制绒清洗工艺文件

江西天能电力股份火文件净名称届：忠15迈6多弱晶硅旅片绒倒面制长备工伍艺追文件款编号笑：楼版本企：T降NS城C-蜻01语:押编制垄部门塘：技海术部选生效钥日期昏：魂页数坑：烈1.递标题建15伞6m唤m*哪15管6m职m多希晶硅辱片绒族面制垂备和染清洗诸甩干迫工艺疗。顷2叶.目刻的搁2胜.1酿清洗决多晶乔硅片严表面您油污稀和照损伤暂层订、约氧化被层尸的矛去除借。色2财.2众在熔多晶咽硅片伐表面骗制备灯一个冰反射糊率饥较低否的织握构表铺面。早3泊.糠适用煌范围幼适用斜于盆无锡自市瑞裹能科垮技有彼限公凝司伤DU益ZQ购J-粪90默00千型盆多晶民硅呢制绒也清洗怒机及宽QS盟J-顶0平3箩型衰清洗廊甩干啊机。芽多晶模硅袭片蛾绒面成制备搂(硅武片型见号：梁15还6m舒m*高15臭6m倍m)会4倦.鸡定义左多晶寄硅在园去清撑洗腐钞蚀后菊，目羽视硅萍片表省面呈罗均匀老的灰导黑色磁，没牛有明财显的红斑点叔，多话晶晶削界不幅明显自。显斑微镜姓下，善绒面吧形貌剩均匀居，硅访片表膜面无醒明显仓台阶卸。娘5绿.傍职责柱5被.1劈所有回操作狂人员坦都必泻须严赶格按猴照奸本妹文件守进行惧操作柱；稻5喷.2升在操态作过菊程中通遇到株问题陈应及抵时向猎相关鞭技术豆人员追反应教，相制关薄技术辆员肝及时醒提供铜帮助软。然6尸.晓内容般6令.1愧插片五6杠.1宪.1防主要爪原材铜料：葱合格浊的多监晶硅区片醉6男.1握.驱2悲工装纠、设喘备：役片架鬼（小点花蓝奏）旁清洗然花篮铺美工恭刀吊6救.1惭.促3龄工艺裹过程腰6数.1乌.3啦.1补穿戴睁好工颈作服菠、工阿作帽资、口浴罩和妻一次钳性手细套。层6商.1俱.3闸.2毁准备忠好原片架刮、兔装片双记录虎表以汗及工钟序流邮程卡芳。挽6基.1婆.3握.3绒查看弄配料替单，娘确认但原材凳料信有息以涂及数指量，勉并填季写装狼片记湾录和嫂工序炸流程舌卡。沿6六.1湿.3喘.4悠检查疫硅片皂包装攻箱确鹊认包堪装无既撞击要破损踢后打授开，坚取出趋硅片蹈包装尸盒，书在装屠片记高录上剂记录驴相关受信息授。腿6毁.1查.复3鸡.5暗打开奸硅片草包装赤盒，搜从中笔抽取伤一片疑，按消照检奶验标蛙准分肤别检啊查其笨外观喉。柳6化.1渣.辫3但.6屋取出锦包装蒜盒内兆的硅咬片，怠并撵辅成扇挠形轻坝轻插走入片陆架内但。缩6服.1信.侮3吗.7任将装播好硅奔片的扭片架扰分批胁按顺也序整沾齐摆退放在董台面屡上，最并将密工序哥流程流卡记池录准脂确。恋6踏.1令.3觉.8证将片腿架放玻入清秆洗花胜篮中叙每个阻清洗杆花篮肚中放感置缓3湿×图4个砖插片踩后坑的片毫架。陆准备骑下一众步腐姨蚀清冬洗。宣6茅.1割.3冬.8哭注意恒事项决1.葱每个穷片架比最多射可以鹊插片倒25迅片。冤插片铺过程轧中对门硅片铸进行文检验樱，不协合格臂硅片旁挑出搞。符每装布10易0片帖硅片娇需要浙更换缩一次破手套盈，如奶装片选过程覆中手衫套破主损需禾及时教更换古。泻2.码插片孙处打时开包简装箱面拿取言硅片殊时，恼遵循愈少量到多次尿的原罩则，每不允子许一急次拿毁过量过的硅闭片。俱3.顶插片痒时，漂手中榨拿的禽硅片池数量卖在5四0-闷10逢0片丝。慰4.样确保腹没有冲缺陷桂片流你出。锯5.职确认降在单笑个片毫槽内猫没有备双片坛现象洋；各扩项数药据的寇准确可性和暖完整蹄性。过济装片乖过程正中需犹及时层将碎捆片、包裂纹及片以冻及其肚它与太检验蚕标准谱不或相符设合的幸硅片窃挑出币，并满做好垦记录宴。僵6童.2罪腐蚀乏清洗池6线.2默.1锄开机究打开妇氮气何阀门搏、姑压缩州空气机阀门活、葵纯水赌阀门降，打客开总镰电源爱→裳PL往C电馒源粮→母各分纪电源押6咐.2码.2驻准备乒工作甚6竟.2网.2绵.1肯确认竟各机旦械手节是否调在原称点位轰置。比6乘.2济.2搅.2援确认匹各槽夹清洗期状态诱正常记，各闹槽内梦按工遭艺条士件正哥确配位液，强见谜《莫清洗盼配液仗作业煤指导丧书》压。匆6顺.2绢.恐2街.3尼确认咏各槽蚀排水社阀关章闭，备无漏命液等飞，各荒槽内勒注入面规定蜡的溶墨液劲。急6植.2碍.2脱.4致确认娘各槽德控制老系统舰工作逝正常守，程慰序准谅确，嘴参数检设定态准确凑。茫6拣.2读.江2较.5汉点检蝶各设送备动倡力参振数在剩规定伟范围完内烫。培6置.2封.言3令关机艳6已.2爷.2欲.1华关机汽前先刺把水肿及药愿液完努全排择出（复各槽惠逐个袭排液予，防姑止副何槽水饲溢流跟），信把机重械手针打回擦原点乘。智6沫.2塑.2处.2鸣关闭壮各分膏电源流→晶PL炕C电总源肌→次总电登源乓→盲氮气雹、谈压缩努空气墙、工纯水凭阀。跃6.洞2.夕4析工艺菜过程搜酸腐丘蚀制熟绒：乒8预槽清犁洗机绕中的猎第1抛槽，西工作与温度砌7份℃±达1评℃损，时纵间班12伐0刑±可10败se霞c尚（时培间长辱短根哀据硅葛片减乓薄量青控制漆，宪15窄6怠硅片配减薄四量颜控制保在每动片基0.潜40挠～稻0.第55肉g竭。汤漂洗姥/喷炮淋：缓8槽和清洗顿机中猛的第跌2槽串，母水洗子槽李齐时间依2～鉴5想m求in觉。械KO诉H碱稠洗：洁8槽烈清洗慈机中股的第炸3槽摔，喘KO扮H百姑分浓甩度2销.4浓%，阴时间庙6～荒12紫se饰c。吐漂洗担：诉8槽捆清洗懂机中老的第灯4槽唯，呼水洗徒槽闹寿时间抄2反～寺4允se店c辣。功HC尝l浅酸洗若：壁8槽齿清洗英机中馅的第嚷5槽财，蓬HC村l膝＋H愉F工百分渣浓度沸5～偶10红%，址时间已2惨～序4击se拉c水。喷漂洗段：窜8槽辟清洗介机中旅的第浩6、脆7槽薯，嫂漂洗肢槽迎时晃间2筒～结4辈se借c盆。桌喷淋胞：推8槽毯清洗宽机中颤的第方8槽赏，瞧喷淋珠槽逝笛时间住1飘～渔3亲se健c匪。脖6.材2.致5伐工艺泽说明冈6.歼2.谢5炼.1读表面绳绒面神均匀编、无慌亮块洽、无钞白斑狮（干孤燥硅接片在尚日光鸭灯或杆聚光佣灯下纠检查茫）。蓄6.持2.阵5畅.2现去除矮厚度豪要求液：死硅片靠腐蚀番去除栏厚度素范围闲7.绘7～嗓9.坊4圣μ屯m，萝以翁8～扔9.新1杯μ如m（析0.姓47纱～0洲.5靠3裙g/潮片赞）为暑宜套。没岂6.电2.矛5帆.3变工艺屠条件低见灶附表拆2丈6.抽2.扫5宝.4她八拾槽清猜洗机就的1固、3揭、5泄槽需妖要经形常补标液，夹补液裕有丰消耗扁性补依液和雄液面释高度矮不足团补液哀两种芳纲脖伟6.女清洗脱工序贷制绒餐质量存异常虹处理暴见侵附表杯3洲粘忠捎7.鄙硅片孕去除超厚度丛及重费量与崇消耗片HN枕O3哥之间肢的关蝴系见租附表悦5安8.刮4.脸1匪超声痛清洗肝工艺俭条件岭见附秒表臣1限补液等前清议洗补闲液庆1仿蜂制装绒补备液：册1-盾1终消耗伏性补衫液：贴1-浴1-病1坏补液烫配方淹：赵硝酸始:氢秩氟酸吗＝1孝:2悔.3兔5（棍体积胁比）须，即影10狸升硝灿酸加朗23睁.5和升氢秃氟酸欣1-顶1-充2泊制绒攀补液沈时间佩和量序：抄每做武30咳0具片址15俗6犬硅片饲后补搅液一侄次，督1.绪61逆L拾；耽或者心加入瘦硝酸锯0.石48膀L笋和氢积氟酸谜1.返13赢L救。嫂液面选高度购不足你补液疑：衫液面秘不足宿时添嚷加原骗始制盈绒液抄，即柜硝酸格:氢要氟酸杀:联水＝惭5:著1:剖3.索4沙（体斧积比兴）城1-森3桨槽液咬寿命遣：启1硬万片恋（暂俯定）狐2距KO祥H掠补液郊：寨配方休：孙45雷%K另OH闸补液扯时间龄和量播：每兼做庆20折00面片补箩液一划次，蛾每次慕加入顽0.却2升嚷45徒%K决O丝H。往槽液纱寿命辟：山1头万片沿（暂失定）机3缩HC遣l敞补液响：便配方筐：寒37海%掘盐酸背补液睛时间疫和量颈：每乡做胜20衣00默片补搞液一复次，罢每次篇加入脖1升绝37准%躁盐酸医。倒槽液青寿命岛：尼1滋万片惜（暂必定）见后清握洗补淋液贩配方迫：稍49还%久氢氟瘦酸垫槽液咏寿命惰：恐1盟万片患（暂刚定）嘴6阴.2直.风5贸注意侮事项炭恳算1醉操作储时，飞必须掩按酸篇、碱肤清洗默要求仪穿戴袄好相抛关的每个人弦防护母用品搁。习宿脉2定酿时干检查堤各槽该内的激实际块温度紧，枪温度陆要婆在正脏确范评围内拳，否风则汇雷报工尖序负帽责人血解决倚。箭葡功3谨每一道批抽店一片杀观察织绒面区，发童现异疯常情油况及习时解绒决，农若解深决不搭了的胁及时汪反馈彻。魂句漆4抽艺取片筛子时悲，用载手在脉片架椒的H丧面将敌片子鹿从片荡架的际底部闪托起密，用亭另一源只手党夹住馅片子价两边巾缘将飘片子风取出虑，尽聋量不望要用厨手指疾接触厦片子践的表配面。折权下5柱操作邀时必芽须安拦全使斑用化喉学试业剂及蛾安全妥使用湿清洗诉机。袍若皮贸肤沾标到化潜学试稼剂则秒立刻川用大磨量水惧冲洗保，严鸦重的参要立雅即就猛医。晓摇周6钳按规劝定补绳充和倍更换科制绒川槽内茶的药耗液沫（叹见附证表）蓄、同溢流祖槽内蝴的溢删流水裕，龟保证矮槽内部无碎搅片、稻无启沾巩污（寸将槽习放满驶水后企排空寨，循练环迁冲洗搬一奴到埋两签次）撑。沃减逝7在茅硅片茫准备贩进行竖制绒球前，布制绒墓槽温滋度必朗须在昌规定豆范围畅内。焦茎骑8驻初始母配制出的长制绒债液透或者惑停止沟生产累两小证时以榜上的钱制绒蔽液需间要活厨化念才能肾继续村进行咏生产爸，活养化方届法是第利用货低等五级硅去片经络过一别个正孟常工或艺流辫程凳。焦牢误9在扔接触么硅片辰、片拔架、萝花篮林等需怖要保播持干辩净的运物品没时需毛要带唤好一僻次性坐手套右。梢7不.3捧甩干趟7牵.3死.1脏开机该7叫.3延.1穿.1月打开绵电源糠开关眠、及佛各控霞制开茶关；此7起.3仅.1太.2往打开诊压缩甩空气醉、氮社气、妻纯水歉总阀底门和途分阀园门羊。白操作成过程装见座《欣甩干雅作业海指导凳书》转7笼.3扭.2滋关机储7缎.3历.2坑.1嘱关闭右电源烛开关季、及关各控林制开斩关们，关间闭论压缩分空气帜、氮烤气、箩纯水旧总阀揉门和竞分阀捏门届。殊7挪.3棋.3寇注意享事项重佛绿1.赴当出趁现故剖障时忌，应匹立刻盛按下季“急惯停”丛按钮弄，在夜故障饥清除局后，施向右茫旋转金“急鄙停蠢”抗按钮旨，再裂重新年启动从。软雹永2.卷在盖廉未拔完全火关闭虾或打社开时天切勿男将手寄伸进都机器坦内。曲3.惯甩干勾后用扎来装扒片架谎的周舒转箱猴必须勤无碎搜片、亚无水榨，保帽持清威洁。崭6注况意事樱项堵粪1伯.清到洗腐妇蚀所微用药枣品H臭NO万3、俗HF纪、K翁OH灵、H理CL领，去缝离子支水。货问长2.闪以损英伤层客去除劈干净壳为准掠，可奥适当顺增加冤去损沾伤槽覆浓度武或时编间或愉温度窜。泉日府3.姐每隔奴三小妙时对丙制绒坊槽及绿温水敏溢流姨槽各豪测温咳一次束，搭记录爱在清圈洗加多液记仰录的谈备注光栏里妈，柿4.遵如厚佛度泰超出州或低肌于工劫艺规探定范成围，朗可适绣当增凡加或接减少孔去损餐伤层也或者缓制绒来的时快间、威浓度炸等，激并及翠时调思整添闭加量心。不7.盼异常情处理睁1淹.如浓因过由度沾里污引撕起的阻色差外，猪返工材无效堆，钟可由叨技术聋员签刺字后惑往下乘流通糟。出妨属2.攀对于捷一批青产品拢中有寿一两每个片点架有输异常走，如刮果是测一面业表面拍质量室合格育的重沸新插批片后谎技术声员签脸字往哗下流察；如却果两裳面都配有异泊常则细需蹲留下阀来与鸭下一咐批异狼常产杆品进励行并听批，位将合赢格的辜产品阀往下蹄流通址，不值合格睛的由若技术锋员安累排是快否流挪通或爹者返予工洽。提惧骨3.夸对于鲜需整汉批返舅工的动产品锦一律子在早逢班进津行返竭工处奇理。肃4.准片子撑甩干客出来贼后，免没有戏送入名扩散叛超过浩6小肤时，臂需在处HC朱l榜酸略洗槐槽再挨走一顽遍。料踪封5.美甩干趁工艺愚条件床见附泻表奴7廊8.灶工艺皂条件商8槽惧清洗型机的盆工艺激条件槽号用途时间(sec)溶液温度（℃）目的1制绒110～130制绒液7～11去除损伤层，制备绒面2漂洗/喷淋200±20去离子水常温去除腐蚀液3KOH碱洗10±22.4%KOH常温去除多孔硅4漂洗180去离子水常温去除碱液5HCl酸洗240～3005～10%HCl常温去除金属离子6漂洗180去离子水常温去除酸液7漂洗180去离子水常温去除酸液8喷淋80去离子水常温去除酸液魄溶液汪配制储表溶液名称溶液组分67%HNO349%HF45%KOH35-38%HCl去离子水制绒液5份（体积）1份（体积）————3.4份（体积）KOH碱洗液————2.4%KOH百分浓度——余量HCl酸洗液——————5～10%百分浓度余量旺9.广卫生年要求典9.脊1制击绒车侮间要壁保持绘清洁这，不嫂要把堵酸、遍碱滴写到地愁面上既。妥9.略2宴盛过悉酸碱零液音的塑绿料桶被、杯窃要及酷时刷主洗，领不可茶无标异识长虹时间并用桶印盛酸眯碱液没。绘9.踩3每荐班下立班前盘要对互制绒研机进旦行卫雹生打榜扫，束冲掉局设备匙上面图的记酸隆碱，排清理宵槽体繁，无猜碎片计、杂包物。另9.叨4每偷月应皇安排贯打扫笛设备绑和槽忌，彻浓底清喇扫，暂具体顶清洗渡项目泼见《幸清洗榴机定多期清绞洗项熟目及某规范颂》拿10堆.工遗装夹天具设备、仪器工具、夹具名称规格或代号名称规格或代号8槽清洗机搬运车甩干机特制花篮片架周转箱塑料量杯防酸手套防酸围裙一次性手套乳胶手套定性滤纸电子称特制125×125M891001500mL，2L，5LM570006M570013M570001M570003M570029M880017C材料名称规格动力多晶硅片125×125mm、156×156mmHNO365-68%分析纯HF49%分析纯KOH45%分析纯HCl37%分析纯去离子水≥13MΩ=13OOOKΩ=1.3×在此处键入公式。10713MΩ=13OOOKΩ=1.3×107电源：220V-50Hz温度：25±3℃纯水(去离子水)氮气压缩空气工艺卫生等级预防措施清洁穿戴工作服、帽、口罩、手套防尘手套塑胶围裙一次性手套长塑胶手套绒附表士1超溉声清孔洗工授艺条喊件槽号1槽2槽3槽时间（分）333温度（度）8565常温天附表这３：姐配液恰、加纸液规估则方案名称Ｘ１方案Ｘ２方案配液硝酸:氢氟酸:纯水=3:1:3；槽液成分：HNO3400±10g／L，HF80±5g／L。硝酸:氢氟酸:纯水=5:3:5；槽液成分：加液碗附表瞒４制森绒质窗量异胆常处犯理问题解决对策亮块白点片架边缘绒面不到位直接制绒：损伤层去除不干净表面不清洁绒面大小不均严重去除重量达不到要求星附表督5硅猫片去晃除厚没度及现重量滩与消散耗H范NO扛3之挑间的凝关系125多晶去除厚度(μm)