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文档简介

预脱硅岗位安全技术规程预脱硅岗位安全技术规程一、引言预脱硅岗位是制造半导体产品过程中的紧要环节，其中的半导体器件需要进行硅片清理和去除掉附在硅片表面的杂质，但在实施该过程的过程中，操作人员需要遵守肯定的技术规程和安全操作流程，以保障人员的安全和硅片的质量。二、基本要求1.对操作人员进行安全培训，了解异物去除的技术要求，并把握相应的安全技术措施；2.定期进行安全技术引导和技术交流，以加强操作人员的安全意识和技术水平；3.严格执行安全操作规程，保证硅片的质量和避开安全事故的发生；4.常常检查设备的运转状态，确保设备的正常运作，适时发觉和解决设备故障和安全隐患；5.备好应急救援方案和设备备用品，以应对突发事件。三、操作流程1.准备工作（1）检查硅片是否损坏或有划痕；（2）依据硅片生产工艺，把握硅片去除异物的时间和去除效果；（3）检查硅片清洗设备或取膜机是否正常运转。2.硅片清洗（1）将硅片依次浸泡在清洗槽中，并保证每个清洗槽的清洗液不被污染；（2）依照清洗工艺步骤进行清洗，并严格把握清洗时间和去除异物的效果；（3）通过检查清洗池和清洗效果来评估清洗液的寿命，适时更换清洗液。3.水洗（1）将清洗好的硅片放入水洗槽中，将碱液和其他污物清洗干净；（2）持续冲洗，直到完全清洗干净。四次以上的清洗确保了质量；（3）检查硅片是否干净，无杂质，有利于后续的处理操作。4.去除毛刺（1）准备硅片鳞片，去除硅片毛刺，并注意避开划伤硅片；（2）依据工艺要求进行异物去除处理，在去除异物的同时，注意不要损坏硅片表面。5.离线包装（1）将硅片放入离线包装盒中，在操作过程中注意防静电；（2）贴上标签，并记录硅片的批次和生产日期等相关信息；（3）将硅片装入防静电袋中，并封口，并一次性送入干净室中。四、安全注意事项1.操作人员必需戴上防静电手套和静电帽，并穿防静电服；2.严格遵守安全规程，确保设备正常运转，安全操作，防止短路、漏电等现象，保证操作人员的人身安全；3.定期检查设备设施，确保设备的安全性和性能，适时解决设备故障；4.硅片必需进行清洁，并确保清洁度符合生产要求；5.按规定进行异物去除，并确保硅片表面不被刮损破坏。五、结论预脱硅岗位是半导体制造过程中的紧要环节，严格的技术规范和安全要求亦为硅片生产的紧要保障。操作人员需要严格遵守技术规程，加强安全

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