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文档简介

AutoMode1，手指轻触屏幕（图一），进入Main 二），在“Main”模式下，点击“Operations”按钮。系统进入OperationsStatus.（图三）2，等待样品到达传送带上3，查看“Recipe”框，是否是你要选择的Recipe号码。按 “－”钮，可以选择您想要的Recipe按下方“SetRecipe修改请联系设备人员Graphic页面，并显示机台工作状态参数。5ChamberCycleChamber里充入空气，数秒Chamber内，如此循环。在过程中，您还可以根据自己的需要按“Stop”或“Pause”按钮，停止或暂停进程。（ManualMode） 在Main 输入×××，回车。系统就进入ManualMode. 3，用手动模式依次点击“Chamberup/down”=>“VacuumOn/Off”＝>“GasOn/Off”＝>“ smaOn/Off”＝>“Bleed并在每一步中的“Reads”钮，查看系统processvariables状况。

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