典型R：第章光固化快速成型SLA工艺

第2章光固化快速成型工艺快速成型与快速模具制造技术

及其应用

光固化快速成型工艺，也常被称为立体光刻成型，英文的名称为StereoLithography，简称SL或SLA（StereoLithographyApparatus），该工艺是由CharlesHull于1984年获得美国专利，是最早发展起来的快速成型技术。自从1988年3DSystems公司最早推出SLA商品化快速成型机SLA-250以来，SLA已成为目前世界上研究最深入、技术最成熟、应用最广泛的一种快速成型工艺方法。它以光敏树脂为原料，通过计算机控制紫外激光使其凝固成型。这种方法能简捷、全自动地制造出表面质量和尺寸精度较高、几何形状较复杂的原型。1光固化快速成型工艺的基本原理和特点2光固化快速成型材料及设备3光固化成型的工艺过程4光固化成型的精度及效率5微光固化快速成型制造技术35第2章光固化快速成型工艺图2-1光固化快速成型工艺原理液槽中盛满液态光敏树脂，氦－镉激光器或氩离子激光器发出的紫外激光束在控制系统的控制下按零件的各分层截面信息在光敏树脂表面进行逐点扫描，使被扫描区域的树脂薄层产生光聚合反应而固化，形成零件的一个薄层。一层固化完毕后，工作台下移一个层厚的距离，以使在原先固化好的树脂表面再敷上一层新的液态树脂，刮板将粘度较大的树脂液面刮平，然后进行下一层的扫描加工，新固化的一层牢固地粘结在前一层上，如此重复直至整个零件制造完毕，得到一个三维实体原型。2.1光固化成型的基本原理

2-1

光固化快速成型工艺的基本原理和特点

因为树脂材料的高粘性，在每层固化之后，液面很难在短时间内迅速流平，这将会影响实体的精度。采用刮板刮切后，所需数量的树脂便会被十分均匀地凃敷在上一叠层上，这样经过激光固化后可以得到较好的精度，使产品表面更加光滑和平整。图2-2光固化成型制造过程中残留的多余树脂2-1

光固化快速成型工艺的基本原理和特点图2-3吸附式涂层结构

吸附式涂层机构在刮板静止时，液态树脂在表面张力作用下，吸附槽中充满树脂。当刮板进行涂刮运动时，吸附槽中的树脂会均匀涂敷到已固化的树脂表面。此外，涂敷机构中的前刃和后刃可以很好地消除树脂表面因为工作台升降等产生的气泡。2-1

光固化快速成型工艺的基本原理和特点2.2光固化成型技术的特点

优点：成型过程自动化程度高SLA系统非常稳定，加工开始后，成型过程可以完全自动化，直至原型制作完成。尺寸精度高

SLA原型的尺寸精度可以达到±0.1mm。

优良的表面质量

虽然在每层固化时侧面及曲面可能出现台阶，但上表面仍可得到玻璃状的效果。可以制作结构十分复杂的模型、尺寸比较精细的模型可以直接制作面向熔模精密铸造的具有中空结构的消失型制作的原型可以一定程度地替代塑料件2-1

光固化快速成型工艺的基本原理和特点缺点：制件易变形成型过程中材料发生物理和化学变化较脆，易断裂性能尚不如常用的工业塑料设备运转及维护成本较高

液态树脂材料和激光器的价格较高使用的材料较少

目前可用的材料主要为感光性的液态树脂材料液态树脂有气味和毒性，并且需要避光保护，以防止提前发生聚合反应，选择时有局限性需要二次固化

经快速成型系统光固化后的原型树脂并未完全被激光固化。2-1

光固化快速成型工艺的基本原理和特点1光固化快速成型工艺的基本原理和特点2光固化快速成型材料及设备3光固化成型的工艺过程4光固化成型的精度及效率5微光固化快速成型制造技术35第2章光固化快速成型工艺2.2.1光固化快速成型材料1.光固化材料优点及分类

光固化材料是一种既古老又崭新的材料，与一般固化材料比较，光固化材料具有下列优点：

（1）固化快可在几秒钟内固化，可应用于要求立刻固化的场合。 （2）不需要加热这一点对于某些不能耐热的塑料、光学、电子零件来说十分有用。 （3）可配成无溶剂产品使用溶剂会涉及到许多环境问题和审批手续问题，因此每个工业部门都力图减少使用溶剂。（4）节省能量。各种光源的效率都高于烘箱。（5）可使用单组分，无配置问题，使用周期长。（6）可以实现自动化操作及固化，提高生产的自动化程度，从而提高生产效率和经济效益。2-2

光固化快速成型材料及设备用于光固化快速成型的材料为液态光固化树脂，或称液态光敏树脂。光固化树脂材料中主要包括齐聚物、反应性稀释剂及光引发剂。根据光引发剂的引发机理，光固化树脂可以分为三类：自由基光固化树脂、阳离子光固化树脂、混杂型光固化树脂。

(1)自由基光固化树脂主要有三类：①环氧树脂丙烯酸酯：该类材料聚合快、原型强度高但脆性大且易泛黄；②聚酯丙烯酸酯，该类材料流平性较好，固化质量也较好，成型制件的性能可调范围较大；③聚氨酯丙烯酸酯，该类材料生成的原型柔顺性和耐磨性好，但聚合速度慢。2-2

光固化快速成型材料及设备

(2)阳离子光固化树脂

主要成分为环氧化合物。用于光固化工艺的阳离子型齐聚物和活性稀释剂通常为环氧树脂和乙烯基醚。环氧树脂是最常用的阳离子型齐聚物，其优点如下：1）固化收缩小，预聚物环氧树脂的固化收缩率为2%~3%，而自由基光固化树脂的预聚物丙烯酸酯的固化收缩率为5%~7%。2）产品精度高。3）阳离子聚合物是活性聚合，在光熄灭后可继续引发聚合。4）氧气对自由基聚合有阻聚作用，而对阳离子树脂则无影响。5）粘度低。6）生坯件强度高。7）产品可以直接用于注塑模具。

2-2

光固化快速成型材料及设备

(3)混杂型光固化树脂

目前的趋势是使用混杂型光固化树脂。其优点主要有：1）环状聚合物进行阳离子开环聚合时，体积收缩很小甚至产生膨胀，而自由基体系总有明显的收缩。混杂型体系可以设计成无收缩的聚合物。2）当系统中有碱性杂质时，阳离子聚合的诱导期较长，而自由基聚合的诱导期较短，混杂型体系可以提供诱导期短而聚合速度稳定的聚合系统。3）在光照消失后阳离子仍可引发聚合，故混杂体系能克服光照消失后自由基迅速失活而使聚合终结的缺点。2-2

光固化快速成型材料及设备2.光敏树脂的组成及其光固化特性分析

（1）光敏树脂用于光固化快速成型的材料为液态光敏树脂，主要由齐聚物、光引发剂、稀释剂组成。

齐聚物是光敏树脂的主体，是一种含有不饱和官能团的基料，它的末端有可以聚合的活性基团，一旦有了活性种，就可以继续聚合长大，一经聚合，分子量上升极快，很快就可成为固体。

光引发剂是激发光敏树脂交联反应的特殊基团，当受到特定波长的光子作用时，会变成具有高度活性的自由基团，作用于基料的高分子聚合物，使其产生交联反应，由原来的线状聚合物变为网状聚合物，从而呈现为固态。光引发剂的性能决定了光敏树脂的固化程度和固化速度。2-2

光固化快速成型材料及设备3.光固化成型材料介绍

SLA技术用材料根据其工艺原理和原型制件的使用要求，要求其具有粘度低、流平快、固化速度快且收缩小、溶胀小、无毒副作用等性能特点。下面分别介绍Vantico公司、3DSystems公司以及DSM公司的光固化快速成型材料的性能、适用场合以及选择方案等。（1）Vantico公司的SL系列

下表给出了Vantico公司提供的光固化树脂在各种3DSystems公司光固化快速成型系统和原型不同的使用性能和要求情况下的光固化成型材料的选择方案。

2-2

光固化快速成型材料及设备2-2

光固化快速成型材料及设备2-杯2光固衣化快钞速成动型材沫料及着设备（2）忘3D精S库ys吹te肌ms甲公耀司的币Ac徒cu钢ra邮系列3D喘S团ys利te扁ms依公司孤的A基CC笛UR爹A系乱列光机固化爆成型鹊材料短主要哗有用敢于S脏LA穗V指ip旬er杯s犬i2限、S钟LA肥35遗00业、S卵LA贵50买00独和S始LA攻70骑00抖系统劝的A退CC趋UG甲ENTM、A蹄CC挣UD卖URTM、S闯I1悲0、愉SI脱20境、S授I3屯0、腥SI模40勇N孙d系受列型组号和竹用于暗SL激A2齿50庸、S巩LA早50且0系驾统的吧SI炉40啊H蛋c奴&简AR嘴型号蔑等。其中寺，A以CC象UG唉ENTM材料扑在进择行SL测A技术禁光固稍化后携，其被原型秆制件烦具有仰较高字的精妻度和枣强度键、较耍好的君耐湿坚性等策良好课的综竞合性灿能。睡A藏CC主UG塞ENTM材料钞的成踏型速还度也徒较快升，且钉原型字制件功的稳钩定性呈也好宗。部分李3D严S务ys显te爱ms猜公诱司的燃AC智CU焰RA尽系列大材料要的性生能如乐下表鞋所示转。2-柴2光固械化快能速成战型材泻料及选设备2-司2光固险化快撞速成芹型材香料及绣设备（3陆）3霜D争Sy浩st夺em撇s叠公司小的R妙en溪Sh丸ap涨e系膏列3D伪S往ys初te他ms晋公司堤研制键的Re遗nS孙ha甘pe冤78胞00树脂妖主要盼面向虹成型沾精确础及耐疲久性渗要求酒较高胞的光雨固化玻快速果原型净，在抓潮湿孩环境并中尺仗寸稳赞定性捡和强守度持而久性印较好略，粘惠度较偏低，疗易于朴层间末涂覆挂及后怠处理掌时粘取附的殃表层姐液态渐树脂伙的流拿干，姨适用灭于高书质量勾的熔客模铸骄造的抬母模右、概己念模慎型、陕功能邻模型温及一绵般用饲途的黑制件逮等。Re膨nS漆ha锋pe微78租10树脂僵与R揭en你Sh锹ap眠e7惧80莲0树挠脂的情用途暮类似垃，制班作的墙模型极性能仙类似梨于A蓝BS也，用稿于制腰作尺番寸稳粒定性贵较好笼的高荣精度高高强金度模播型，望适于卫真空躲注型悔模具统的母非模、抬概念嫂模型跑、功惭能模植型及却一般刻用途促的制以件等餐。Re焦nS搏ha趁pe晶78拨20树脂忘固化翻后的觉模型暂颜色幼为黑造色，绝适于雨制作搜消费括品包敞装、记电子请产品址外壳洒及玩喊具等教。Re袖nS兵ha急pe爆78果40树脂升固化柔后的残模型江呈象医牙白环色，枕性能港类P婚P塑续料，惭具有艇较好膜的延桥展性野及柔科韧性杏，适愿于尺阀寸较舟大的优概念季模型象。Re助nS贪ha额pe后78调70树脂瞧制作灭的模客型强敢度与需耐久魂性都饲较好票，透溉明性痕优异债，适段于高载质量永的熔锁模铸览造的芬母模慢、大将尺寸罢物理炕性能赖与力萌学性例能都考较好辛的透弓明模川型或国制件签的制次作等锹。上述鞋3D谋S敏ys毫te伶ms拖公惑司的绒Re隆nS诉ha昌pe展系列盟材料秧的性亿能如申下表唤所示荒。2-这2光固快化快的速成险型材肺料及嘱设备2-才2光固肤化快楚速成踪蝶型材毕料及返设备（4机）D损SM截公司无的S浙OM论OS通系列DS查M公言司的直SO养MO区S系抓列环针氧树羡脂主素要是尚面向指光固灯化快误速成扮型开恭发的秋系列变材料孙，部贫分型晕号的扒性能犁及主迷要指寒标如池下表晕所示帐。2-流2光固饺化快翼速成怠型材院料及煮设备2.乐2.陡2冠光固龟化快胁速成雪型设宗备20晒世纪才70并年代大末到绝80当年代咸初期平，美此国3慰M公您司的爷Al魂an昂J计.穴He涌be聋rt般(1科97滩8)勇、日专本的辱小玉尸秀男飞(1鸽98残0)梢、美掠国U按VP筛公司狗的C衣ha筋rl宅es绳W随.屈Hu盛ll晨(1俗98榨2)口和日航本的爽丸谷绒洋二停(1失98社3)戒，在净不同善的地待点各倚自独币立地辨提出逐了R赢P的扁概念视，即利放用连剖续层申的选判区固色化产活生三呆维实享体的捉新思舒想。Ch钩ar川le跑s屯Hu揉ll怪在U统VP落的继刘续支偏持下皂，完恋成了膜一个劳能自线动建肺造零这件的蚀称之破为S柿LA洒-1铸的完祝整系寒统。同年桨，C乘ha捷rl砖es蝴H青ul广l和习UV网P的岁股东当们一对起建看立了3D抗S其ys顺te贤ms公司登，并仔于1披98腾8年脂首次晃推出SL谁A-斑25贺0机型。图2森-53D紧S和ys末te丙ms随公司牙的S胸LA张-2到50盲机型2-洽2光固夹化快闪速成杨型材肺料及劳设备目前策，研酱究光雷固化鼻成型龄（S舟LA钻）设阁备的作单位缝有美国倡的3蛙D荣Sy僚st挺em烧s公扮司、Aa之ro炒fl私ex油公司蛛，德国岗的E图OS迁公司、F等&S萍公司虫，法工国的句La读se替r昼3D副公司体，日本单的S夜ON熄Y/伴D-磁ME窝C公廊司、T鼠ei薪ji俊n竹Se银ik歇i公忆司、育De少nk瘦en馒E乘ng番ie橡er显in营g公肠司、蛮Me沟ik惹o公定司、脆Un分ip荒id搭公司柱、C彻ME禁T公丛司，以色咏列的枕Cu染bi碎ta躺l公烘司以及衰国内外的西安从交通狸大学、上海惑联泰耻科技弯有限句公司、华中黑科技盛大学等。在上秩述研蛛究S坡LA良设备资的众铜多公刺司中辨，美爷国3软D佛Sy站st屋em司s公留司的特SL狐A技优术在慕国际盾市场脑上占丧的比咸例最僵大。3D雷S独ys饮te刺ms岭公司绩在继鼓19颜88缺年推络出第警一台叙商品取化设澡备S穴LA适-2蹦50等以来跟，又于泄19门97棒年推烂出了秘SL闯A2鞠50腐HR不、S步LA姿35准00驳、S属LA谱50兆00何三种鲁机型国，在桶光固黑化成壁型设辣备技弃术方户面有论了长创足的屿进步菊。其所中，芝SL解A3半50芽0和但SL押A5狐00捡0使顶用半拔导体灿激励零的固险体激焦光器匙，扫准描速咱度分仗别达闹到2在.5壮4m锻/s登ec芽和5炮m/刷se且c，鬼成层映厚最弦小可么达0游.0吴5m粉m。2-薄2光固灯化快侨速成忠型材撑料及耍设备图2降-63D忠S钳ys咏te以ms笔公司丈的SL领A-恼35纲00机型图2泡-73D芽S疲ys枝te图ms稠公司拦的SL混A-链50秋00机型2-吴2光固题化快羡速成害型材至料及疮设备图2怒-83D姻S贡ys滤te珠ms施公司浸的SL葱A-铜70米00机型图2抽-9率3D左S丝式ys钟te葱ms德公司术的Vi膏pe惑rs拣i2坡SL敢A机型2-悠2光固御化快届速成渠型材岸料及言设备图2塞-10举3最D兔Sy后st蓝em建s公某司的Vi谦pe摊r挂Pr冲o搭SL牌A机型2-陕2光固倡化快息速成转型材息料及冬设备国内饲西安皆交通复大学仓在光会固化逼成型备技术聪、设盒备、规材料够等方葱面进检行了洞大量跳的研朝究工祸作，煎推出厘了自佳行研恨制与墨开发掠的S矿PS罗、L写PS危、和捆CP益S三煮种机击型，苹每种响机型害有不霉同的乒规格唤系列遭，其鸡工作定原理系都是青光固粘化成塔型原谜理。图2-11SP蛛S6心00成型组机图2仆-12LP辨S6泊00成型冈机2-层2光固值化快宅速成窄型材员料及剥设备上海赴联泰鸣科技想有限总公司接开发贤的光之固化谱成型显设备心主要果有R乖S-顿35遇0H们、R楼S-称35庸0S半、R害S-盘60虹0H嗓和R恢S-梨60苍0S朝等机识型。图2-13RS尾-6迷00愧S光固哈化成男型机2-仿2光固从化快蛾速成岭型材使料及染设备2-样2光固场化快斤速成耍型材赖料及席设备2-使2光固案化快更速成结型材意料及课设备1光固订化快垮速成语型工窑艺的括基本控原理询和特亩点2光固妖化快用速成地型材炉料及幕设备3光固料化成溪型的州工艺橡过程4光固妹化成要型的凯精度惭及效绞率5微光欠固化设快速娱成型夫制造樱技术35第2章疮光固酒化快绸速成级型工节艺光固革化快艺速原升型的敲制作挽一般敲可以迅分为前处蛋理、原型枣制作和后处起理三个另阶段凉。1.要前处表理前处圾理阶宗段主归要是掌对原线型的CA旁D模扔型进行数据酬转换、摆放帖方位滴确定、施加祖支撑和切片邻分层，实僻际上灯就是脊为原势型的钥制作滴准备我数据待。下覆面以蝴某一豪小扳添手的瞎制作否来介糊绍光梅固化味原型区制作骑的前野处理早过程汽。2-前3光固衣化成谊型工啊艺的窝工艺运过程（1肆）C奸AD爱三维闷造型三维既实体杆造型龙是C慨AD微模型者的最阴好表陆示，翠也是针快速元原型孩制作股必须化的原湾始数液据源氏。没驼有C第AD另三维旁数字闷模型壶，就徒无法侧驱动励模型刃的快亮速原探型制邻作。纹CA兆D模拢型的呆三维义造型斯可以周在U菊G、侵Pr蠢o/恼E、责Ca绘ti央a等栽大型方CA广D软抗件以朽及许贤多小早型的议CA环D软花件上底实现希，图消2-荐14鸦a给浩出的陆是小描扳手笔在U通G寨NX鼓2.豆0上吐的三犬维造允型。a)炕C铜AD陶三维埋原始摧模型2-毫3光固善化成托型工技艺的律工艺增过程（2型）数轮据转启换数据莫转换筒是对舍产品积CA现D模浑型的差近似馅处理贪，主但要是烫生成傻ST脱L格塘式的见数据书文件丙。S泉TL熊数据诵处理对实际初上就局是采术用若躬干小以三角丘形片循来逼阿近模核型的静外表榨面，航如图锣2-私14雨b所抵示。爆这一矛阶段弄需要斩注意便的是焦ST党L文款件生赚成的绕精度软控制着。目边前，砍通用冷的C永AD搭三维巴设计弟软件饼系统纵都有糟ST秃L数革据的辅输出驾。b)惠C覆AD手模型筒的S廊TL庸数据封模型2-兔3光固潜化成符型工框艺的弦工艺滴过程（3妄）确惹定摆乐放方暖位摆放唉方位吊的处忆理是递十分抱重要舞的，不但假影响秃着制差作时值间和指效率道，更死影响害着后妈续支括撑的慈施加忘以及晌原型由的表抽面质雪量等，因疑此，伤摆放青方位榨的确臂定需扩要综炭合考击虑上谊述各搬种因炎素。一般崭情况酷下，习从缩奶短原鸣型制爷作时牌间和挎提高衬制作拣效率圾来看杨，应怜该选随择尺兔寸最剪小的痕方向狐作为竿叠层尸方向早。但婶是，有有时细为了输提高浓原型达制作筑质量领以及劲提高冻某些吉关键腥尺寸夺和形搜状的虫精度酒，需淹要将反最大陶的尺脸寸方胸向作姥为叠剃层方唱向摆肢放。搜有时秀为了球减少砌支撑动量，兼以节陈省材叼料及谢方便横后处逼理，哥也经呈常采舒用倾日斜摆大放。确定绝摆放柴方位绳以及边后续义的施赵加支狂撑和造切片袭处理遥等都办是在抬分层杯软件个系统墨上实业现。对于厉上述摄的小青扳手惠，由突于其爷尺寸垒较小禁，为另了保魂证轴叛部外友径尺付寸以笨及轴装部内望孔尺箭寸的菠精度啄，选过择直呈立摆毛放，如图溜2-找14钻c所总示。同时垫考虑疑到尽焦可能惧减小幅支撑翻的批笑次，咬大端妨朝下样摆放情。2-嫌3光固陶化成云型工攻艺的手工艺桌过程（4屋）施修加支乱撑摆放李方位孙确定目后，荐便可债以进躬行支呢撑的雕施加滩了。沙施加世支撑相是光象固化看快速贫原型扇制作举前处矿理阶店段的飞重要乔工作示。对雄于结蠢构复络杂的售数据母模型号，支株撑的万施加凡是费娱时而猴精细琴的。支撑惠施加津的好棋坏直旁接影略响着目原型反制作鹿的成翼功与露否及尘制作绒的质贯量。窑支撑亩施加产可以葵手工气进行兔，也价可以剪软件闪自动戏实现衡。软件苗自动箱实现掏的支枪撑施黑加一圾般都溪要经险过人乒工的犁核查沫，进蓝行必痰要的唉修改绝和删倡减。彻为了质便于秀在后卖续处周理中拔支撑档的去样除及需获得斜优良闭的表膝面质舅量，目前健，比蚁较先损进的倦支撑荡类型辩为点消支撑杂，即配在支径撑与肆需要诱支撑演的模脂型面划是点畏接触鬼，图2谋-1途4d隔示意俭的支历撑结烦构就尸是点胃支撑肺。2-掘3光固萌化成允型工王艺的趣工艺蜓过程a)摸C蚂AD贫三维律原始厅模型b)同C曾AD匆模型燃的S低TL屈数据目模型光固化载快速晕原型来前处恳理c)撑模益型的清摆放乘方位d)击模索型施鲜加支核撑图2-1慈4模型支撑工作腾台模型工作笛台支撑使在快陕速成产型制侍作中跪是与罗原型焰同时循制作厘的，支撑史结构饭除了诊确保佩原型对的每并一结偿构部赴分都贴能可浅靠固梨定之衰外，互还有脊助于福减少面原型债在制键作过温程中雹发生墨的翘竿曲变首形。从源图2闹-1摔5还境可见哥，在淡原型鹊的底电部也结设计巨和制幻玉作了阻支撑薄结构阔，这冻是为月了成虽型完觉毕后短能方键便地脂从工舟作台阵上取朴下原忆型，掩而不手会使矛原型贩损坏坟。成衬型过虑程完于成后冬，应陪小心气地除弱去上疾述支狭撑结到构，停从而群得到优最终缺所需堵的原晌型。图2子-15支撑勇结构络示意攻图2-认3光固凭化成恨型工妨艺的忍工艺题过程支撑太结构必的作吩用和许类型砖：作用耽：支撑幕作用镇和减狗少翘担曲变唇形。类型含：斜支退撑主要恰用于屑支撑辨悬臂罪结构划部分笼，在柴成型壶过程侧中为启悬臂阅提供愁支承扫，同皆时也毕约束笨悬臂插的翘贴曲变岁形。主要费用于阔支承挎腿部焦结构直支春撑2-洗3光固蓬化成到型工帖艺的品工艺钉过程支撑秒结构现的作绳用和快类型烟：作用扬：支撑栽作用圈和减转少翘株曲变阶形。类型队：十字笑壁板主要堵用于稼孤立侵结构另部分语的支损撑。腹板主要炮用于晃大面析积的老内部通支承历。2-资3光固么化成面型工宝艺的哲工艺繁过程（5识）切搅片分唇层支撑览施加贿完毕悔后，文根据毁设备征系统洁设定因的分那层厚涝度沿津着高延度方粘向进居行切搏片，躲生成它RP梢系统再需求踢的S酬LC目格式游的层香片数廉据文钟件，扔提供瓶给光标固化则快速旱原型懂制作拣系统浸，进老行原下型制感作。图2饺-17某手哄柄的苦光固亩化快贸速原盖型2-的3光固祖化成理型工振艺的借工艺垃过程2.乘原型老制作光固斧化成撑型过犬程是副在专拜用的光光固烈化快估速成肢型设狗备系初统上腿进行屿。在南原型津制作趋前，猜需要樱提前逝启动获光固伞化快疫速成恳型设恳备系掉统，临使得连树脂贼材料遍的温流度达样到预须设的凯合理览温度王，激贷光器罩点燃播后也份需要百一定大的稳游定时花间。设备送运转敲正常贞后，克启动卫原型屈制作便控制蜘软件硬，读哲入前条处理看生成毕的层鼻片数丝式据文敲件。在模鲁型制汽作之鸟前，病要注魄意调肆整工跌作台孕网板配的零愁位与住树脂顺液面准的位唐置关药系，见以确施保支澡撑与栋工作慌台网投板的址稳固抽连接顽。当一全切准五备就秤绪后摩，就浊可以季启动料叠层威制作知了。饶整个堡叠层盏的光忌固化正过程的都是跪在软齐件系婆统的池控制糊下自赠动完溪成的冷，所类有叠贪层制鸦作完蔑毕后含，系焦统自拨动停脖止。2-碗3光固浸化成己型工谁艺的胳工艺胳过程图2洪-18潮SP办S6页00光固舒化成渗型设庭备控离制软米件界榜面原型点叠层洋制作惕结束垃后，甘工作监台升衰出液优面，补停留黄5~步10幕mi遥n，相以晾脆干多刃余的宵树脂掠。将原截型和净工作柱台一沟起斜强放晾届干后衰浸入侄丙酮煤、酒缴精等竭清洗歌液体抹中，音搅动踢并刷么掉残息留的贷气泡辱。持粗续4困5m雀in牛左右震后放悲入水冶池中豪清洗猴工作吃台约蚂5m息in志。123.犹后处棋理2-切3光固闲化成项型工业艺的咸工艺尤过程从外眉向内钻从工辱作台称上取和下原躁型，踩并去侍除支步撑结戚构。再次没清洗丢后置衫于紫赏外烘疯箱中恼进行希整体菜后固腊化。342-师3光固粥化成陵型工赏艺的夹工艺固过程1光固冤化快超速成冶型工层艺的圈基本胶原理尊和特胳点2光固裤化快汗速成遭型材挎料及妻设备3光固属化成词型的丑工艺孙过程4光固顿化成笛型的冈精度找及效晨率5微光背固化办快速千成型劈燕制造惊技术35第2章治光固秀化快仅速成万型工终艺2.否4.膏1吼光固铜化成粥型中架树脂兼收缩扶变形树脂羽在固骑化过炭程中结都会渣发生扩收缩梢，通华常其体收类缩率抵约为兰10申%，雀线收黎缩率报约为章3%葬。树脂圈收缩材主要夺有两淹部分券组成伟：一忧部分是固地化收晴缩，另外膜一部蓬分是当霉激光繁扫描细到液涂体树宪脂表励面时照由于树温度造变化轨引起察的热防胀冷粪缩。（1厉）零塔件成省型过钉程中史树脂吗收缩单产生凤的变择形（2抗）后茎固化弱时收避缩产应生的患变形后固籍化收惧缩量查占总降收缩抢量的问25做%～浴40匪%左跪右。2-早4光固隆化成愁型的窝精度勒及效武率2.事4.短2驱光荡固化闸快速啊成型活的精抛度光固辽化成饮型的悬精度蝇一直慢是设浓备研械制和荒用户绍制作挺原型叹过程敬中密痕切关吉注的掩问题善与持科续需历要解东决的谨难题薄。控司制原瞧型的挣翘曲阿变形叮和提芹高原博型的衬尺寸萝精度府及表缩慧面精徐度一山直是玩研究凳领域衔的核敞心问谢题之驱一。原型详的精岩度一候般包趁括形状辟精度晋、尺夏寸精屯度和表面怨精度，即段光固申化成阅型件总在形如状、博尺寸咽和表炕面相睛互位芒置三劣个方膝面与穷设计介要求雅的符炒合程摇度。爱形状袄误差粥主要戚有：貌翘曲炒、扭蜘曲变训形、按椭圆榜度误歼差及代局部线缺陷辛等；喝尺寸户误差左是指萄成型宣件与驳CA仁D模殊型相分比，良在x袜、y勉、z过三个庙方向饥上尺吨寸相贝差值您；表言面精研度主霸要包更括由据叠层伶累加班产生绣的台偶阶误肃差及惯表面魂粗糙助度等青。2-冰4光固求化成桥型的燃精度柳及效育率影响暂光固怪化原笼型精毙度的佩因素提很多桑，包零括成肉型前员和成漏型过纳程中鲁的数呆据处膀理、汉成型蹦过程滚中光目敏树齐脂的善固化骑收缩犹、光论学系创统及绘激光断扫描熟方式槽等。路按照客成型闹机的唤成型升工艺军过程反，可堆以将特产生聚成型栋误差烤的因澡素按政下图尝所示矿分类或。图2寸-2华0皂光固伟化成左型误锡差2-面4光固殊化成椒型的竹精度贝及效乏率1.引几何貌数据币处理施造成坦的误痕差在成俩型过坚程开冲始前垃，必川须对挂实体限的三葬维C钻AD善模型近进行除ST位L格湾式化迟及切商片分刑层处严理，匆以便饭得到坡加工品所需晶的一系月列的毛截面世轮廓瓣信息，在勿进行临数据摸处理书时会义带来铸误差唉。如帜图2梯-2佛2所届示。措施幅（1颗）：隐直接常切片为减稳小几靠何数侮据处表理造患成的扭误差搞，较戒好的寄办法酬是开尤发对喂CA毅D实兽体模习型进岩行直亮接分悬层的级方法雅，在哗商用今软件预中，霸Pr受o/戴En缴gi详ne大er吴具有摄直接升分层短的功翠能，寇如图村2-具23遗所示乎。图2亭-22弦差煎导致贺截面棋轮廓境线误辨差图2绝-23丢Pr登o/邮E对实会体的陷三维CA阿D模掩型直浙接分凭层2-齐4光固讲化成杨型的推精度凯及效绿率措施等（2而）：翻自适膛应分淋层切层瓶的厚腿度直铺接影辰响成肉型件柜的表净面光税洁度徒。因翅此，倡必须恐仔细宽选择冠切层某厚度雾，有杆关学插者采艳用不旨同算狗法进匠行了骑自适始应分朵层方溪法的汇研究缩慧，即在荡分层徒方向早上，丛根据急零件肝轮廓炎的表客面形怒状，献自动茎地改魄变分豪层厚猴度，缠以满剩足零培件表鹿面精壮度的届要求厚，当垒零件鼠表面翻倾斜她度较沾大时利选取忆较小看的分骑层厚胸度，粪以提逐高原育型的解成形摊精度衣；反懒之则交选取欲较大占的分犯层厚道度，垮以提竹高加牧工效越率，如酒图2屯-2求5所评示。图2绘-25自适县应分兴层2-温4光固泰化成稼型的仔精度威及效若率2.扒成型穿过程粮中材刺料的予固化沃收缩预引起立的翘印曲变键形光固昨化成灭型工辰艺中谁，液倦态光屯敏树争脂在涉固化伶过程抓中都桂会发觉生收笛缩，萝收缩肺会在津工件呼内产维生内犬应力模，沿穗层厚路从正搞在固沟化的挑层表内面向皂下，概随固洒化程惕度不附同，没层内筒应力雨呈梯浓度分炉布。劲在层胡与层害之间正，新杀固化刷层收皮缩时镰要受屑到层摧间粘栗合力写限制见。层铅内应臂力和区层间栽应力摸的合院力作桌用致抢使工增件产却生翘核曲变塔形。措施极：（1蜓）成孤型工爱艺的竟改进（2啦）树浴脂配轧方的灶改进2-伞4光固不化成沙型的剥精度某及效落率3.宵树脂细涂层陆厚度腐对精尽度的笔影响在成拒型过贪程中嚼要保悔证每羽一层蔬铺涂蚀的树古脂厚瓦度一役致，谋当聚船合深些度小贵于层焰厚时薄，层柜与层父之间身将粘而合不镇好，唉甚至凑会发武生分够层；疗如果肆聚合登深度窝大于为层厚耕时，瓦将引觉起过犯固化懒，而村产生稍较大杀的残斥余应忍力，异引起哭翘曲朗变形悟，影好响成垄型精丧度。物在扫罪描面险积相遍等的方条件达下，胸固化跟层越钻厚，浙则固堆化的貌体积颗越大冬，层请间产芹生的磨应力辆就越得大，关故而我为了科减小晌层间伤应力合，就橡应该踢尽可熔能地易减小滴单层轧固化边深度贪，以演减小贱固化潮体积完。措施浓：（1）二次侵曝光指法—掘多次傍反复动曝光闭后的幼固化哄深度缓与以雾多次洋曝光给量之着和进毕行一消次曝秆光的挠固化顺深度匆是等急效的宅。（2）减怕小涂布层厚笨度，葱提高Z向的傲运动雹精度月。第4节在光胞固化烟成型象的精必度及茅效率4.暑光检学系敢统对能成型棒精度见的影供响在光耀固化密成型殊过程念中，闲成型哗用的无光点松是一稍个具触有一六定直幸径的译光斑效，因挪此实询际得舒到的略制件命是光棒斑运串行路胀径上雄一系没列固兽化点闲的包福络线潮形状推。如周果光蛾斑直听径过讯大，轻有时佩会丢泽失较希小尺付寸的倦零件苹细微测特征独，如晒在进状行轮得廓拐腿角扫穴描时抚，拐由角特菊征很罚难成众型出分来，腰如图拥2-特26僵所示努。聚凉焦到于液面捡的光方斑直涉径大屈小以之及光幅斑形扮状会普直接彻影响见加工先分辨痕率和失成型匀精度吹。图2-睁26轮廓拌拐角技处的图扫描2-震4光固头化成萌型的亡精度叙及效晨率措施简（1碌）：侧光路粪校正在S装LA硬系统登中，顾扫描厨器件谁采用战双振梳镜模窄块(凡图2浅-2围7中鼓a和肃b)蚀，设猪置在蓝激光巧束的志汇聚怀光路港中，哑由于意双振易镜在模光路冻中前膜后布今置的蜂结构值特点俯，造日成扫测描轨讲迹在办x轴甲向的养“枕否形”任畸变秘，当撑扫描幸一方较形图痰形时罗，扫照描轨梁迹并刻非一参个标质准的筛方形虑，而祥是出细现图持2-果28腿中的种“枕预形”狠畸变族。“枕兵形”馅畸变答可以蠢通过取软件顺校正丈。图2偷-28枕形抬畸变饭示意鲜图图2仔-27振镜拆扫描迎系统奴原理鄙结构杯图2-瞒4光固亚化成场型的内精度昨及效项率措施估（2馅）：贩光斑尽校正双振黎镜扫盏描的犯另一遣个缺乘陷是渗，光谋斑扫习描轨依迹构伍成的倍像场洞是球联面，惹与工添作面灭不重可合，垫产生杨聚焦谅误差祥或z仗轴误口差。张聚焦毒误差肺可以问通过午动态听聚焦钱模块密得到苹校正屯，动馋态聚诉焦模似块可谷在振抹镜扫神描过拨程中把同步背改变难模块盈焦距熄，调村整焦闭距位仗置，御实现涝z轴殖方向嫁扫描蹲，与解双振肆镜构鉴成一绘个三最维扫挡描系芹统。盏聚焦袋误差博也可超以用炊透镜宋前扫侵描和鞋ƒθ响透镜耽进行销校正密，扫煌描器福位于挤透镜她之前治，激巷光束凯扫描驰后射级在聚乎焦透贡镜的桌不同傲部位屡，并松在其夹焦平器面上孟形成啊直线盼轨迹愚与工拐作平婶面重剑合,救如图障2-竹29所示跟。这鞠样可基以保唤证激相光聚棚焦焦抄点在撇光敏吗树脂只液面载上，旨使达沾到光丝式敏树萝脂液递面的枝激光方光斑猴直径交小，语且光玩斑大炕小不重变。图2导-29fθ透镜岂扫描2-押4光固糟化成必型的歉精度惠及效肌率5.闹激玩光扫站描方微式对盗成型溜精度卷的影燥响扫描烤方式叹与成旬型工加件的兽内应尺力有境密切斩关系孝，合戏适的矮扫描提方式伟可减侮少零苏件的肯收缩寒量，抢避免棉翘曲警和扭栏曲变纪形，堪提高怖成型惊精度唤。SL餐A工贴艺成登形时甚多采枣用方饼向平毙行路凳径进内行实朵体填湿充，慕即每兼一段塞填充都路径影均互嚼相平豪行，蒙在边编界线旗内往喷复扫织描进控行填瞧充，懂也称兰为Z哥字形辽（Z盟ig询-Z拳ag伙）或于光栅对式扫育描方放式，顶如图轨2-依30休a所毛示。2-堪4光固外化成疗型的柱精度声及效僚率a)件顺仅序往蛾复扫隙描缘瑞b)童分区抵域往傲复扫匹描图2境-30轮Z字形就扫描工方式图2虎-3卷0b图中采泡用分闷区扫辱描方刑式，折在各爽个区单域内拔采用匪连贯街的Zi悼g-晨Za俱g扫目描方纪式，激殃光器苍扫描侦至边弃界即弦回折健反向毛填充狂同一牧区域砖，并票不跨丝式越型饿腔部内分；铲只有跨从一率个区扮域转绳移到蚕另外楚一个戏区域私时，格才快穿速跨腥越。洗这种吗扫描余方式育可以省去刺激光堤开关驶，提钉高成末型效乞率，并巷且由超于采劲用分快区后揉分散弓了收科缩应度力，减小浆了收拜缩变既形，洗提高渡了成虽型精应度。光栅迅式扫替描又筛可分冷为长弹光栅谜式扫漂描和济短光贡栅式观扫描顷。应侍用模些拟和拥试验蒸的方念法扫农描加徒工悬骡臂梁鸭，结朋果表孙明与施长光呜栅式络扫描砌相比溪较采用初短光搏栅式酸扫描叹更能歉减小昼扭曲亮变形。采找用跳丈跃光脖栅式逐扫描刊方式喉（如背图2乘-3角1所咬示）饶能有亡效的尺提高允成型步精度铃，因晋为跳野跃光而栅式棍扫描缴方式音可以懒使已亏固化籍区域夜有更舅多的捡冷却拖时间仓，从卧而减竭小了姜热应私力。a)遥跳敬跃长聋光栅遥式扫字描方莫式戒b)动跳跃石短光滔栅式渡扫描财方式图2学-31跳跃垦光栅凶式扫温描方戏式2-勉4光固触化成揪型的治精度凉及效役率对扫翅描方逆式的欢研究趟表明柴，在对眨平板温类零雨件进末行扫企描时猎易采止用螺告旋式趴扫描坐方式（如勺图2额-3源2所吃示）鸣，且从外盈向内迎的扫彩描方捧式比爪从内疤向外赛的扫帖描方姿式加唱工生滩产的劫零件圣精度限高。b)稻跳跃叫短光百栅式密扫描盆方式图2悔-32螺旋谊式扫害描方物式a)稻跳距跃长锈光栅忘式扫叠描方碗式2-铃4光固漆化成痛型的益精度抽及效赤率6.况光驼斑直搏径大艳小对秘成型朵尺寸冲的影握响在光悲固化雹成型查中，澡圆形珠光斑馆有一总定直叼径，近固化止的线吗宽等什于在埋该扫懂描速受度下暗实际怀光斑芒直径支大小桨。如大果不乎采用拜补偿插，光惕斑扫腥描路佩径如艰图2慌-3燃3a便所示贫。成型轿的零典件实惭体部损分外煤轮廓共周边克尺寸恋大了道一个武光斑骑半径过，而挺内轮锅廓周副边尺探寸小盾了一息个光价斑半蚊径，幕结果泪导致道零件纱的实蛾体尺博寸大泥了一炼个光冲斑直扣径，使厚零件别出现酷正偏葵差。为了慨减小枝或消摆除实扛体尺糖寸的荷正偏四差，娃通常插采用顾光斑融补偿慌方法兵，使汁光斑船扫描麻路径叔向实迁体内钱部缩溉进一惨个光上斑半启径，如破图2兴-3王3b啄所示湿。从片理论幕上说氧，光到斑扫机描按成照向色实体丧内部尺缩进抢一个胖光斑许半径泉的路岭径扫歪描，寄所得奏零件脱的长批度尺掏寸误责差为准零。a)依未采笼用光说斑补禽偿时酒的扫奶描路烛径奸b曾)采痒用光仍斑补氏偿时搭的扫末描路膨径图2缸-33光斑绑尺寸物及扫秋描路撇径对输制件裤轮廓暴尺寸什的影蝴响2-准4光固职化成屋型的训精度互及效场率4.尾3盾光译固化奥成型利的制已作效工率1.疯影响采制作戚时间昌的因猜素光固扇化成乱形零吧件是洲由固途化层身逐层惕累加音形成乱的，猫成形牺所需史要的椅总时鬼间由扫描刺固化存时间及辅助倚时间组成乳，可先表示娱为：成形鞠过程敞中，怒每层农零件该的辅潜助时踏间tp与固结化时缓间tci的比黄值反筝映了酱成形具设备勾的利浴用率完，可既以通萌过如搬下公彼式表胳示：可以饮看出微，当货实体读体积顺越小回，分狼层数冻越多驼时，胸辅助壤时间剧所占棉的比锤例就永越大眠，如股制作省大尺财寸的杜薄壳延零件钉，这慈时成姜型设船备的回有效专利用库很低始，因略此在涉这种思情况葱下，建减少成辅助钢时间怕对提窃高成外型效酷率是虎非常虫有利柴的。2-嚼4光固郑化成阅型的占精度氧及效异率2.蚂减瓣少制胶作时亚间的徒方法针对惭成形坚零件演的时签间构而成，穿在成浮形过秘程中炉，可证以通笔过改朴进加巴工工博艺、庭优化茫扫描物参数捉等方别法，贿减少押零件晋成形悬时间旨，提册高加漫工效搂率，赞实际套使用番中通下常采晕用以娇下几宾种措罩施：（1励）减益少辅崇助成贤形时暮间辅助毅时间另与成练型方米法有愚关，盛一般昼可通去过如见下公哨式表得示为板：式中飞—储工作按台升止降运讯动所请需要班的时啊间；—完粪成树执脂涂疼覆所矛需要话的时它间；—等岩待液牙面平小稳所扮需的特时间扁。可见窄减少慕升降译时间尘、树沟脂涂疏覆时符间及告等待软时间悲，可次以减偷少成宜型中省的辅他助时留间。2-帖4光固尊化成训型的挂精度敌及效泉率（2禽）层贱数较禁小的论制作某方向零件秧的层圣数对蓝成型聋时间绳的影棒响很橡大，炉对于同同一腰个成西形零骡件，牛不同哑的制和作方琴向的观条件潜下，暮成型糟时间轨差别撒较大轻。快消速成电型方就法制键作零斤件时校，在势保证扎质量登的前侨提下排，应败尽量锐减少德制作棍层数主。对零骆件制凑作方梳向进价行优随化选会择可舟以降狡低成核型时岗间，样对比秆不同网制造犬方向犁时的铃成型匹时间元，可煮以看禽出，选择蒙制作甘层数相较少介的制怠作方孤向，盖零件帖制作胜时间孤不同呆程度编地减盏少，兽甚至揪减少互了近翼70惹%的西制作孙时间塑。2-抛4光固蔬化成罗型的晴精度婚及效愉率3.辜扫描告参数拘对成叔型效醒率的唱影响每一债层的绣扫描盖时间哈可以声降低瓦零件米的总翁成型广时间御，提丹高成洲型效邀率。符每一戏层的事扫描彻时间涨与扫描孩速度蛛、扫学描间剑距、蔬扫描诸方式初及分猫层厚瓶度有关拖，通弹常扫冬描方该式和栗分层邮厚度高是根射据工肾艺要能求确认定的臣，每蹈层的荐扫描储时间页取决保于扫畏描速破度及萝扫描辅间距据的大息小，教其中股扫描尿速度至决定快了单旷位长园度的智固化导时间伯，而掩扫描印间距婆的大摄小决吨定单悬位面峡积上久扫描捕路径砖的长镰短。图2洲-38树脂接固化粪截面直理论涝形状图2负-39相邻己固化迷线的校重合2-扇4光固蚀化成缠型的捕精度骂及效炒率扫描旅间距讨的提摸高缩外短了画紫外茂光在愉固化衰平面阁往复永运动兽时的广扫描通距离贵，表浊2-鱼8为碎不同拼的扫鸽描间重距下终零件弟的制第作时拣间，隐当扫煤描间深距提意高到访0.哥2m辜m时叉，这陈时零咬件的蜘制作货时间既只有稿间距侮为0裙.1脂mm姓时的纺52连%～史62信%，他成型远时间哑减少颈接近目一半裁，而炼当扫笼描间颤距提呼高到服0.洋3m述m时赴，制框作时嫩间只括有间辣距0择.1盘mm略时的访40除%左乓右，慨即在群同样趟的制罪作条概件下与，适融当提蚁高固豆化成伸型中销的扫举描间刷距，驻可以脉有效川减少牲零件哥制作钩时间班，提蹈高制义作效息率。2-昏4光固胃化成鹊型的标精度盗及效弟率1光固咐化快猾速成赌型工趋艺的枕基本彻原理捕和特厨点2光固梢化快乔速成轮型材虚料及穷设备3光固都化成暴型的缘瑞工艺垦过程4光固免化成雪型的慢精度案及效俱率5微光隶固化崭快速胖成型由制造促技术35第2章揉光固爷化快勤速成协型工蛙艺在微两电子河和生鹅物工碗程等蛙领域捉，制和件一柜般要筑求具套有微属米级借或亚循微米帜级的扁细微躁结构敞，而音传统欣的S猛LA筛工艺冶技术榜无法叠满足碰这一夜领域语的需味求。症尤其平在近苏年来撇，M虾EM芝S（息Mi斜cr糠o言El文ec串tr宾o-遭Me宋ch抗an信ic州al猴S蜘ys执te卸ms假）和算微电也子领素域的芳快速震发展卸，使溪得微干机械河结构尤的制弓造成梯为具粘有极岭大研遮究价迈值和梦经济率价值街的热巾点。庭微光临固化再快速本成型韵μ-臂SL副（M泡ic掉ro栽S倡te极re回ol虎it际ho廉gr嘉ap煌hy冤）便丽是在丘传统系的S粉LA抗技术益方法志基础屋上，摇面向蚕微机今械结厌构制汗造需改求而咱提出约的一柱种新舅型的贷快速范成型篇技术殖。目秋前提拣出并溉实现泡的μ-钱SL佣技术客主要买包括岭基于皆单光街子吸税收效攀应的捕μ-脊SL碎技术狮和基哥于双刚光子脾吸收吧效应熊的μ毙-S钻L技话术，可肃将传魂统的拳SL甘A技束术成型亩精度巡寿提高耀到亚盛微米久级，开包拓了所快速母成型表技术则在微离机械微制造您方面述的应腰用。2-合5微光朋固化贱快速悄成型短制造锻技术1.阿基拍于单匆光子按吸收肌效应小的μ炎-S献L技奥术光固常化过窝程中挽，树挺脂分乖子对宏光能气的吸钩收是幅以单闻个光满子为励单位陕的，无因此妖被称俊为“单光肾子吸压收光瓜聚合挽反应”，封简称秆为SP征A（Si星ng冻le耳-P怨ho疼to叠n帽Ab射so镇rb叨ed倘P步ho假to阻po伸ly谦me蜡ri走za违ti葱on）。以单汤光子勾吸收阁（S赞PA灶）效怎应为沙反应吼机理李的S答LA山技术毙，其假成型疲精度枣取决舟于光捎斑大洞小、战固化山时间镰、固衬化层胡厚度咸等工释艺参吉数，归目前赖可以模达到晋±0悄.1残mm总的精凯度。意如果撇优化载光路君系统必及机秃械传慕动系洲统，为可以丢将S沙LA够的精胀度提织高到微米区级，使剂光固晨化成沾型技译术实催现微孔米级细的复塔杂三薄维结签构的纯构建茶，即坊能够区实现乓μ-借SL台技术仙。目前袄，以差SP恋A效督应为厉反应鉴机理椅的μ湾-S乏L技绞术有跑两种带主要垫的成翻型模柱式：扫描殿式μ喊-S渣L（筹Sc配an裂ni窃ng在M腔ic裤ro氏S系te专re伤ol咸it厨ho返gr广ap大hy后）和遮光友板投予影式遮μ-虚SL钟（M赤as诵k倍Pr唯oj筝ec蚁ti梁on火M勇ic幼ro洲S救te硬re铅ol逢it煎ho雨gr白ap响hy葡）。2-吉5微光爱固化权快速鞠成型封制造尖技术（1霜）扫顽描式汁μ-裹SL扫描患式μ次-S龟L和宣传统斑的S谎LA道技术雾原理烦相同省，但碧采用依的控石制系霸统和输传动长控制出更为市精确抹。如怕图2烂-4仿0所零示，调在扫嘱描式警μ-崖SL辽中，杂通常叶采用须光源腿固定维，而炮工作系台相服对运曾动的备方式物来进折行扫灶描。杜这样监就可蝴以避掏免由这于光钞源移鞠动引早起的剪光斑观尺寸防的变杨化，卡从而嚼避免诵了因纲为固蚊化区真尺寸揪的不反恒定您因素戚而引载起的膝尺寸女精度积的下窃降。扫描捧式μ秤-S辟L采范用单塌层逐毯步扫住描的枪成型杯方式纷，效剪率较疑低。皂为了秀克服绕这一捐技术其缺陷弄，提径出了馒遮光挪板投骂影式阻μ-遥SL盛（M摄as挤k质Pr译oj傅ec尊ti羊on交M我ic斜ro败S土te黑re龙ol祸it叙ho好gr档ap大hy肚）的逢方案羽，利勾用具林有制御件截饶面形者状的帜遮光滤板，诉通过好一次纯曝光子，一脑次性士整体图固化稠一个仁截面度，然蚂后通绕过逐寇层叠勺加形浇成实孙体形盐状。图2-此40急基魔于单袖光子唐吸收朴效应逃的μ-仔SL警技术族原理或示意等图2-增5微光纸固化麻快速籍成型脱制造辟技术（2花）遮荐光板兄投影活式μ访-S瓦L（冻MP筹μ-侵SL胜）遮光拳板投伯影式校μ-税SL