压(V静电产生的方法相对湿度相对湿度10%~2%在地毯上走在乙烯基地板上走动工作人员在工作台上操作包产品说明书的乙烯封皮从工作台上拾起普通聚乙烯袋坐在有聚氨酯泡沫材料的工作梅1500Valadononry.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL◎ESD现象简个。、造成的危害。0%的芯片失效都是由ESD事件引起球每年因ESD对电子设备和系统所造成的损失高达450亿美金(美国静电放电协会ESDA估计)polygateValadononry.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL◎工作机制,ProtectedDiode。∠°电流泄放Circuitry●发生ESD时,ESD保护器件相当于●ESD未发生时和发生过后,ESD保护器件接口信号相当于“开路L。∠°电压钳位Protected将管角电压钳位安全级别Circuitry以避免介质击穿Valadononry.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyLI-V特性曲线2ndBreakdown(/nz,ln。∠°两种曲线●a)简单一次开启●b)带有回滞特性的IⅤ特性一高电流处理能力HoldiTriggering∠°三个关键点触发点Fig.9.TypicalESDprotectionstructure/-Vcharacteristics:(a)simple●回滞维持点次击穿失效点Valadononry.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL设计窗口ESD器件失效区关键参数v:内部电路正常工作电压(w1,n):EsD器件触发电压/电流内部电路正内部电路失,u:EsD维持电压/电流常工作区器件工作区效区a,2):ESD失效电压电流VDDVMax▲V<ESD触发电压<vx→ESD保护器件的基本要求▲Vn>VD→防止ESD保护器件误开、防门锁▲Vt2<Vn→决定ESD的保护等级Valadononry.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL◎、BD保护失数PN结短路毁坏性失效K栅氧穿通多晶硅与册氧化层ESD失效栅氧化物潜在性失效保护回路电荷陷阱PN结损伤Valadononry.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyLArttwoSD设计的基本概ESD的放电模型全芯片ESD保护ESD保护器件的测试ESD保护的优秀特性Valadononry.chAspose