光电集成的发展及前景

光电集成的发展及前景TOC\o"1-2"\h\z\u摘要 11引言 12光电集成的分类 23光电集成器件 23.1OEIC光发射机器件 33.2OEIC光接收机器件 43.3光中继器件 54GaAsOEIC和InPOEIC 55光电集成的优点及技术问题 76光电集成的前景 8参考文献 8娃光录电集挣成档的应旷用宿及前纺景摘要始光电绒集成质技术含是继渔微电残子闹集成拢技术鹅之后玉，近廊十几盟年来武迅速府发展示的高远技术温，已张吸引露了广分大人酿们关强注。也本论日文主猎要是请介绍调光电槐集成腰电路踏的分掀类和块光电邻集成蕉的器丢件，掠简要侨的分仅析了直两种泽材料肺的光佛电集狮成电悉路，娘并展旗望了踪未来宇广电冻集成捡的应拢用前朋景。驰关键良字疫：光怕电器教件；鸣光电匙集成取；O年EI段C；枕A态bs读tr跃ac唐t添Ph肺ot缸oe负le张ct茂ri川c尺in纽te朽gr手at营io意n沉te丛ch放no督lo挑gy口i棚s洗th栽e及ra询pi屿d睡de主ve剖lo登pm她en嫌t奉of却h认ig命h翠te滴ch仅no报lo歇gy见a卸ft献er济t芳h娇e玻mi贵cr概oe蛇le棚ct犁ro护ni种cs遮i扫nt择eg姓ra赤ti前on驰t从ec神hn名ol请og余y,员n范ea塔rl蝴y必te浪n伐ye严ar床s轻.I萍t或ha嫂s钓at刻tr忍ac据te享d佩pe起op莫le映`s周a因tt溜en乏ti爽on贫.汇Th青is影p姻ap照er占i颗nt滋ro棵du除ce汇s任th弟e幅cl遵as拥si角fi劳ca畏ti模on誓o纳f咏op侵to猪el恰ec码tr创on企ic费i独nt扰eg牌ra指te比d足ci裂rc熟ui振t势,忘an纹d债氏ha慈s宁a永蜘br拳ie绑f戚ly泽a伸na将ly普si夸s络of淘t姿wo指k郑in纤ds吸o闹f晌ma亏te役ri店al领o称f锣ph薯ot站oe鹿le驶ct兽ri指c蜡in困te吩gr缴at渐ed凭c拢ir樱cu辽it扯s,田a富nd蛋d蒙is恳cu熔ss技e办s犁t火he劝f薪ut吓ur果e丛of调t王he跳a递pp养li显ca党ti谊on痰居of宜p柏ho浸to咸el酷ec羽tr砖ic捉i同nt倍eg缸ra享ti衰on蛋t健ec后hn远ol巨og治y静1坐跳引言佩间光电贫集成膝概念害提出名至今蹲已有宪二十怖多年隙的历汪史。炉把各挥种光思子和拿电子咳元件倍集成乱在同姨一衬革底上故，除卡了要队解决相元件铺结构烤和工圾艺技辛术的麻兼容清性外赞，还灿要选击择满醋足两油种元肉件性剥能要乘求的株材料锋。为奶了使抵不同崖材料顾互补吵，按侦要求缴进行羊优化谊组合宁，又宾发展租出一片种复装合衬克底材椅料，春即利订用异热质外里延技激术，让在一酬种衬圾底材政料上活外延葡另一细种衬容底材诉料薄栗膜，忘如在碗硅片较上异系质外授延砷墓化镓复单晶怨薄膜斧，在腿衬底讨的硅肥面制紧作电碍子元衫件，储在砷谢化镓念薄膜本上制甚作光伸子元廉件。茶其优炊点是服可以山把硅赶的大仗规模骑集成逮电路跨技术忧与砷丑化镓匙的光逆子元巨件技蓬术结谊合，透改善搏导热愁性能责，降省低成检本，肤提高竿集成睬度。营除在洁硅面社上异派质外劲延砷醋化镓味外，穷还可剩在砷满化镓南晶片趟上异即质外铜延磷径化铟阔单晶摸薄膜哥。利选用复辞合衬削底材绕料，鞋已制孕出一欣批光萄、电无子元黑件，除以及眯光电叔集成勤的光杯发射努机和闲光接临收机辱。铅随着厚光通棒信、嫩光信多息处禾理、辩光计器算、月光显忍示等跳学科基的发碗展，争人今们对县具有道体积交小、篮重量于轻、简工作劣稳定揪可靠廊、低词功耗鸦、高漠速工蜂作和艰高度颤平行贿性的栗光电世子集梳成产区生浓饿厚的鹿兴趣移，加涛之材浑料科蔬学和干先进音制造厘技术弹的进闪展使乡它在唤单一严结构沟或单若片衬境底上睛集成恰光子汽器件脊和电册子元亮件成涌为可猴能,般并鲜构成默具有载单一揭功能皱或多辈功能傻的光敬电子饭集成洒电路价（O他EI登C恼）。危简言朝之，碌光电吼集成暴电路灾是完养成光短信息法与电泰信息货转换护的一蓄种集株成电锈路。酸2高光逮电集骑成的状分类零光浆电派电集雅成电栽路总柜体可队分为胁两类供：早一类冰是完毙成光怖信息肥到电沈信息堵转换粘的电谣路，楼它由萌光电叮探测吃器、请放大气器及黄偏置岗电路冻组成径。常漂见的临接收巩器件培有光臭电晶牵体管畅、硅糖光电谣池等姨。O联EI让C光斑接收纳机器匠件主疑要由辽探测加器和仇电子样放大炕电路针（晶刃体管盟放大赖器）烫构成历，将题光信亮号经陡探测傅器转律换成腔电信饰号并胖经放沟大器灭放大沈处理蛇后输南出。器要获菊得高瘦灵敏隆度、悠高量够子效顷率的司OE兰IC充光接翅收机逃,则屠要提市高探裁测器挖和晶随体管阶放大器器的茂性能弊。对苗探测陵器的董需求驴是：重高速游度、奶高灵诞敏度辰、高辽响应辆度、倡低噪跌声、据小电冲容、雪易集欺成；厉对放割大器繁的需鞋求是汽：高讲跨导其、高权互阻蠢、高家电流很增益魄截止叛频率江和最燥大振择荡频针率。宰始另一遥类是限完成跌电信臭息到愉光信怠息转视换的蛇电路玻，由毕光发剪射器瓣件、近驱动惭电路免及偏挽置电杜路组煮成。冤常见乞的发勉射器脆件有属发光窃管、挥激光喷管、哑液晶娃等。薯OE似IC跟光发汇射机危器件息是由归激光佛二极贩管（许LD瓜）、掠发光润管（疮LE昼D）共及驱苹动电姑路构养成,绕一般惯有三率种集规成类磨型：脉光源厅和驱文动电潮路的菜集成伙；光筛源和敲探测助器的龙集成芬；光螺源和希驱动石电路届及探殖测器纳的集专成。责OE垦IC惕光发刘射机中器件绝研究虑的重浑点是啄高速你率L脱D和第驱动颂电路奸的集年成。刚3立光电法集成塌器件扶OE贴IC浆器件弯是利串用光韵电子饺技术巨和微森电子碍技术确将光疗子器搜件和范电子颤元件墙单片蒸集成款在同秋一衬久底上阻的单烫片光妖电子投集成界电路久器件亦,主缴要由康LD仿、发垮光二凭极管帜（L绞ED拒）、蛾光电沿二极价管（舒PD袜）、酸调制凝器等置光电浙子有寄源器秒件和魄光波闯导、榆耦合仅器、丢分裂搜器、众光栅玉等无很源器届件，败及各斤种场预效应本晶体骄管（绍FE勺T）容、异亮质结室双极煮晶体袭管（弯HB蓝T）震、高己电子洲迁移案率晶布体管智（H叶EM谊T）伴驱动舌电路甲、率放大衬器等混电子猴元件踩构成榴，其匠集成住方式象是上竟述光岩电器冰件的典部分其组合镰或全确部组靠合者，子通常益采用亿垂直颗结构弃和二硬维水辨平结象构等另基本阶结构趁。纲

俗 妨垂直索集成价结构祖是分秀别设辈计光睁和电路子器喷件结拒构，葬将不湾同的坚光电棚器件振以垂吩直块口形式仅一层棍挨一攀层地劲放置技，光桶电器贼件的眼外延嚼层是体逐次能外延怎生长梢的，坏并用矛绝缘攻层进挥行电淡隔离捕。这绕种叠楼层结转构的街特点方是所苹有层街都能漆在衬除底上趋用一数步或艰重复射生长眨方法党依次纺生长欺，并类可实撞现三六维集传成功假能。泳其好唉处是乘：电随路简进单,笔生产回和制苦作工恩艺简达单坝，农通过盘将器峰件层昆堆叠绕提高疤了实乱际集皂成度搏。缺披点是圣：设蚊计灵雹活性驼差,爽不能纵实现帖高速拼工作奥，桃寄生箱电容续大,闲不易临获得晨好的径隔离损和绝样缘而央使互辈连困罩难、锯平面修性差尿所引认起的杂非平静面电娘互连护困难态、成洞品率尸低及遭不适丈合于置大规纯模集翼成，苹所以暑较少袭采用蜜。座二维咳水平窜集成抬结构雹是将关光器碧件和烘电器滥件水处平排窗列于链衬底祸上，弯采用绕一步帝生长逐的方尝法完殖成集崖成。幸该结绪构的圈特点太是利胜用了铃光器感件和轰电器依件相仇同的谎晶体呢层一碧步生凭长完贡成集常成。协其好鬼处是粱：寄乓生电晨容小蹄,牧成品大率高主。缺抽点是貌加工究复杂奇，由哥于光魂器件掘厚度橡比电逮器件羞厚得填多，池易形薪成台道阶，裁产生枣细小秩图像躬较为谷困难半。二翠维水扬平结掀构是锈OE福IC永器件拾最感伐兴趣粒的结轻构形薪式，称他可源将单霸元间枕的电舍容耦麦合降稿到霸最低驳，但蒜由于阻工艺冈较为孔复杂专，设铃计时坚往往趟要在书分离满器件肌性能趟方面澡进行誉折中饥处理悔。铅OE静IC组器件物主要翻包括烘OE钱IC牢光发布射机稀器件拐、O限EI嚷C光坛接收智机器腐件和辱光中疏继器肚件。贞3.浸1疫OE头IC俱光发雪射机劣器件劝OE温IC淹光发欲射机医器件技是由给激光击二极嫩管（配LD迈）、恒发光如管（起LE疏D）每及驱静动电车路构游成酿，往一般都有三笛种集挑成类光型：胳光源献和驱愁动电搏路的弊集成啊；光鲁源和棒探测踩器的问集成均；光每源和租驱动革电路猪及探群测器蜂的集隆成。孔OE舞IC惕光发毒射机优器件奉研究哥的重奏点是善高速荣率L退D和豆驱动里电路六的集干成。杰光发接射机察器件轻对L凳D的雪需求烦是：击低阈沉值、座大功猪率、延窄线屡宽、奇模式幕稳定怀、高背特征秘温度傍，并博且便挣于集哗成。规适合帽OE虎IC喊光发倦射机岗器件愈的激术光器殊有以截下两爬种兰，踪隐埋纱异质叉结（侄BH香）和热法布童里-侍珀罗村（F密P）箱腔条扇形激肤光器心：其电性能码好，倡但阈普值电乔流高织可引汇起热初相关爆问题黎，并富且解玻理或亩腐蚀贵的反玻射镜帝面使狐制作菌工艺猾复杂苏化。卷分布察反馈皱（D失FB拾）和嘴分布戏布喇既格反惹射器纺（D绿BR讽）激杨光器源：有猎低阈招值电套流（擦It唤h）纤和量茄子阱忠增益吹结构涉，I威nP漆基L陡D匹It裳h<勺10正mA欲（勤1k俱A/踏cm稀2）谊，G扰aA答s基婚LD准I玻th浮<1呀mA积（张<凭20善0A盆/c昂m2洒）。相量子房阱（堆QW骗）L典D不宿仅有陆极低尿的I何th痒，可惰望在瞧10驶倍I垒th的下工重作，铅更有象高微医分增教益和扫高调赵制速丰率，鼠是O羊EI做C光寸发射瞎器件骑的最阵佳光灿源。碌驱动叠电路赵的作舰用是闪控制肾通过芳光源教的电氏流和果提供板高速私调制落所需差的电俯功率例,有听FE栽T、示HB捎T二皮种。佩FE返T输嘴入阻电抗高疯、功内耗低归、结仅构简喘单，悟HB座T有将较高饶的增岩益特钻性和铺较快锋的响撕应速绑度。产在G遍aA租s短槽波长处中多差采用恨金属蝇-合低金-续半导链体（秩ME盲S）铲FE跌T。苏在I将nP邮长波织长中公，一摧般采泡用金前属-宴绝缘妖体-奏半导辜体（抽MI按S）键FE而T和忆调制闭掺杂砖（M灶OD誓）F贼ET棋。2坑0世蚀纪9顽0年撞代以钟来，起具有厚高互僻阻、左高跨诉导、湿低噪鹅声的看HB演T和槐HE芝MT井逐步耐代替谎各种孝FE毫T成抽为主毛流，让使O龄EI惜C发苗射器含件性壶能得省到极个大提逢高。什特别小是H江BT初消除色了高膏栅泄暖漏电冶流，罪并且气其垂祸直几储何形妹状和担高速狼性能残非常势适合颈高密腐度集启成。扁自O料EI硬C技泊术诞鹅生以清来，错主要咏致力摸于光矿发射土机器就件和对光接伶收机朴器件老的研浅究，汤但O傻EI题C光婚发射尿机比酬光接亲收机脱的进登展缓编慢。惯目前司，G米aA秤s基荷OE君IC场发射酱机已企接近朴实用原，I咬nP刊基O催EI留C发真射机渔正在结研究咬中。祥4.冻92本ft兽m涛波长歉的G卧aI杜nA询sP封O傲EI榴C发三射机灾3d锁B带超宽已警达6贯.6丘GH绝z，纵采用椒HE恒MT奸的O概EI户C光圾发射芳机调污制速齐率达望10域Gb型/s脱。姓3.廊2饺OE报IC脂光接趁收机床器件蕉 怖OE旁IC很光接谦收机鸭器件纪主要瘦由探乘测器蛛和电袜子放伟大电劲路（傻晶体砍管放呜大器项）构什成，匹将光劣信号嫌经探诊测器舟转换穿成电铜信号区并经吧放大甜器放勤大处殃理后菠输出败。要和获得毯高灵库敏度尖、高勿量子哪效率谨的O窑EI他C光沃接收诞机,灯则要妙提高戒探测木器和库晶体勉管放互大器撑的性乓能。截对探妥测器返的需芳求是架：高菊速度赢、高惜灵敏旺度、词高响抗应度牙、低藏噪声薯、小贩电容直、易舟集成餐；对闲放大肢器的阶需求谱是：泼高跨负导、叛高互衔阻、豆高电辆流增葬益截峰止频夕率和且最大修振荡继频率柜。探康测器尖：有垫雪崩矛光电范二极督管（兰AP检D）待和P咸IN撕光电叠二极室管（墙PD帽）两辞种。音AP民D虽挑有倍游增作困用，寸但因泡频响陪限制弱，使艺用较蓬少。肆使用欠最多喘的是掩低电赞容、酱低暗贸电流饭的P夺IN匀P竿D，京但他道和F少ET安集成学较为桂困难妇。为夜适应伶高速络率、胸宽频浮带响策应的绪需求映，P捏IN登有所久改进床。目俩前已秤制出脚具有虚高速达能力简的金酸属-斤半导虫体-陆金属喉（M是SM织）P恰D，枝其电睡容更磁低、泊工艺匆简单门，但据暗电创流稍灿大（惯10骆nA辫以上旗）。停更有欲一种托多模阵波导青结构婆（W栽G）翅PD粪，不余仅具惕有大赵带宽沃和高始量子肠效率佳，而描且易亡于和圾其他倾波导唇器件派耦合贴及和桌光器堤件集伙成，蛋因而隔倍受叨重视挡。晶警体管茫：用恭作放旨大器转的晶环体管哀有F戴ET筋、H毙BT丹、H过EM雹T等典。大哀多采庄用F伯ET搜，但洽由于每他本脱身的渔缺陷尸使接匪收机讯性能甘不高长，和疼PI决N臣PD矿集成倘较困偷难。盛采用舱改进坐频带倡型M说OD妇FE销T虽翁增加沿了带隆宽（夹最高汗达1聋8.唤5G送Hz豆）和蔬灵敏证度（主最高残达-锁19劣.5倒dB您m）防、减停少了说寄生扛，但吓仍难饰以满损足大痕容量丽、高羡速化哄通信稠的需寇要。亚HB姻T具睬有高亏速、刊高电龄流驱凯动能康力，塔更有普高跨借导和延十分棍均匀损的阈睁值，业并可摇进行退较高负密度脉封装马。O深EI兰C光右接收锅机的萄发展应趋势老是高愚数字醋速率炮和宽坟频带培响应乡。目差前，籍最新刘的O顶EI味C光规接收朽机主粘要由趣PI脾N倍PD僚和M愤SM屑P梯D和钻HB守T和固HE营MT赶组成裁。G涝aA院s基乌PI拘N/视HE汤MT适已获星得3铜6.海5励GH四z带健宽,吨40闹G掏b/介s速叠率,碰改进目后可辉制成盲58润G扩Hz再带宽民的毫鸦米波透OE轮IC扇光接闯收机柳。搂MS剖M插PD放/H楼EM知T伴OE并IC形光接洞收机奇的最思大带渔宽达丑38增G划Hz纸。I踢nG鼓aA宪s/网I码nP学P录IN飘和暮In萝Ga排As侍/I盛nA千lA尺s/有In避P虫HE赶MT肢集圈成的站PI源N巷PD马/H刷EM麦T循光接钻收机长的速舒率达赏40愉～5青0G昌b/衔s，表频带赴宽达酿40扰GH传z，民可望剑达余60甜GH红z。狸若在粗输入似端加四半导棚体光罪放大剪器和雕可调途谐滤纽波器恐，可鹊获得轿高灵住敏度爹（耽-1玉8.建5踪dB庙m）逝、高英增益渗（0志.7投V/提W）木的O纺EI败C光杰接收暴机。胃据预纯测，称这种接PI滑N刻PD恳/H咸EM敬T守OE怕IC益光接宁收机撒最佳洋化设抚计后缩速率养可望音达到革10咸0淹Gb夫/s集，截拔止频逝率可珠望达隆到呀10悦0馒GH饰z。删多模衬WG阀P享D使铺边入弄射型则OE包IC怨光接锦收机辅也获衬重大饱突破烟,将抵WG确P膨D和尸分布授补偿助型H弹EM敌T放例大器露集成常,获话得了酱46霞.5俭G关Hz矿和5品2钳GH锅z带诊宽。虽3.砍3诱光中满继器柄件灶 撑OE娘IC望光中犬继器笨是将袭光发报射器蕉件、遣光接兆收器匆件和歪放大杯电路百器件贼集成赖在一灵起，趟兼有甘光发澡射、乎接收芦和放躬大功泊能。厅其特泪点是军不必脱将光龟信号村检波阔后再像放大锦，而奋是直播接进卡行光扁放大莫。已驾获得麻在G绪aA初s衬鲜底上例制作狠的P迈IN袭P淘D/涉FE轿T/谋BH并L械D单今片集胳成光新中继惊器，间其增铁益带早宽乘驻积为霜17围8M锐Hz宫。O铅EI晕C光贝中继置器的估研究栏重点方是再4.绵27区ft船m的圾光-侧电-菜光P浆IN孩/F徐ET梨-F哀ET片/L季D单顺片集哪成。所在S蛮i-林In丈P衬饿底上结制作段的P雁IN叉/F为ET婆/L红D单揉片集别成光季中继钓器中出，光量接收姥和光许放大剃功能凡由I偏nG叫aA没s盯PI睁N膊PD斯/F佛ET想完成沉，电等光转依换功泛能由听FE舰T/盐LD登完成教。目瞒前正垒在研痕制多屡路O树EI辨C光跳中继秀器，姥已获卸得2棒8G慎b/害s速纵率和蓄-1谁5.占5d墨Bm换灵敏咱度。园发展巷目标顷是将窑LD源、P麦D、并光开浙关、胞光复赚用器搬/解解复用戚器及扯几种鬼电子狐电路继集成践在一介起，概可实斜现O聪EI径C老波分刃复用维（W便DM躁）光太中继喷功能各。悼4头Ga加As究O姨EI锹C拘和帝In味P链OE伪IC源最有趟代表翠性的培砷化浊镓(格G坑aA缩s)孔O摘EI设C是撕光纤宋(F婚O)论光发别射机拴OE惩IC罚，这病类光趋发射竖机是牧在G绞aA乖s衬财底上湖集成轧光有辉源器罗件(圣如激禁光二削极管痛或发峰光二疮极管库)扩和用市做激滨光二凤极管缺的驱孔动电载路。城在G厉aA垮s衬侍底上宵集成揪一只卧Al融Ga船As馒隐示埋异律质结牵激光坊二极剩管(恋BH钢LD删)和姥两只丝金属咬-半饿导体女场效馅应晶再体管摸(M元ES棉FE赏T)戒。两捕只M曾ES蹄FE湿T棉的作齐用是鼠控制拐通过斩激光妻器的骂电流党,其竿中一卸只提绒供维鹿持激供光器张在闭缠值以韵上工民作的倍偏流挠,少另一炊只提报供激吧光器坡直接菜调制个输出母的调番制电捎流。均两个询电流躬独立步受控慌于M阁ES偿FE炼T栅晒压。廉这种颤OE肉IC毁设墓计是邻非平丑面的释,禁这种至结构钱的O贩EI姐C赢限制南通过抄光刻展可得纯到的煌最小定特征磁尺寸吴,刺使电饿子线峡路的具速度蛋受限值。因垒此这杨种O挡EI将C伸光发恼射机特的频粮响限员制在平几个活GH屿z淋以下敌。要别想获柿得高枯速工认作的损OE亦IC坚光跑发射左,摩应采更用平确面型轨结构待,这腥时应券该将稿生长饱激光视器位喂置的绍沟道边通过鸭刻蚀玉工艺肃将其士降至全到衬梅底里义面,淋使最迎终生有长的约激光丑器层淡的最村上层冈高度挣大体婆与M冲ES话FE镰T斩顶层仅高度耽一致掩。迄室今为惹止,础实位现高集速工智作的忘Gs撤As谈O蠢EI萄C牲的工追艺已者成熟果,害并能悲满足详CD个-R筛OM竖和捧第一辛代F响O诸发射敬机的羽要求辅。首In融P直光电领集成念电路循是认具有抗1.木3微慧米裙和1筛.5顶5微喷米波云长范露围输敢出和剂接收抱的激宿光二店极管辅和光溪电二勾极管歼通常忙是由单在I浓nP罪衬秒底上定生长关的窄远带隙篮四元抱化合段物G洋aA从sP勺和三仪元化国合物摸In蹈Ga饼As笔所构菠成。腰遗憾脊的是织,贼由这雁些材忙料构帆成的磨ME涨SF摄ET点因雾较低煮的肖享特基誓势垒治,石造成广高的栏栅泄柱漏电胆流。扰因此终,栋In圆Ga袄As格P/哑In减P凤的O院EI和C裳不宜及使用桂ME青SF蔬ET醉。异须质结跨双极旁晶体第管(宅HB随T)醋是师In夏P顿OE珠IC禾最塞理想觉的电愁子元浑件。眯HB哄T与飘ME爸SF绒ET启不同示,它敞具有检由一粥个叠氧层排录列的及发射罗极、糠基极界和集皇电极衡组成院的垂奔直儿爆何形扰状结掏构。肤鉴于割In向P割OE烛IC希光姓发射煤机构仿形和悲HB膏T侧结构捆的各辉层连茧接方馒式,巴由坟于跨疼接基膜极/暗发劣射极辉异质忍结产练生一园正向港偏压亭,喉而集晨电极预/览发射且极异今质结混经受温一反矩向偏肾压。判因此驶,舱当一停小电宿流流址经发拣射极掌/更基极驳电路刃时,朝便私在经井基极耍的发宏射极馆/再集电陶极电润路中讽产生腐一相爽当大火的电倘流。榴由于上激光吧器与杀OE锋IC半中览的H崇BT现的盯集电汉极相坟连接贿,条因此牵通过篇调节息HB刘T洒的发起射极肃/基候极电排路的停电流邮便可塌调节絮通过陈激光羽器的冤电流送。浑松下强的光坡发射厅器芯堵片由序一个房驱动性电路窗和在栗In戏P层跟及I匙nG江aA恢sP格层上膨的激衡光器蒜组成献，见栏下豆图。韵5领光电社集成煮的优膝点及揭技术理问题秩光电绞集成故的雀优点求：尝1，事光电店集成流电路炼具有尝较高洲的数沉字转积换速越率。哭（高查速性汪）偶2，怨抗干帽扰能恶力强咽。（悔抗扰鸦性）怜3，扒单个阔集成尾电路徐可以凭具有云多种魔功能皇。例喇如，毒用于煮多路火通信故的几绵个不着同波茂长的冷光发咐射和俱接收绘器件权，有删相关要的信般号处固理功壁能。笨（平负行性魄）兽4，奶光电掠集成谢电路察芯片漠较小浩。脱5，至光电允集成冈电路贝比分糊立电雨路更位可靠阔，性蹈价比油较