LCD行业-显影制造作业规范 2F

主题：文件编号：WE024文件版本：A显影制造作业规范<2>页次：01/07本页版次：0＊＊＊＊＊＊目录＊＊＊＊＊＊项目内容页次目录01/07修订履历02/071目的03/072范围03/073制程参数设定03/074使用原物料及治具03/075控制面板说明04/076作业内容05/077PRE-TANK加液操作06/078机内恒温槽加液操作06/079注意事项07/0710附件07/07制订审核核准＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗体编号：FQ001A主题：文件编号：WE024文件版本：A显影制造作业规范<2>页次：02/07本页版次：2＊＊＊＊＊＊修订履历＊＊＊＊＊＊文件版本修订记录：版本工程变更号生效日期变更要旨AISO9001﹕2000体系改版后初次发行。页次修订状况：页次123456789101112131415版次22页次161718192021222324252627282930版次页次313233343536373839404142434445版次页次464748495051525354555657585960版次页次版次工程变更号变更要旨031EC-E031215388修改3-2显影速度032EC-E040328419修改3-2显影速度为：2800+-200mm/min＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗体编号：FQ002A主题：文件编号：WE024文件版本：A显影制造作业规范<2>页次：03/07本页版次：1 ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE024文件版本：A显影制造作业规范<2>页次：04/07本页版次：0 ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE024文件版本：A显影制造作业规范<2>页次：05/07本页版次：0 ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE024文件版本：A显影制造作业规范<2>页次：06/07本页版次：0 6-1-1检查各液体是否足够机台运行. 6-1-2检查各参数是否符合制程设定. 6-2作业过程： 6-2-1打开机器内侧漏电开关，打开坚膜烤箱与蚀刻机之间之控制柜电源开关. 6-2-2将手动面板上MAMUAL/AUTO转换开关拔至AUTO，此时指示灯面板上AUTO 6-2-3按下面板中(POWERON)开关. 6-2-4按下面板中(READY)键. 6-2-5按下坚膜烤箱(POWERON)键后，按下(HEATERON)键再按下(HEATERSTART)键.6-2-6按下坚膜烤箱(AUTO)键后，按下(IDLING)键. 6-2-7待坚膜烤箱温度达到设定值，并确认蚀刻机处于INLINE状态，按下坚膜烤箱(RUN)键.6-2-8待显影机各处温度达到设定值时，按下显影机(START)键，此时显影机红灯闪烁，再将显影机INLINE/OFFLINE开关拔至INLINE，此时红灯灭. 6-2-9从曝光站放下A、B各两片玻璃经曝光，显影确认质量. 6-2-10待确认OK后，即可下流玻璃. 6-3关机 待所有玻璃全部排出后，按下显影机之(STOP)开关后，按下坚膜烤箱之(STOP)键，最后按下 显影机内侧电开关，最后关闭控制柜开关. 7.PRE--TANK加液操作： 7-1当PRE-TANK中液位低于下限设定值时，LEVELCHECK灯亮，则应向PRE-TANK中加液，此 时应联络化学液房通知打开供液管阀门. 7-2将面板WATERSUPPLY键拔至RUN.打开向PRE-TANK供液管上球形阀，WATERSUPPLY指 示灯亮，此时已向PRE-TANK加液，当液位超过下限设定值时，按BUZZEROFF键，LEVEL CHECK灯灭. 7-3当PRE–TANK中液位达到上限时，WATERSUPPLY键复位，WATERSUPPLY指示灯灭，再将球形阀关闭. 7-4PER-TANK加液结束，通知配液房关闭供液阀. 7-5通知IPQC滴定其浓度，并记录. 8.机内恒温槽加液操作： 8-1当显影液生产数量达到1000+50sheets时必须把恒温槽内显影液全部排掉，再从PRE-TANK中向恒温槽加液. ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊窗体编号：FQ003A主题：文件编号：WE024文件版本：A显影制造作业规范<2>页次：07/07本页版次：0 8-2打开PRE-TANK与恒温槽的连接管之球阀. 8-3将手动面板上之MIXING-TANKSENDINGLIQUID开关拔至ON即可. 8-4当恒温槽中液体加满后，关闭球阀即可. 9.注意事项 9-1每次上班时须点检显影液之浓度. 9-2每次加液前须开PRE-TANK中循环开关搅拌显影液5-10分钟方可加入机内. 9-3当显影机后某一机台停机导至蚀刻机停机，须迅速将显影机转换OFFLINE状态，将机内所有 玻璃排出，用篮子装起，待正常运行后，再从显影机与坚膜烤箱连接处投入. 9-4由于显影机自身异常停机，在INLINE/OF