GB/T 42597-2023微机电系统(MEMS)技术陀螺仪

ICS3108099

CCSL.59.

中华人民共和国国家标准

GB/T42597—2023/IEC62047-202014

:

微机电系统MEMS技术陀螺仪

()

Micro-electromechanicalsystemstechnology—Gyroscopes

IEC62047-202014Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—

(:,

Part20GroscoesIDT

:yp,)

2023-05-23发布2023-09-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T42597—2023/IEC62047-202014

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

基本评级和特征

4…………………………1

陀螺仪的分类

4.1………………………1

绝对最大额定值

4.2……………………2

正常工作额定值

4.3……………………3

性能参数

4.4……………3

测量方法

5…………………5

标度因数

5.1……………5

交叉轴灵敏度

5.2………………………15

零偏

5.3…………………18

输出噪声

5.4……………27

带宽

5.5…………………31

分辨率

5.6………………36

附录资料性陀螺仪特性测量值的准确度

A()…………38

参考文献

……………………39

GB/T42597—2023/IEC62047-202014

:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用半导体器件微机电器件第部分陀螺仪

IEC62047-20:2014《20:》。

本文件做了下列最小限度的编辑性改动

:

为与现有标准协调将标准名称改为微机电系统技术陀螺仪

a),《(MEMS)》;

纠正了原文中的错误更正了图中宽带噪声范围的标注

b)IEC62047-20:2014:18;

纠正了原文中的错误更正了公式和公式的运算符号

c)IEC62047-20:2014:(20)(21)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国微机电技术标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC336)。

本文件起草单位苏州市质量和标准化院中机生产力促进中心有限公司工业和信息化部电子第

:、、

五研究所东南大学苏州市标准化协会北京航天控制仪器研究所华东光电集成器件研究所四川富

、、、、、

生电器有限责任公司中国合格评定国家认可中心北京微元时代科技有限公司

、、。

本文件主要起草人沈俊杰李根梓顾枫张硕董显山周再发来萍邢朝洋王晓臣张运昌

:、、、、、、、、、、

王志远闫桂珍

、。

Ⅰ

GB/T42597—2023/IEC62047-202014

:

微机电系统MEMS技术陀螺仪

()

1范围

本文件规定了陀螺仪的术语和定义额定值性能参数及测量方法

、、。

陀螺仪主要用于消费电子工业和航空航天等陀螺仪广泛采用和半导体激光器技术

、。MEMS。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件

。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

转台rotatingtable

速率转台ratetable

测量过程中装载陀螺仪的旋转装置

。

32

.

地球自转速率earthrate

由于地球的自转而在惯性空间中产生的角速率

。

注根据国际地球自转和参考系统服务的规定地球在惯性空间中的角速率由恒星日定义为小时分

:(IERS),,2356

钟秒因此地球在惯性空间中的角速率约为有关定义的详细信息请参阅网

4.098903691。,15.04°/h。,IERS

站

()。

33

.

标度因数scalefactor

陀螺仪输出电压或输出数字信号与加载角速率的比值