escan型扫描电子显微镜操作规程

Tescan3型扫描电子显微镜操作规程1、开机：打开N2阀门（1）开启并确认稳压电流：220v。（2）打开电镜主开关，由OFF位转向ON位，等待计算机完成启动。（3）如果进行元素分析，则先打开QUANTAX程序，后打开VEGA程序，确认用户、语言、密码，等待软件进入系统。（4）系统自动进行硬件、软件自检。（5）单击VEGA中的[PUMP]，抽真空开始。（6）待真空状态显示条由红变绿，真空度小于10^-5torr后，即真空达到要求，单击[HV]接通电镜高压，开始观察样品和照像。2、更换样品（1）单击[HV]，切断高压。（2）手动调节样品台，使其回到初始位置。（3）单击窗口中的[泄真空]，样品室放空，调节合适的N2流量进入，不能使N2流量太大，通常控制出口压力表在0.1刻度左右。（4）真空指示红条消失后，样品室恢复为大气压，打开样品室门，更换样品。（5）待更换好样品后，轻按样品室舱门，点击[Pump]抽真空，真空指示进度条变绿，真空度小于10^-5torr后，方可点击[HV]开启高压。（6）确认BSE探头已摇出。3、样品观察和物相、成分分析（1）根据样品特性，选择放大倍数、合适的电镜参数，如BI（束流）、工作距离WD和高压HV，确认高压值和发射电流，若无电流或高压，做adjustment》autogunheating（30kv（75±5）μA；纱20榨kv辰持(1奶00泽±5峡)责μA倚）滑，矛进行透观东察。神（2流）泻按照顶操作哗界面伯上抄软件容的各政种功寒能菜右单，琴进行搭调节胜、叠使或图像过清晰米度至熔最佳扑。雁（3翅）搬根据捉放大科倍数范，响选择贫合适贯的晕扫描俊速度两采集争图鹅像并骗存储拳（4永）如靠果对皱样品促进行烦成分舒分析作，焰应该慢将W该D调汤至降15厉mm核左右坐，手耻动调细节样闷品台执高度眨，直望至清拿晰为撤止（骑空载秀时，柳物镜委极靴框与样友品台雄的安鲜全高块度为包3m瞎m；饲当B言SE宪探头纸摇进戏时，鸽安全享高度壶为8斧mm劝）石。躺（5罪）遭在扫晕描窗颗口中慨，双谜击选加择所纸要测浇量的协小区炭域，糠调整耐BI突，检孩测计伤数率枝。还（6地）闯能谱揉分析拍时，端要课根据希样品萄性质仇，扩选择宴合适绸的电忌镜加槽速电谈压，倘设置猫采谱投时间杰，E镰DS米的时忍间常跨数，廉调整蜜束流市使亩能谱召计数微率馆CP稼S为成适当他值哀（一繁般，朴总数随率=鹅采样退时间拆*计收数率骗，总狭数率见的值陶大于键25锈万）亿。轨（7旦）E其DS缴的定约性分袜析，买不能伤完全敬依靠察自动野，要馅人为编参与臂，检江查结离果的棵正确淡性。牛4、柳关机狮（1济）惜在图参像中嘱，偷点击井鼠标背右键害，选拖菜单恨中的扣最小下化掌按钮贷，喉使S劲EM房回到扎最小四放大盒倍数高，盯BI贼调到推10书，样厅品愉台降僵至最锤低位舒置（致手动抛调节街），翁将B客SE莫探头姨摇出呀，撒然后妄再菊切断动高压俯按钮后。特稍开粥N阵2著阀，慌通入趴N其2址.汇（2努）集关闭重高压护大约皇3m认in处后，傲开始渴泄真分空，葬取出足样品善，裳单击令VE遵GA咳中的往[P绕UM算P]棵，伞抽真缘空开盟始顾，胆关闭倚VE集GA疼。小（给3偶）禽点击难用户卸界面薪的闯关闭过或文跌件菜箩单中俗的色sw蜜it辨ch迅o抛ff息a料nd魄e银xi碧t河，岔退出叫SE扬M操悬作界摊面针。陵（堂4弱）堵正常榆关闭瓦电脑爬主机供。胆（腥5颤）将分SE结M北主誉机下致方面抚板上育的开缓关洗，磁由O饺N转猾向O键FF典。屡（屋6你）关甚闭赤N签2术阀门餐。恼（婶7秩）拔垦下电事源插滩头。借5、牌安全妥操作冻注意施事项农（1子）进冤行观饭察的俯块状碧样品柄，必堡须有晕一定啦的尺国寸要师求，念必须拉干净拼，不炭能有筝油渍花或挥耍发性丘气体托放出烛，避运免污判染电市镜。绸（2肃）绿样品扭放置裂或移质动时劳，宋必须蛙确保金不会认碰触带各种惑探头迟。嫁（3税）调柿整试需样的渣工作炕距离是时，伪注意已报警枯器报咏警，痕防止贝碰触避物镜朽。择（4为）样衣品室嫩的真厌空虏达到口要求甩（1迁0^授-5绍to爷rr之）忌后，艇才栋可访加透灯丝馋高压耀。思（5画）操要作者扭不观乏察样武品或达离开壮岗位绕时，驱一定宣切断桃高压稳。咳（6浅）粗退出腰SE免M刑分析乓软件弊时，迟一定难使系层统真酬空达懂到要猴求，谱保持德绿条赶提示铅才关躺闭软舍件拆。狼（旱7偷）踏为防追止辽该套坝系统供电脑阁主胁机航受搁病毒能侵害奔，醒数据趣导出毅时，穗只能教使用序光盘皱或格努式化灿了的波U盘燃。爹（浆8亩）现粗粉弓体可凉以直迅接撒答在试犬样座面的双按面碳礼导电浆胶上尿，用慕干净蜓表面题平的读物体摆，例浇如玻贯璃板坑压紧唯，然浸后用驶洗耳堵球轻注轻吹财去粘积结不许牢固辉的颗悬粒。木细粉侄体可娱用无斤水乙菜醇分艺散于糖试样灾面座姜上，迹待液梁体烘猫干或洒自然吃干燥舰后，苗粉体幸靠表酿面吸工附力慌即可私粘附推在试熔样座张上。验用洗懂耳球卧轻轻爆吹去竭粘结您不牢直固的欺颗粒尽，样磨品量乱必须但少。照（9笼）关缩机前嗽确定右放大妖倍数剩最小介，B眉I值悟为1统0。践（1伙0）拨硬件兵方面歌：关率机前凭确认朴BS腹E探本头是责否摇挂出，镰样品史台降类到最乡低。萌（1质1）遍确认重BS当E探候头摇陆进时盟，逐睛步升殊高样轧品台征，防台止与扇物镜超碰撞丑。胆（1益2）第在焦证距调粘好的腔情况岗下，剑可用肢工作旷距离聋判断欢样品羽表面馅与物皇镜极挑靴的埋距离狗。梅（1匠3）式能谱坏的工豪作距缩离规俩定为晒15库mm丢左右之。东（1辉4）波进样志后就，使蹈样品贷位于滩扫描个窗口存正中乏间，刺放大振合适蹦倍数龄，右膛击窗泰口，搞自动扒调焦窄（倍锯数越掏大越送接近月实际嚼的工汽作距底离）算。均（1糟5）担高倍大数调扔焦距由，低疯倍数栽照图俗。鞠（1自6）夏要用侨导电待胶把脱小样奉品台配与固伍体样挎品导擦通，湿导电铃胶要址一次欺性使乱用。咽（1轨7）骂一般婶的能莫谱电微压设坏置为嫩20外kv果（衡复合地材料捎的能末谱电外压为恋10冤kv祝；狠水泥世、玻闹璃、磁氧化龟物、另矿石非、陶土瓷类除、盐稼类的贷能谱搁电压说为1乎5k受v；氧鉴定麻真假座峰的搅能谱柿电压泻为3驾0k紫v）场。雄（1想8）榜线扫衔时，鸽1击μ酱m很内至艺少有皇一个色点，些点数仔越密贫，获触得的腹曲线巷越平蠢滑。宰（1悼9）姻大视娘野模讽式圣和估背散手射不调需要恰调焦迈。眨（2包0）节au躲to液g宫un判h涂ea倍ti倘ng卷封灯丝厌饱和唉电流唇调整居；期au农to黎g税un晓c刺en额te第ri颠ng卸电抓子枪切的对歪准；戒au初to汇c拆ol拿um绪n滥ce经nt归er怨in蚊g浓镜筒唱的对袭准。厚胞（预21肤）B意SE泄显示辅的高埋低明袜暗图鞭像不佩是样早品外丈部形都貌，瞒而是强元素降差异政（原途子序浊数越位高，俯亮度悬越亮黄）；伯SE松显示竞的是馅样品部外部休形貌遵，与落元素辉成分监无关剑。帽（2黑2）盆能谱藏分析银时，备主体挪元素顾（占鸽总含疮量的乓10阳%以门上）暗的r政ea两l匹ti本me适为镜十几炉秒，烤次要烈元素裹（占钉总含荐量的桑0.锡5-三10苍%）脊为几策十秒例，微释量元事素（妇占总扒含量潮的0在.5日%以镰下）互为一锈百多淹秒。滴（2书3）宫非归子一化爱用来伐判断回结果浇的正钉确性芽（（跃10之0泄±眨5）端%为肆合适倒范围险）。舱（2翠4）逼SE全M的妹放大粪倍率勇大于匠10离00明0倍魂时，谦BI雁值小弦于1妥0，章反之灿，大织于1法0。盾SE幼M的浸最大争放大智倍率牵为1隐0万道倍。导（2括5）淹调整枪象散从时，难