光电式传感器演示文稿

光电式传感器演示文稿当前第1页\共有126页\编于星期日\19点优选光电式传感器当前第2页\共有126页\编于星期日\19点

光敏三极管在手机中的应用，主要是根据环境光线明暗来判断用户的使用条件，从而对手机进行智能调节，以达到节能和方便用户使用的目的。黑暗环境下自动降低背光亮度，太阳下自动增强背光亮度。有的手机甚至设置成根据外界光线亮度调节手机铃声音量的功能，手机装到包里铃声就大。当前第3页\共有126页\编于星期日\19点当前第4页\共有126页\编于星期日\19点

光电效应：指物体吸收了光能后转换为该物体中某些电子的能量，从而产生的电效应。包括：外光电效应（ExternalPhoto-electriceffect

）、

内光电效应（internalPhoto-electriceffect）。8.1光电器件光电器件的工作原理是基于光电效应（Photoelectriceffect）当前第5页\共有126页\编于星期日\19点每个光子的能量：E=hνh—普朗克常数，6.626×10-34J·s；ν—光的频率（s-1）光照射物体，可以看成是一连串具有一定能量的光子轰击物体，物体中的电子吸收入射光管子的能量超出逸出功A时，电子就会溢出物体的表面，产生光电子发射。8.1.1外光电效应在光线的作用下，物体内的电子逸出物体表面向外发射的现象称为外光电效应，向外发射的电子叫做光电子。当前第6页\共有126页\编于星期日\19点该方程称为爱因斯坦光电效应方程。根据能量守恒定理:式中：m—电子质量；

v0—电子逸出速度。当hν≥A0有电子逸出根据爱因斯坦假设，一个电子只能接受一个光子的能量，所以要使一个电子从物体表面逸出，必须使光子的能量大于该物体的表面逸出功A0，超过部分的能量表现为逸出电子的动能。当前第7页\共有126页\编于星期日\19点光电子能否产生，取决于光电子的能量是否大于该物体的表面电子逸出功A0。不同的物质具有不同的逸出功，即每一个物体都有一个对应的光频阈值，称为红限频率或波长限。光线频率低于红限频率，光强再大也不会产生光电子发射；反之，入射光频率高于红限频率，即使光线微弱，也会有光电子射出。红限频率为：对应的波长限为：式中：c为真空中的光速，c

≈

3×108m/s。当入射光的频谱成分不变时，产生的光电流与光强成正比。即光强愈大，意味着入射光子数目越多，逸出的电子数也就越多。当前第8页\共有126页\编于星期日\19点

基于外光电效应的光电元件有紫外光电管、光电倍增管、光电摄像管等。紫外线紫外光电管光电倍增管当前第9页\共有126页\编于星期日\19点8.1.2内光电效应

当光照射在物体上，使物体的电阻率ρ发生变化，或产生光生电动势的现象叫做内光电效应，它多发生于半导体内。根据工作原理的不同，内光电效应分为光电导效应和光生伏特效应两类：

1.光电导效应在光线作用，电子吸收光子能量从键合状态过渡到自由状态，而引起材料电导率的变化，这种现象被称为光电导效应。

基于这种效应的光电器件有光敏电阻。当前第10页\共有126页\编于星期日\19点过程：当光照射到半导体材料上时，价带中的电子受到能量大于或等于禁带宽度的光子轰击，并使其由价带越过禁带跃入导带，如图，使材料中导带内的电子和价带内的空穴浓度增加，从而使电导率变大。导带价带禁带自由电子所占能带不存在电子所占能带价电子所占能带Eg

式中ν、λ分别为入射光的频率和波长。为了实现能级的跃迁，入射光的能量必须大于光电导材料的禁带宽度Eg，即当前第11页\共有126页\编于星期日\19点

材料的光导性能决定于禁带宽度，对于一种光电导材料，总存在一个照射光波长限λ0，只有波长小于λ0的光照射在光电导体上，才能产生电子能级间的跃进，从而使光电导体的电导率增加。

2.光生伏特效应在光线作用下能够使物体产生一定方向的电动势的现象叫做光生伏特效应。

基于该效应的光电器件有光电池、光敏二极管、三极管。

光生伏特效应有两种：结光电效应(也称为势垒效应)和横向光电效应(也称为侧向光电效应)。当前第12页\共有126页\编于星期日\19点1)结光电效应如图，由半导体材料形成的PN结，在P区的一侧，价带中有较多的空穴，而在N区的一侧，导带中有较多的电子。由于扩散的结果，使P区带负电、N区带正电，它们积累在结附近，形成PN结的自建场，自建场阻止电子和空穴的继续扩散，最终达到动态平衡，在结区形成阻止电子和空穴继续扩散的势垒。

在入射光照射下，当光子能量hv大于光电导材料的禁带宽度Eg时，就会在材料中激发出光生电子-空穴对，破坏结的平衡状态。在结区的光生电子和空穴以及新扩散进结区的电子和空穴，在结电场的作用下，电子向N区移动，空穴向P区移动，这些可移动的电子和空穴，称为材料中的少数载流子。在探测器处于开路的情况下，少数载流子积累在PN结附近，产生一个与平衡结内自建场相反的光生电场，也就是光生电动势。当前第13页\共有126页\编于星期日\19点2)横向光电效应当半导体光电器件受光照不均匀时，光照部分吸收入射光子的能量产生电子-空穴对，光照部分载流子浓度比未受光照部分的载流子浓度大，就出现了载流子浓度梯度，因而载流子就要扩散。如果电子迁移率比空穴大，那么空穴的扩散不明显，则电子向未被光照部分扩散，就造成光照射的部分带正电，未被光照射部分带负电，光照部分与未被光照部分产生光电动势。这种现象称为横向光电效应，也称为侧向光电效应。基于该效应的光电器件有半导体光电位置敏感器件(PSD)，本章第4节将重点讨论。当前第14页\共有126页\编于星期日\19点

利用物质在光的照射下发射电子的外光电效应而制成的光电器件，一般都是真空的或充气的光电器件，如光电管和光电倍增管。光电管的结构示意图

光阳极光电阴极光窗1.光电管1）结构与工作原理

光电管有真空光电管和充气光电管或称电子光电管和离子光电管两类。两者结构相似，如图。它们由一个阴极和一个阳极构成，并且密封在一只真空玻璃管内。阴极装在玻璃管内壁上，其上涂有光电发射材料。阳极通常用金属丝弯曲成矩形或圆形，置于玻璃管的中央。8.2常用光电转换器件8.2.1外光电效应器件当前第15页\共有126页\编于星期日\19点光电管的结构和工作原理当前第16页\共有126页\编于星期日\19点

光电器件的性能主要由伏安特性、光照特性、光谱特性、响应时间、峰值探测率和温度特性来描述。（1）光电管的伏安特性2)基本特性

在一定的光照射下，对光电器件的阴极所加电压与阳极所产生的电流之间的关系称为光电管的伏安特性。光电管的伏安特性如图所示。它是应用光电传感器参数的主要依据。5020μlm40μlm60μlm80μlm100μlm120μlm100150200024681012极间电压/VIA/μA当前第17页\共有126页\编于星期日\19点

（2）

光电管的光照特性

通常指当光电管的阳极和阴极之间所加电压一定时，光通量与光电流之间的关系为光电管的光照特性。其特性曲线如图所示。曲线1表示氧铯阴极光电管的光照特性，光电流I与光通量成线性关系。曲线2为锑铯阴极的光电管光照特性，它成非线性关系。光照特性曲线的斜率（光电流与入射光光通量之间比）称为光电管的灵敏度。光电管的光照特性255075100200.51.52.0Φ/1mIA/μA1.02.51当前第18页\共有126页\编于星期日\19点

（3）光电管光谱特性同一光电管对于不同频率的光的灵敏度不同，这就是光电管的光谱特性。由于光阴极对光谱有选择性，因此光电管对光谱也有选择性。

一般对于光电阴极材料不同的光电管，它们有不同的红限频率υ0，因此它们可用于不同的光谱范围。除此之外，即使照射在阴极上的入射光的频率高于红限频率υ0，并且强度相同，随着入射光频率的不同，阴极发射的光电子的数量还会不同，即同一光电管对于不同频率的光的灵敏度不同，这就是光电管的光谱特性。所以，对各种不同波长区域的光，应选用不同材料的光电阴极。当前第19页\共有126页\编于星期日\19点

国产GD-4型的光电管，阴极是用锑铯材料制成的。其红限λ0=7000Å，它对可见光范围的入射光灵敏度比较高，转换效率：25%~30%。它适用于白光光源，因而被广泛地应用于各种光电式自动检测仪表中。对红外光源，常用银氧铯阴极，构成红外传感器。对紫外光源，常用锑铯阴极和镁镉阴极。另外，锑钾钠铯阴极的光谱范围较宽，为3000~8500Å，灵敏度也较高，与人的视觉光谱特性很接近，是一种新型的光电阴极；但也有些光电管的光谱特性和人的视觉光谱特性有很大差异，因而在测量和控制技术中，这些光电管可以担负人眼所不能胜任的工作，如坦克和装甲车的夜视镜等。

当前第20页\共有126页\编于星期日\19点2.光电倍增管

当入射光很微弱时，普通光电管产生的光电流很小，只有零点几μA，很不容易探测。这时常用光电倍增管对电流进行放大。

1）结构和工作原理由光阴极、倍增电极以及阳极三部分组成。倍增极多的可达30级；阳极是最后用来收集电子的，收集到的电子数是阴极发射电子数的105~106倍。即光电倍增管的放大倍数可达几万倍到几百万倍。光电倍增管的灵敏度就比普通光电管高几万倍到几百万倍。当前第21页\共有126页\编于星期日\19点

光电倍增管(a)结构图；(b)原理图；(c)供电电路光电倍增管当前第22页\共有126页\编于星期日\19点2）主要参数

（1）倍增系数M

倍增系数M等于n个倍增电极的二次电子发射系数δ的乘积。如果n个倍增电极的δ都相同，则，因此，阳极电流I为

i

—光电阴极的光电流光电倍增管的电流放大倍数β为：M与所加电压有关，M在105~108之间，稳定性为1％左右，加速电压稳定性要在0.1％以内。如果有波动，倍增系数也要波动，因此M具有一定的统计涨落。一般阳极和阴极之间的电压为1000~2500V，两个相邻的倍增电极的电位差为50~100V。对所加电压越稳越好，这样可以减小统计涨落，从而减小测量误差。

当前第23页\共有126页\编于星期日\19点

（2）光电阴极灵敏度和光电倍增管总灵敏度一个光子在阴极上能够打出的平均电子数叫做光电倍增管的阴极灵敏度。而一个光子在阳极上产生的平均电子数叫做光电倍增管的总灵敏度。

光电倍增管的最大灵敏度可达10A/lm，极间电压越高，灵敏度越高；但极间电压也不能太高，太高反而会使阳极电流不稳。

另外，由于光电倍增管的灵敏度很高，所以不能受强光照射，否则将会损坏。

当前第24页\共有126页\编于星期日\19点

（3）暗电流和本底脉冲一般在使用光电倍增管时，必须把管子放在暗室里避光使用，使其只对入射光起作用；但是由于环境温度、热辐射和其它因素的影响，即使没有光信号输入，加上电压后阳极仍有电流，这种电流称为暗电流，这是热发射所致或场致发射造成的，这种暗电流通常可以用补偿电路消除。如果光电倍增管与闪烁体放在一处，在完全蔽光情况下，出现的电流称为本底电流，其值大于暗电流。增加的部分是宇宙射线对闪烁体的照射而使其激发，被激发的闪烁体照射在光电倍增管上而造成的，本底电流具有脉冲形式。

当前第25页\共有126页\编于星期日\19点与直线最大偏离是3%10－1310－1010－910－710－510－310－1在45mA处饱和10－1410－1010－610－2光通量/1m阳极电流/A

（4）光电倍增管的光照特性光照特性反映了光电倍增管的阳极输出电流与照射在光电阴极上的光通量之间的函数关系。对于较好的管子，在很宽的光通量范围之内，这个关系是线性的，即入射光通量小于10-4lm时，有较好的线性关系。光通量大，开始出现非线性，如图所示。当前第26页\共有126页\编于星期日\19点1.光敏电阻(LDRs)Light-dependentresistorsphotoresistorsorphotoconductors8.2.2内光电效应器件暗电流（越小越好）光敏电阻具有很高的灵敏度，很好的光谱特性，光谱响应可从紫外区到红外区范围内。而且体积小、重量轻、性能稳定、价格便宜，因此应用比较广泛。工作原理演示当前第27页\共有126页\编于星期日\19点

光敏电阻的结构如图所示。管芯是一块安装在绝缘衬底上带有两个欧姆接触电极的光电导体。光导体吸收光子而产生的光电效应，只限于光照的表面薄层，因此光电导体一般都做成薄层。为了获得高的灵敏度，光敏电阻的电极一般采用梳状图案，如图。1）光敏电阻的结构RG电路符号当前第28页\共有126页\编于星期日\19点2）光敏电阻的主要参数和基本特性（1）暗电阻、亮电阻、光电流（2）光照特性（3）光谱特性当前第29页\共有126页\编于星期日\19点(4)伏安特性(5)频率特性(6)稳定性(7)温度特性

当前第30页\共有126页\编于星期日\19点2.光电池（Photoelectriccell）

光电池是利用光生伏特效应把光直接转变成电能的器件。由于它可把太阳能直接变电能，因此又称为太阳能电池。它是基于光生伏特效应制成的，是发电式有源元件。它有较大面积的PN结，当光照射在PN结上时，在结的两端出现电动势。

把光电池的半导体材料的名称冠于光电池(或太阳能电池)之前。如，硒光电池、硅光电池等。目前,应用最广、最有发展前途的是硅光电池，有2DR系列和2CR系列两种。硅光电池价格便宜，转换效率高，寿命长，适于接受红外光。硒光电池光电转换效率低(0.02％)、寿命短，适于接收可见光(响应峰值波长0.56μm)，最适宜制造照度计。砷化镓光电池转换效率比硅光电池稍高，光谱响应特性则与太阳光谱最吻合,工作温度最高，更耐受宇宙射线的辐射。因此，它在宇宙飞船、卫星、太空探测器等电源方面的应用是有发展前途的。当前第31页\共有126页\编于星期日\19点PN如图,在一块N型硅片上用扩散的办法掺入一些P型杂质(如硼)形成PN结。当光照到PN结区时，如果光子能量足够大，将在结区附近激发出电子-空穴对，光生电子—空穴对的扩散运动使电子通过漂移运动被拉到N型区，空穴留在P区，所以在N区聚积负电荷，P区聚积正电荷，这样N区和P区之间出现电位差。若将PN结两端用导线连起来，电路中有电流流过，电流的方向由P区流经外电路至N区。若将外电路断开，就可测出光生电动势。1）光电池的结构和工作原理+光－SiO2RL(a)光电池的结构图I光(b)光电池的工作原理示意图PN当前第32页\共有126页\编于星期日\19点光电池符号基本电路等效电路当前第33页\共有126页\编于星期日\19点光电池外形光敏面当前第34页\共有126页\编于星期日\19点能提供较大电流的大面积光电池外形当前第35页\共有126页\编于星期日\19点光电池在动力方面的应用太阳能电动机模型太阳能光电池板太阳能赛车光电池在人造卫星上的应用当前第36页\共有126页\编于星期日\19点2)基本特性(1)光照特性硅光电池的光照特性负载对光电池输出性能的影响(2)光谱特性1—硒光电池；2—硅光电池当前第37页\共有126页\编于星期日\19点(3)频率特性1—硒光电池；2—硅光电池(4)温度特性UOC—开路电压；ISC—短路电流当前第38页\共有126页\编于星期日\19点3.光敏二极管（PD:Photo-Diode）

光电二极管和光电池一样，其基本结构也是一个PN结。它和光电池相比，重要的不同点是结面积小，因此它的频率特性特别好。按材料分，光电二极管有硅、砷化镓、锑化铟光电二极管等许多种。按结构分，有同质结与异质结之分。其中最典型的是同质结硅光敏二极管。

国产硅光敏二极管按衬底材料的导电类型不同，分为2CU和2DU两种系列。2CU系列以N-Si为衬底，2DU系列以P-Si为衬底。2CU系列的光敏二极管只有两条引线，而2DU系列光敏二极管有三条引线。当前第39页\共有126页\编于星期日\19点1)普通光敏二极管光敏二极管符号光敏二极管的结构与一般二极管相似，装在透明玻璃外壳中，其PN结装在管顶，可直接受到光照射。光敏二极管在电路中一般是处于反向工作状态

当前第40页\共有126页\编于星期日\19点光敏二极管在没有光照射时，反向电阻很大，光敏二极管处于截止状态，这时只有少数载流子在反向偏压的作用下，渡越阻挡层形成微小的反向电流（暗电流）；受光照射时，PN结附近受光子轰击，吸收其能量而产生电子-空穴对，从而使P区和N区的少数载流子浓度大大增加，因此在外加反向偏压和内电场的作用下，P区的少数载流子渡越阻挡层进入N区，N区的少数载流子渡越阻挡层进入P区，从而使通过PN结的反向电流大为增加，这就形成了光电流。光敏二极管的光电流I与照度之间呈线性关系。光敏二极管的光照特性是线性的，所以适合检测等方面的应用。当前第41页\共有126页\编于星期日\19点

硅光敏二极管光照特性

硅光敏二极管伏安特性当前第42页\共有126页\编于星期日\19点2)

PIN光敏二极管PIN光敏二极管是光敏二极管中的一种。它的结构特点是，在P型半导体和N型半导体之间夹着一层相对很厚的本征半导体I层。由于本征层的引入加大了耗尽层厚度，本征层相对于P、N区有更高的电阻，反向偏压在这里形成高电场区，展宽了光电转换的有效工作区域，降低了暗电流，从而使灵敏度得以提高。当前第43页\共有126页\编于星期日\19点PIN光敏二极管最大特点是频带宽，可达1

GHz。另一个特点是，因为I层很厚，在反偏压下运用可承受较高的反向电压，线性输出范围宽。PIN光敏二极管的不足是：由于I层电阻很大，管子的输出电流小，一般多为零点几微安至数微安。目前有将PIN光敏二极管与前置运算放大器集成在同一硅片上并封装于一个管壳内的商品出售。PIN光敏二极管可用作各种数字与模拟光纤传输系统，各种家电遥控器的接收管（红外波段）、UHF频带小信号开关、中波频带到1000MHZ之间电流控制、可变衰减器、各种通信设备收发天线的高频功率开关切换和RF领域的高速开关等。特殊结构的PIN二极管还可用于测量紫外线或射线等。当前第44页\共有126页\编于星期日\19点4.光敏三极管(PT:Photo-Triode)

光敏三极管有PNP型和NPN型两种。与普通三极管相似，有电流增益，灵敏度比光敏二极管高。

多数光敏三极管的基极没有引出线，只有正负（c、e）两个引脚，所以其外型与光敏二极管相似，从外观上很难区别。

1—集电极引脚2—管芯3—外壳4—玻璃聚光镜

5—发射极引脚用N型硅材料为衬底制作的光敏三极管为NPN型结构，称为3DU型；用P型硅材料为衬底制作的光敏三极管为PNP型结构，称为3CU型。当前第45页\共有126页\编于星期日\19点光敏三极管内部结构

a)管芯结构b）结构简化图

6—N+衬底,7—N型集电区,8—SiO2保护圈,9—集电结,10—P型基区,11—N型发射区,12—发射结光敏三极管也具有电流增益，只是它的发射极做的很大，以扩大光的照射面积，且其基极不接引线。当集电极加上正电压，基极开路时，集电极处于反向偏置状态。当光线照射在集电结的基区时,会产生电子-空穴对,在内电场的作用下,光生电子被拉到集电极,基区留下空穴,使基极与发射极间的电压升高,这样便有大量的电子流向集电极,形成输出电流,且集电极电流为光电流的β倍。当前第46页\共有126页\编于星期日\19点光敏三极管外形

当前第47页\共有126页\编于星期日\19点1)光谱特性2)伏安特性3)光照特性当前第48页\共有126页\编于星期日\19点4)温度特性

5)光敏三极管的频率特性当前第49页\共有126页\编于星期日\19点8.2.3半导体光电器件的应用选择光电器件光谱响应/nm灵敏度/(A/W)输出电流/mA光电响应线性频率响应/MHz暗电流及噪声应用范围峰值CdS光敏电阻400～9006401

A/lm10～10²非线性0.001较低集成或分离式光电开关CdSe光敏电阻300～12207501

A/lm10～10²非线性0.001较低PN结光敏二极管400～11007500.3～0.6≤1.0好≤10最低光电检测硅光电池400～11007500.3～0.81～30好0.03～1较低—PIN光敏二极管400～11007500.3～0.6≤2.0好≤100最低高速光电检测GaAs光敏二极管300～9508500.3～0.6≤1.0好≤100最低高速光电检测HgCdTe光敏二极管1000～

12000与Cd组分有关——好≤10较低红外探测光敏三极管3DU400～11008800.1～21～8线性差≤0.2低光电探测与开关当前第50页\共有126页\编于星期日\19点8.3位置敏感器件(PSD)

位置敏感器件(PositionSensitiveDetector，PSD)是一种对其感光面上入射光点位置敏感的器件，也称为坐标光电池。PSD有两种，一维PSD和二维PSD。一维PSD用于测定光点的一维坐标位置，二维PSD用于测定光点的二维坐标位置，其工作原理与一维PSD相似。

PSD器件在光点位置测量方面有许多优点。例如，它对光斑的形状无严格要求，即它的输出信号与光斑是否聚焦无关；另外，它可以连续测量光斑在PSD上的位置，且分辨力高，一维PSD的位置分辨力高达0.2。当前第51页\共有126页\编于星期日\19点8.3.1PSD的工作原理PSD一般为PIN结构。在硅板的底层表面上以胶合的方式制成2片均匀的P和N电阻层，在P和N电阻层之间注入离子而产生I层，即本征层。在P层表面电阻层的两端各设置一个输出电极。

当一束具有一定强度的光点从垂直于P的方向照射到PSD的I层时，光点附近就会产生电子-空穴对，在PN结电场的作用下，空穴进入P区，电子进入N区。由于P区掺杂浓度相对较高，空穴迅速沿着P区表面向两侧扩散，最终导致P层空穴横向(X方向)浓度呈现梯度变化，这时，同一层面上的不同位置呈现一定的电位差，这种现象称为横向光电效应，也称侧向光电效应。当前第52页\共有126页\编于星期日\19点PSD通常工作在反向偏压状态，即PSD的公共极3接正电压，输出电极1、2分别接地。这时，流经电极3的电流I0与入射光的强度成正比，流经电极1、2的电流I1、I2与入射光点的位置有关，由于P层为均匀电阻层，因此，I1、I2与入射光点到相应电极的距离成反比，并且有I0=I1+I2。如果将坐标原点设置在PSD器件的中心点，I1、I2与I0之间存在如下关系：式中：L为PSD的长度；XA为入射光点的位置。当前第53页\共有126页\编于星期日\19点由I1、I2与I0之间的关系式可以得出可见，PSD的测量结果XA与I1、I2有关，而入射光强的变化并不影响测量结果。这给测量带来了极大的方便。8.3.2PSD的特性1．受光面积

PSD是检测受光面上点状光束的中心(光强度中心)位置的光敏感器件，因此，通常在PSD前面设置聚光透镜，在受光面上得到光点，使用时应选择最适宜的受光面积的PSD，确保光点进入受光面。当前第54页\共有126页\编于星期日\19点2．信号光源与敏感波长范围在PSD外部有遮挡的情况下，由于周围的干扰光不能进入PSD，在其敏感波长范围内，采用任何光源PSD都能正常工作。然而，对于有环境杂光干扰的情况，过强的环境光会将来自信号光源的光“淹没”。这时，要采用可见光截止型窗口材料的PSD，信号光源可以使用红外LED及白炽灯。3．响应速度在PSD受光面上光点高速移动时，若信号光源为调制信号，PSD的响应时间就应该考虑。PSD的电极间基本相当于电阻工作，因此需要高速响应工作时，就应该选用电极间电阻小的PSD，在较大的反偏电压和较小的电容状态下使用。当前第55页\共有126页\编于星期日\19点4．位置检测误差

PSD的位置检测误差是指测量时，实际的光点位置与检测的光点位置的差值，最大为全受光长度的2%～3%。PSD的位置检测特性近似于线性。图示为典型一维PSD(S1544)位置检测误差曲线，由曲线可知，越接近中心位置的检测误差越小。因此，利用PSD来检测光斑位置时，应尽量使光点靠近器件中心。当前第56页\共有126页\编于星期日\19点5．位置分辨力位置分辨力是指在PSD受光面上能够检测出的最小位置变化，用受光面上的距离表示。

即在电流差较小的情况下，电流I1、I2中含有的噪声电流分量决定了位置分辨力。当前第57页\共有126页\编于星期日\19点8.4固态图像传感器

固态图像传感器(solidstateimagingsensor)是指在同一半导体衬底上生成若干个光敏单元与位移寄存器构成一体的集成光电器件,其功能是把按空间分布的光强信息转换成按时序串行输出的电信号。

CCD—电荷耦合器件(chargecoupleddevice)是其中应用最广泛的一种。CCD自1970年问世以后，由于它的低噪声等特点，被广泛应用于广播电视、可视电话和传真、数码照相机、摄像机等方面，在自动检测和控制领域也显示出广阔的应用前景。

当前第58页\共有126页\编于星期日\19点线阵CCD外形当前第59页\共有126页\编于星期日\19点面阵CCD外形当前第60页\共有126页\编于星期日\19点

线阵CCD在扫描仪中的应用当前第61页\共有126页\编于星期日\19点

线阵CCD用于字符识别当前第62页\共有126页\编于星期日\19点CCD用于图像记录

当前第63页\共有126页\编于星期日\19点CCD数码摄像机

当前第64页\共有126页\编于星期日\19点

一个完整的CCD器件由光敏元、转移栅、移位寄存器及一些辅助输入、输出电路组成。8.4.1CCD的结构和工作原理

光敏元是在P型（或N型）硅衬底上生长一层厚度约为120nm的SiO2，再在SiO2层上依次沉积铝电极而构成MOS的电容式转移器。CCD的工作过程分为三步：1）信号电荷的注入(光敏元阵列)；2）信号电荷的转移(转移栅)；3）信号电荷的读出(移位寄存器)。1．MOS光敏单元当前第65页\共有126页\编于星期日\19点光敏元结构P型Si衬底SiO2绝缘层金属电极+耗尽区(势阱)光线MOS(金属-氧化物-半导体)阵列电子光敏元阵列实现了光图像到电荷图的转换当前第66页\共有126页\编于星期日\19点

当向电极加正偏压时，在电场的作用下，电极下的P型硅区域里的空穴被赶尽，从而形成一个耗尽区，也就是说，对带负电的电子而言是一个势能很低的区域，这部分称为“势阱”。如果此时有光线入射到半导体硅片上，在光子的作用下，半导体硅片上就产生了光生电子和空穴，光生电子就被附近的势阱所吸收(或称为“俘获”)，而同时产生的空穴则被电场排斥出耗尽区。此时势阱内所吸收的光生电子数量与入射到势阱附近的光强成正比。人们也称这样的一个MOS光敏元为一个像素，把一个势阱所收集的若干光生电荷称为一个电荷包。通常在半导体硅片上制有几百或几千个相互独立的MOS光敏元，呈线阵或面阵排列。在金属电极上施加一正电压时，在半导体硅片上就形成几百或几千个相互独立的势阱。如果照射在这些光敏元上的是一幅明暗起伏的图像，那么通过这些光敏元就会将其转换成一幅与光照强度相对应的光生电荷图像。当前第67页\共有126页\编于星期日\19点MOS光敏元及数据面的显微照片CCD光敏元显微照片CCD读出移位寄存器的数据面显微照片当前第68页\共有126页\编于星期日\19点

2．读出移位寄存器读出移位寄存器是电荷图像的输出电路，如图。它也是MOS结构，但在半导体的底部覆盖上一层遮光层，防止外来光线的干扰。

实现电荷定向转移的控制方法，非常类似于步进电动机的步进控制方式。也有二相、三相等控制方式之分。下面以三相控制方式为例说明读出移位寄存器控制电荷定向转移的过程。当前第69页\共有126页\编于星期日\19点（a）势阱耦合与电荷转移（b）控制时钟波形当前第70页\共有126页\编于星期日\19点3．电荷的输出如图所示为利用二极管的输出方式。在阵列末端衬底上扩散形成输出二极管，当输出二极管加上反相偏压时，在结区内产生耗尽层。当信号电荷在时钟脉冲作用下移向输出二极管，并通过输出栅极OG转移到输出二极管耗尽区内时，信号电荷将作为二极管的少数载流子而形成反向电流Io。输出电流的大小与信号电荷大小成正比，并通过负载电阻R1变为信号电压Uo输出。当前第71页\共有126页\编于星期日\19点8.4.2线阵CCD图像传感器转移栅光积分单元不透光的电荷转移结构光积分区输出转移栅(a)(b)线型CCD图像传感器输出当前第72页\共有126页\编于星期日\19点

在每一个光敏元件上都有一个梳状公共电极,由一个P型沟阻使其在电气上隔开。当入射光照射在光敏元件阵列上,梳状电极施加高电压时,光敏元件聚集光电荷,进行光积分,光电荷与光照强度和光积分时间成正比。在光积分时间结束时,转移栅上的电压提高(平时低电压),与CCD对应的电极也同时处于高电压状态。然后,降低梳状电极电压，各光敏元件中所积累的光电电荷并行地转移到移位寄存器中。当转移完毕,转移栅电压降低,梳妆电极电压回复原来的高电压状态,准备下一次光积分周期。同时,在电荷耦合移位寄存器上加上时钟脉冲,将存储的电荷从CCD中转移,由输出端输出。这个过程重复地进行就得到相继的行输出,从而读出电荷图形。当前第73页\共有126页\编于星期日\19点1024单元14μm×14μm二相时钟(5V)当前第74页\共有126页\编于星期日\19点8.4.3面阵CCD图像传感器光栅报时钟二相驱动输出寄存器检波二极管

视频输出垂直转移寄存器感光区二相驱动当前第75页\共有126页\编于星期日\19点

感光单元和存储单元交替排列。在感光区光敏元件积分结束时，转移控制栅打开，电荷信号进入存储区。随后，在每个水平回扫周期内，存储区中整个电荷图像一次一行地向上移到水平读出移位寄存器中。接着这一行电荷信号在读出移位寄存器中向右移位到输出器件，形成视频信号输出。这种结构的器件操作简单，但单元设计复杂，感光单元面积减小，图像清晰。目前，面阵CCD图像传感器使用得越来越多，发达国家所能生产的产品的单元数也越来越多，高端数码相机最多已超过4096×4096像元，我国主流家用数码相机的面阵CCD图像传感器已经达到500万～1000万像素。当前第76页\共有126页\编于星期日\19点8.5光电传感器的应用

光电传感器可以应用于多种非电量的测量。根据光通量对光电元件的作用原理不同，按照其输出量的性质可将光电传感器分为两类：一类是把被测量转换为与之成单值对应关系的连续变化的光电流，称为模拟式光电传感器；另一类是把被测量转换为断续变化的光电流，系统输出为开关量的电信号，称为数字式光电传感器。8.5.1模拟式光电传感器的应用

(a)被测物是光源(b)被测物吸收光通量

(c)被测物是有反射能力的表面(d)被测物遮蔽光通量当前第77页\共有126页\编于星期日\19点光电式浊度计工作原理——被测物吸收光通量

1—恒流源2—半导体激光器3—半反半透镜4—反射镜5—被测水样6、9—光电池

7、10—电流/电压转换器8—标准水样参比通道当前第78页\共有126页\编于星期日\19点

光电式浊度计和含沙量测量将装有浊水的试管插入仪器中当前第79页\共有126页\编于星期日\19点

烟雾报警器外形

无烟雾时，光敏元件接收到LED发射的恒定红外光。而在火灾发生时，烟雾进入检测室，遮挡了部分红外光，使光敏三极管的输出信号减弱，经阀值判断电路后，发出报警信号。烟雾当前第80页\共有126页\编于星期日\19点无线烟雾报警器内部结构

可发出高分贝笛鸣声的蜂鸣器当前第81页\共有126页\编于星期日\19点无线火灾烟雾传感器

无线火灾烟雾传感器可以固定在墙体或者天花板上。它内部使用一节9伏层叠电池供电，工作在警戒状态时，工作电流仅为15微安，报警发射时工作电流为20毫安。当探测到初期明火或者烟雾达到一定浓度时，传感器的报警蜂鸣器立即发出90分贝的连续报警，工作指示灯快速连续闪烁，无线发射器发出无线报警信号，通知远方的接收主机，将报警信息传递出去。无线发射器的报警距离在空旷地可以达到200米，在有阻挡的普通家庭环境中可以达到20米。当前第82页\共有126页\编于星期日\19点光电式带材跑偏检测器——被测物遮挡光通量的应用实例

光电传感器

带材走偏时，边缘经常与传送机械发生碰撞，易出现卷边，造成废品。

当带材处于正确位置（中间位置）时，放大器输出电压Uo为零；当带材左偏时，遮光面积减小，输出电压反映了带材跑偏的方向及大小。

当前第83页\共有126页\编于星期日\19点光电式带材跑偏检测控制器原理1—

被测带材；2—卷取电机；3—卷取辊；4—液压缸；5—活塞；6—滑台；7—光电检测装置；8—光源；9、10—透镜；11-光敏电阻R1

；12—遮光罩

当前第84页\共有126页\编于星期日\19点被测物体反射光通量的应用实例

反射式烟雾报警器

在没有烟雾时，由于红外对管相互垂直，烟雾室内又涂有黑色吸光材料，所以红外LED发出的红外光无法到达红外光敏三极管。

当烟雾进入烟雾室后，烟雾的固体粒子对红外光产生漫反射（图中只画出几个微粒的反射示意），使部分红外光到达光敏三极管，有光电流输出。当前第85页\共有126页\编于星期日\19点

光源本身是被测物的应用实例

照度计光的照度E的单位是lx（勒克斯），它是常用的光度学单位之一，它表示受照物体被照亮程度的物理量，可以用照度计来测量。光电池（外加柔光罩）当前第86页\共有126页\编于星期日\19点

红外线辐射温度计用于食品温度测量红外线辐射温度计：当前第87页\共有126页\编于星期日\19点红外线辐射温度计用于人体额温测量当前第88页\共有126页\编于星期日\19点线阵CCD器件精密检测工件直径当前第89页\共有126页\编于星期日\19点

光电式转速表

光电式转速表属于反射式光电传感器，它可以在距被测物数十毫米外非接触地测量其转速。

n=60(f/z)

8.5.2数字式光电传感器的应用当前第90页\共有126页\编于星期日\19点水泵转速测量当前第91页\共有126页\编于星期日\19点8.6光栅传感器(Opticalgratings)

在一块长条形(圆形)光学玻璃(或金属)上进行均匀刻划，可得到一系列密集刻线，如图所示，这种具有周期性刻线分布的光学元件称为光栅。图中，a为光栅刻线宽度，b为光栅缝隙宽度，a+b=W称为光栅的栅距(也称光栅常数(Gratingperiod))。为了方便处理，通常取a=b=W/2。常用的光栅每毫米有10、25、50、100条刻线，精密测量的光栅每毫米有250条刻线，甚至可达到500条刻线。当前第92页\共有126页\编于星期日\19点

光栅式传感器有如下的特点：(1)大量程兼有高分辨力和高精度。在大量程长度与直线位移测量方面，长光栅测量精度仅低于激光干涉传感器；圆分度和角位移测量方面，圆光栅测量精度最高。一般长光栅测量精度达(0.5～3)/3000

mm，分辨力达0.1，圆光栅测量精度达0.15″，分辨力达0.1″。(2)可实现动态测量，易于实现测量及数据处理的自动化。(3)具有较强的抗干扰能力，适合一般实验室条件和环境较好的车间现场。光栅式传感器在几何量测量领域有着广泛的应用，所有与长度(位移)和角度(角位移)测量有关的精密仪器中都经常使用光栅式传感器，此外，在测量振动、速度、应力、应变等机械测量中也常有应用。当前第93页\共有126页\编于星期日\19点

8.6.1计量光栅的种类利用光栅的莫尔条纹(Moirepatterns)现象进行精密测量的光栅称为计量光栅。根据基材不同，分为金属光栅与玻璃光栅；根据光线的走向，分为透射光栅与反射光栅；根据用途不同，分为长光栅与圆光栅。1．长光栅

刻划在玻璃尺上的光栅称为长光栅，也称为光栅尺(Gratingruler)，用于测量长度或直线位移。其刻线相互平行，一般以每毫米长度内的栅线数(即栅线密度)来表示长光栅的特性。根据栅线型式的不同，长光栅分黑白光栅和闪耀光栅。黑白光栅是指只对入射光波的振幅或光强进行调制的光栅，所以又称振幅光栅。振幅光栅的栅线密度一般为20～125线/mm。我们讲的主要振幅光栅。当前第94页\共有126页\编于星期日\19点GratingruleropaquetransparentGratingrulerglassplateLightsourcePhoto-detector当前第95页\共有126页\编于星期日\19点2．圆光栅刻划在玻璃园盘上的光栅称为圆光栅，也称光栅盘(Gratingdisk)，用来测量角度或角位移。圆光栅的参数多数是以整圆上刻线数或栅距角(也称为节距角)γ来表示，它是指圆光栅上相邻两栅线之间的夹角，如图所示。根据栅线刻划的方向，圆光栅分两种，一种是径向光栅，其栅线的延长线全部通过光栅片的圆心。另一种是切向光栅，其全部栅线与一个和光栅盘同心的直径只有零点几或几个毫米的小园相切。切向光栅适用于精度要求较高的场合。当前第96页\共有126页\编于星期日\19点

把两块栅距W1和W2的光栅（光栅1、光栅2）面相对叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线之间形成一个很小的夹角θ，由于挡光效应，两块光栅刻线的相交处形成暗带，而在刻线彼此错开处形成亮带。这些亮暗相间的条纹称为“莫尔条纹”。因此莫尔条纹的形成是由两块光栅的遮光和透光效应形成的。由于在近于垂直栅线方向上出现。有时称为横向莫尔条纹。莫尔条纹的特征8.6.2莫尔条纹(MoiréPatterns)----光栅传感器的工作基础1.形成莫尔条纹的光学原理当前第97页\共有126页\编于星期日\19点长光栅莫尔条纹的宽度为式中：W1为标尺光栅1(也称为主光栅)的光栅常数；W2为指示光栅2的光栅常数；θ为两光栅栅线的夹角。当前第98页\共有126页\编于星期日\19点2．莫尔条纹的特性莫尔条纹有如下的重要特性：

1)运动对应关系莫尔条纹的移动量与移动方向与两光栅的相对位移量和位移方向有着严格的对应关系。当主光栅向右运动一个栅距W1时，莫尔条纹向下移动一个条纹间距B；如果主光栅向左运动，则莫尔条纹向上移动。所以，光栅传感器在测量时，可以根据莫尔条纹的移动量和移动方向，来判定主光栅(或指示光栅)的位移量和位移方向。

2)位移放大作用若两光栅栅距W相同，两光栅栅线的夹角θ很小，则有可明显看出，莫尔条纹有位移放大作用，放大倍数为1/θ当前第99页\共有126页\编于星期日\19点

当光栅1沿着光栅2刻线的垂直方向移动时，莫尔条纹将会沿着这两个光栅刻线夹角的平分线的平行方向移动，光栅每移动一个W，莫尔条纹也移动一个间距BH。

θ越小，BH越大，θ当小于1°以后，可使BH>>W，即莫尔现象具有使栅距放大的作用。读出莫尔条纹的数目比读光栅刻线的数目要方便得多。测量莫尔条纹移动数，就可获的微小位移量的大小。光栅具有位移放大作用，提高了测量灵敏度。例题8-8当前第100页\共有126页\编于星期日\19点

3)误差平均效应莫尔条纹由光栅的大量刻线形成，对线纹的刻划误差有平均作用，几条刻线的栅距误差或断裂对莫尔条纹的位置和形状影响甚微，从而提高了光栅传感器的测量精度。3．莫尔条纹的种类

1)长光栅的莫尔条纹

(1)横向莫尔条纹。两光栅的光栅栅距相等，即W=W1=W2，以夹角相交形成的莫尔条纹称为横向莫尔条纹。如图8.53(2)光闸莫尔条纹。两光栅的光栅栅距相等，栅线的夹角=0时，莫尔条纹宽度B趋于无穷大。两光栅相对移动时，对入射光就像闸门一样时启时闭，故称为光闸莫尔条纹。两光栅相对移动一个栅距，视场上的亮度明暗变化一次。当前第101页\共有126页\编于星期日\19点

(a)刻线对齐(b)错开W/4(c)错开W/2(d)错开3W/42)圆光栅的莫尔条纹

(1)径向光栅的莫尔条纹。在几何量的测量中，径向光栅主要使用两种莫尔条纹：圆弧形莫尔条纹和光闸莫尔条纹。当前第102页\共有126页\编于星期日\19点圆弧形莫尔条纹①圆弧形莫尔条纹。两块栅距角γ相同的径向光栅以不大的偏心叠合，在光栅的各个部分，栅线的夹角均不同，便形成了不同曲率半径的圆弧形莫尔条纹。②光闸莫尔条纹。两块栅距角相同的两块圆光栅同心叠合时，得到与长光栅中类似的光闸莫尔条纹。主光栅每转过一个栅距角，透光亮度就变化一个周期。当前第103页\共有126页\编于星期日\19点(2)切向光栅的莫尔条纹。两块切向相同、栅距角相同的切线光栅线面相对同心重合时，形成的莫尔条纹是以光栅中心为圆心的同心圆簇，称为环形莫尔条纹，如图所示。环形莫尔条纹的突出优点是具有全光栅的平均效应，因而用于高精度测量和圆光栅分度误差的检验。当前第104页\共有126页\编于星期日\19点

8.6.3光栅式传感器光栅式传感器有多种不同的光学系统，其中，比较常见的有透射式光栅传感器和反射式光栅传感器。1．透射式光栅传感器指示光栅不动，标尺光栅随工作台移动，工作台每移动一个栅距，莫尔条纹移过一个莫尔条纹间距，光电器件接收莫尔条纹当前第105页\共有126页\编于星期日\19点

移动时光强的变化，将光信号转换为电信号，输出电信号的幅值可用光栅位移量x的正弦函数表示，以电压输出而言有：式中：U0为输出信号中的平均直流分量，对应莫尔条纹的平均光强；Um为输出信号的幅值，对应莫尔条纹明暗的最大变化。将输出的电压信号经过放大、整形变为方波，经微分电路转换成脉冲信号，再经过辨向电路和可逆计数器计数，就可以数字形式实时地显示出位移量的大小。当前第106页\共有126页\编于星期日\19点

若指示光栅采用裂相光栅，一般由4个部分构成，每一部分的刻线间距与对应的标尺光栅完全相同，但各个部分之间在空间上依次错开的距离(n为整数)，若用光电器件分别接收裂相光栅4个部分的透射光，（或在相距W/4处放置4个光电器件）可以得到相位依次相差的4路信号如下：将4路信号中U1与U3、U2与U4分别相减，消除信号的直流电平，可得到两路相位差为90°的信号，然后将它们送入细分和辨向电路，即可实现对位移的测量。当前第107页\共有126页\编于星期日\19点当前第108页\共有126页\编于星期日\19点2．反射式光栅传感器如图所示，平行光以一定的角度射向裂相指示光栅，莫尔条纹是由标尺光栅的反射光与指示光栅作用形成，光电器件接收莫尔条纹的光强。反射式光栅传感器一般用在数控机床上，主光栅为金属光栅，它坚固耐用，而且线膨胀系数与机床基体的接近，能减小温度误差。当前第109页\共有126页\编于星期日\19点计量光栅辨向原理电路如图所示。光栅辨向原理图3．光栅测量辨向原理当前第110页\共有126页\编于星期日\19点4．细分技术

为了进一步提高光栅传感器分辨力，测量比栅距更小的位移量，在测量系统中往往采用细分技术。细分技术的基本思想是，在一个栅距即一个莫尔条纹信号变化周期内，发出n个脉冲，每个脉冲代表原来栅距的1/n，由于细分后计数脉冲频率提高了n倍，因此也称为n倍频。以电子四倍频细分为例来说明细分原理。

前述辨向原理中，在B/4的位置上安放了两个光电元件，得到两个相差/2的电压信号U01和U02(设为S和C)，将这两个信号整形、反相得到4个依次相差/2的电压信号0°(S)，90°(C)，180°()，270°()，将4个信号送入电路中，进行与、或逻辑运算。在正向移过一个光栅栅距时，可得到4个加计数脉冲；反向移过一个光栅栅距时，得到4个减计数脉冲，从而实现了四倍频细分。当前第111页\共有126页\编于星期日\19点

当前第112页\共有126页\编于星期日\19点

8.7光学编码器光学编码器是一种集光、机、电为一体的数字化检测装置，它具有分辨力高、精度高、结构简单、体积小、使用可靠、易于维护、性价比高等优点，近十多年来，已发展为一种成熟的多规格、高性能的系列工业化产品，在数控机床、机器人、雷达、光电经纬仪、地面指挥仪、高精度闭环调速系统、伺服系统等诸多领域中得到了广泛的应用。

按照工作原理编码器可分为增量式和绝对式两类。增量式编码器(简称增量编码器)是将位移转换成周期性的电信号，再把这个电信号转变成计数脉冲，用脉冲的个数表示位移的大小。绝对式编码器(简称绝对编码器)的每一个位置对应一个确定的数字码，因此它的示值只与测量的起始和终止位置有关，而与测量的中间过程无关。当前第113页\共有126页\编于星期日\19点光电码盘实物图

当前第114页\共有126页\编于星期日\19点

8.7.1绝对编码器

1．绝对编码器的码盘绝对编码器的码盘采用照相腐蚀工艺，在一块圆形光学玻璃上刻有透光与不透光的码形。