精密仪器设计-光检测系统设计

精密仪器设计-光检测系统设计第一页，共34页。一、现代精密光电检测仪器特点信息加载于光波，是一种非接触和非破坏性测量，可适用于远距离、危险、恶劣环境测量；光波传播速度快，可进行实时测量和控制；测量精度高，如激光干涉测量的精度可达1/100波长；具有很高的空间分辨率；可进行图像处理。现代精密仪器：现代制造技术（光、机、电、算）、纳米技术、仿生学原理、新材料等。2第二页，共34页。光学精密机械系统光电转换系统电路处理系统计算机控制系统显示、打印系统电机及驱动系统信息获取与应用信息处理、变换与显示(1)光学精密机械系统光学成像系统——物镜、光栏等；照明系统——光源、滤镜等；精密机械系统——X-Y精密工作台、微动工作台（Micro-table）、真空吸附台以及传动部件（如FlexureHinge）等。二、典型精密仪器的基本组成3第三页，共34页。(3)电路处理与计算机控制——信息处理、变换与存储显示及模块控制等。

功放、A/D、D/A、DSP、FPGA、CPLD、F/VI/O、LED、LCD等。(2)光电转换与传递系统——CCD、摄像机、光电管（Phototube）、硅光电池（Siliconphoto-cell）、光栅（Grating）、激光等。二、典型精密仪器的基本组成4第四页，共34页。(4)电机及驱动系统电机——直流电机、交流电机、直线电机、力矩电机、音圈电机（VoiceCoilMotor）、步进电机（SteppingMotor）、纳米电机（Nanomotion）等。微位移技术中，采用致动器（Actuator）作为驱动源，如PZT、ElectrostaticForce等。！二、典型精密仪器的基本组成5第五页，共34页。被测对象光学系统光学系统光电探测器调理电路光源控制电路计算机显示与控制作用：将光束变成平行光束、发散光束、会聚光束或其他形式结构的光束作用：利用显微系统、照相系统、望远系统及调制器、滤波器将来自被测对象的光变成光电传感器能接收的光二、典型精密仪器的基本组成6第六页，共34页。三、光学系统设计光电探测器光源7第七页，共34页。光电探测器真空光电器件固体光电器件光电管光电倍增管真空摄像管变像管像增强管光敏电阻光电池光电二极管光电三极管光电耦合器光中断器位置传感器PSD自扫描光电二极管阵列SSPD电荷耦合器件CCD互补型金属氧化物半导体晶体管CMOS3.1分类8第八页，共34页。3.2光电探测器的选择原则探测器输出电信号大小与测量光信号大小的关系；探测器的光谱响应范围与测量光信号的光谱范围是否一致；探测器能探测的最小信号功率；探测调制信号或脉冲光信号时，响应时间是否一致。9第九页，共34页。3.3光源及照明系统光电测量中，光是信息的载体，光源及照明系统的质量对光电测量往往起着关键的作用。含光源的特性、光源的种类、照明光学系统及光源选用等问题。注：应用中宜采用发光效率高的光源以节省能源。一、光源的基本参数1．发光效率在给定的波长范围内，某一光源所发出的光通量与产生该光通量所需要的功率之比，称为该光源的发光效率，表示为:式中，为该光电测量系统的光谱范围。10第十页，共34页。2．光谱功率谱分布光源输出的功率与光谱有关，即与光的波长有关，称为光谱的功率分布。常见的有四种典型的分布。

典型光源功率谱分布a)线状光谱b)带状光谱c)连续光谱d)复合光谱a如低压汞灯光谱；b如高压汞灯光谱；c如白炽灯、卤素灯光谱；d如荧光灯光谱。

注：在选择光源的时候，应选择光谱功率分布的峰值波长与光电器件的灵敏波长相一致；目视测量，可选用可见光谱辐射比较丰富的光源；目视瞄准，宜选用绿光光源；彩色摄像应采用白炽灯、卤素灯作光源。紫外和红外测量，宜选用相应的紫外灯（氙灯、紫外汞灯）和红外灯。11第十一页，共34页。3．空间光强分布特征HG500发光二极管的配光曲线

由于光源发光的各向异性，许多光源的发光强度在各个方向是不同的。若在光源辐射光的空间某一截面上，将发光强度相同的点连线，就得到该光源在该截面的发光强度曲线，即配光曲线。为提高光的利用率，一般选择发光强度高的方向作为照明方向。为了充分利用其他方向的光，可以用反光罩，反光罩的焦点应位于光源的发光中心。12第十二页，共34页。任何物体，只要其温度在绝对零度以上，就向外界发出辐射，称为温度辐射。黑体是一种完全的温度辐射体，其辐射本领表示为：式中，为辐射本领；为吸收率，当时的物体称为绝对黑体。

4．光源的温度和颜色13第十三页，共34页。黑体的温度决定了它的光辐射特性。对于一般的光源，它的某些特征常用黑体辐射特征近似地表示，其温度常用色温或相关色温表示。色温：辐射源发射光的颜色与黑体在某一温度下辐射光的颜色相同，则黑体的这一温度称为该辐射源的色温。相关色温：光源的色坐标点与某一温度下的黑体辐射的色坐标点最近，则该黑体的温度称为该光源的相关色温。注：在光电测量中为了减少光源温度对测量的影响，应采用冷光源或者设法减少热辐射的影响。4．光源的温度和颜色14第十四页，共34页。二、光电测量中的常用光源

物体温度大于绝对零度时就会向外辐射能量，辐射以光子形式进行，我们就会看到光。1．太阳光：

太阳向地球辐射热我们称之为阳光。阳光是复色光，太阳光源是很好的平行光源。

2．白炽灯：

白炽灯靠灯泡中的钨丝被加热而发光，它发出连续光谱。发光特性稳定、简单、可靠、寿命比较长，得到广泛的应用。真空钨丝灯是将玻璃灯泡油成真空，充气灯泡是灯泡内充氩、氮等惰性气体，卤素灯是灯泡内充有卤族元素（氯化碘、溴化硼等）。

白炽灯的供电电压对灯的参数（电流、功率、寿命和光通量）有很大的影响，其关系如下所示：15第十五页，共34页。利用气体放电原理来发光的光源称为气体放电光源。特点：发光效率高，比白炽灯高2～10倍，可节省能源。结构紧凑，耐震、耐冲击。寿命长，大约是白炽灯的2～10倍，可节省能源。光色范围大，如晋通高压汞灯发光波长大约为400～500nm，低压汞灯则为紫外灯，钠灯呈黄色（589nm），氙灯近日色，水银荧光灯为复色。

气体放电光源经常被用于工程照明和光电测量之中。

3．气体放电光源16第十六页，共34页。在电场的作用下使半导体的电子与空穴复合而发光的器件称为半导体发光器件（注入式场致发光光源），通常称为LED。半导体发光二级管a)原理图b)外观图c)器件符号4．半导体发光器件17第十七页，共34页。常用发光二级管材料及性能如下表所示。注：半导体发光二极管既是半导体器件也是发光器件，因此其工作参数有电学参数和光学参数。18第十八页，共34页。能激发出激光并能实现激光的持续发射的器件称为激光器。激光特点：单色性好，相干能力强，方向性好、亮度高，在光电测量中常用作相干光源。激光器三大要素：激光工作物质，激励能源和光学谐振腔。激光器分类：固体激光器、气体激光器和半导体激光器。激励系统：光激励、电激励、核激励和化学反应激励等。光学揩振腔用以提供光的反馈，以实现光的自激振荡，对弱光进行放大，并对振荡光束方向和频率进行限制，实现选频，保证光的单色性和方向性。

5．激光光源19第十九页，共34页。He-Ne气体激光器-----激光单色性和方向性好在选择和使用He-Ne激光器时应注意以下几点：（1）激光模态。在用He-Ne激光器作光电测量的光源时，一般都选用单模激光。观察激光输出的光斑形状发现，光斑形状较为复杂，在光电测量中选用的激光光斑形状应为均匀的圆形光斑，即选TEM00横模。激光的横模a）TEM00模b）TEM10模c）TEM13模d）TEM11模20第二十页，共34页。（2）功率。光电测量中所用的He-Ne激光光源功率一般在几到十几mW。（3）稳功率和稳频。He-Ne激光器输出的功率变化较大，在精度较高的光电测量

中，应对He-Ne激光器稳功率。此外，在相干测量中光的波

长是测量基准，因此要求波长很稳定，即要采用稳频技术。

另，稳频对稳功率也有作用。（4）激光束的漂移。虽然He-Ne激光具有很好的方向性和单色性，但它也是有漂

移的，当作用精密尺寸测量和准直测量时尤应注意。21第二十一页，共34页。半导体激光器（LD），用半导体材料制成的面结型的二极管。

在使用半导体激光器时，应注意以下几点：（1）作为平行光照明时应用柱面镜将光束整形，再用准直镜准直；（2）频率稳定性。LD光的单色性、相干性较差，因此用LD作相干光源且测量距离又较大时，必须对LD稳频。LD的稳频法主要有吸收法和电控法；（3）调频。改变LD的注入电流会使LD的输出频率产生的变化。如果注入电流是按某一频率变化规律来变化，那么输出的激光将被调频。这种调频是在LD内部实现的，故称为内调制。由此原理制成的半导体激光器可用于外差测量。22第二十二页，共34页。三、照明系统照明对光学系统的成像质量起着非常重要的作用，照明的种类繁多，用途也非常广泛。照明系统的设计原则1）保证足够的光能。

2）有足够的照明范围，照明均匀。

3）照明光束应充满物镜的入瞳。

4）应尽量减少杂光进入物镜，以保证像面的对比度。

5）合理安排布局，避免光源高温的有害影响。23第二十三页，共34页。1.直接照明：按照明方法分为透射光亮视场照明，反射光亮视场照明，透射光暗视场照明，反射光暗视场照明，分别如图a、b、c、d所示，图中阴影部分为照明光场。按光源类型分为白炽灯照明、光纤照明等。直接照明四种类型a）透射光亮视场照明b）反射光亮视场照明c）透射光暗视场照明d）反射光暗视场照明照明系统的种类24第二十四页，共34页。2.临界照明：光源的光通过聚光镜成像在物面上或其附近。临界照明

照明光源灯丝成像到物平面上，这种照明在视场范围内有最大的亮度，而且没有杂光。缺点是光源亮度的不均匀性将直接反映在物面上，并且不满足光孔转接原则。25第二十五页，共34页。3．远心柯勒照明：集光镜将光源成像到聚光镜的前焦面上，孔径光阑位于聚光镜的物方焦面上，视场光阑被聚光镜成像到物面上。远心柯勒照明优点：孔径光阑大小可调，经聚光镜成像于物镜的入瞳位置，满足光孔转接原则，又充分利用了光能。孔径光阑大小决定了照明系统的孔径角、分辨力和对比度，视场光阑控制照明视场的大小，避免杂光进入物镜。26第二十六页，共34页。4．光纤照明：因照明均匀、亮度高、光源热影响小而得到广泛应用。根据照明光线端部排列形式和光束出射方向，分为环形光纤照明和同轴光纤照明等。

右图是一环形光纤照明光源，光源发出的光经过聚光镜耦合进入光纤束，光纤束在另一端分束，形成一环形光纤排。光纤照明光能集中，能获得较均匀的高亮度照明区域。并且照明部分远离光源，解决了光源散热对被测物体的影响。1-光源2-聚光镜阑3-光纤束4-环形光纤排27第二十七页，共34页。5．同轴反射照明：光源发出的光经过物镜投射到物体上，物镜本身兼做聚光镜。物镜将物面成像到CCD的光敏面上。

这种照明系统可以检测反射镜面上的缺陷。如果被测表面是镜面，则镜面的反射光线全部进入物镜成像，因此整个图像都是白色。当镜面上有腐蚀斑点或者污渍时，所产生的漫反射光线进入物镜的甚少，因此图像上将产生黑色的斑点。同轴照明1-光源2-集光镜3-孔径光4-视场光阑5-聚光镜6-分光镜7-物镜8-物面9-CCD28第二十八页，共34页。

四、光源及照明系统的选择

正确地选用光源是充分而又有效地满足仪器使用要求的必要条件。在选择光源时，一般应考虑以下几方面的问题。1．光源的光谱能量分布特性

光源的光谱能量分布首先应满足仪器使用上的要求。在干涉仪中，光源的波长是仪器的标准器，因此其单色性应满足测量精度及测量范围的要求；在非相干照明中，光源的光谱分布应与接收器的光谱响应相匹配，可节省能量，提高检测信号的信噪比；在目视仪器中，视场的背景最好是适宜人眼的黄绿色，将有害的红外辐射（它可能引起仪器的热变形）用滤色片滤去；若仪器中有几个不同的接收器共用一个光源，则光源的光谱分布要能兼顾各接收器的响应。29第二十九页，共34页。在精密测量中，被测对象一般都不是发光体，所以必须进行人工照明，使被测物体达到一定的照度；在以光电元件为接收器的仪器中，被测物体光照强度有利于提高信噪比及后继电路的处理；在目视仪器中，视场应有足够的照度，这在大屏幕投影测量系统中问题较为突出。应根据使用要求及接收器的性能来考虑对光源的光强要求。2．光度特性30第三十页，共34页。在临界照明系统中，将