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文档简介

检测设备行业产业链安全需求持续增强,国产设备加速替代检测设备行业产业链安全需求持续增强,国产设备加速替代由于全球供应链的紧张和国际贸易摩擦,新型显示器件和半导体供应链安全日益受到重视,国家政策大力支持设备国产化提升,产业链上下游的协同发展更加紧密,为国内设备厂商提供很好的缩小差距和齐头并进的时间条件和机遇,遵循先易后难的逻辑,国产检测/测试设备有望在新型显示器件/半导体设备中率先崛起,凭借区位、技术支持以及供应稳定性等优势,加速实现全面。量测设备细分市场量测设备细分品类较多。根据数据,2020年半导体检测和量测设备市场各类设备占比中,检测设备包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备(可细分为微米级和纳米级)、掩膜检测设备等;量测设备包括三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备(晶圆介质薄膜量测设备)、套刻精度量测设备、关键尺寸量测设备、掩膜量测设备等。中国检测和量测设备现状就国内检测和量测设备现状而言,目前国内整体半导体检测和量测设备市场规模占比全球市场25%左右且保持持续提升趋势,数据显示,2021年我国检测和量测设备规模为29亿美元,同比2020年增长61.1%,增速远高于全球规模,占比全球份额持续提升,但目前国内市场仍主要被国际企业占据主要市场,技术和企业之间适配性待提升。全球检测和量测设备现状全球半导体检测和量测设备市场规模来看,随着半导体下游消费电子和PC等需求2020-2021年市场回暖尤其是2021年明显增长,量检测设备全球市场空间持续扩张。根据数据,全球市场2020年半导体检测与量测设备市场规模为76.5亿美元,2016-2020年CAGR12.6%,2021年整体半导体产业大增,估计检测和量测设备规模提升明显。国产化趋势整体半导体设备领域存在较高的技术、资金及产业协同等壁垒。与国外企业相比,本土企业进入该领域时间较晚,整体实力和规模与国外竞争对手存在较大差距。然而,经过多年来的不懈追赶,本土企业技术水平迅速提高,检测和量测设备从无到有,中科飞测等国产企业带动量检测设备国产化持续突破,目前在28nm已实现突破并向2Xnm以下节点推进。在政策和需求的推动下,我国检测设备产业发展迅速,但目前在高端产品领域,国产产品和进口产品还存在一定的差距。国内检验设备相对国外仍处中低端,价格相对低廉,利润较低,限制企业快速发展及开发高端产品,主要是因为国内企业的技术积累相比国外发达国家较为薄弱,这仍需国内企业自身努力及国家政策扶持,促使我国检测设备研发企业技术积累不断雄厚,开发更多具国际竞争力的产品。虽然我国检测设备行业技术落后,但行业规模已经较大,拥有实验室离心机、天平、热分析仪器、动力测试仪器、真空仪器与装置、电泳仪、铸造测试仪器、应变测量仪、环境试验设备、土工测试仪器、声学仪器、陶瓷检测仪器等多样化的产品,其中一部分产品已达到或接近世界先进水平,质量稳定,少部分高端仪器达到国际先进水平,具有自主知识产权,先后进入欧洲、美洲、非洲、东南亚市场,取得了可喜的成绩。我国检测设备产业正快速成长,处于进口替代的阶段。随着机械、电子、信息等基础产业的进步,国产检测设备的性能参数等指标与国外产品的差距逐渐缩小,整体技术水平逐渐提高,未来随着整个行业的进一步发展,我国检测设备的市场份额将稳步增长。国产检测设备与国外相比差距主要体现在两个方面:主要技术指标如设备稳定性、精密度和准确度不足,加大了设备使用的难度,也降低了检测结果的可靠性;在自动化、智能化和成套性方面也与国际同类产品存在显著的差距。国外先进设备采用了新材料、新技术,实现了高灵敏度、高适应性、高可靠性,并不断地向嵌入式、微型化和网络化方向发展,而国产设备的技术含量不高,发展受困于中低端,核心设备严重地依赖进口。检测设备具有技术密集型特征,想要突破行业发展瓶颈,科技创新是必经之路,目前我国检测设备的自主创新机制存在一些问题,如:研发投入低,高精尖人才供应不足,高校相关专业招生不足、培养体系不完善,同时行业薪酬与信息行业相比差距大,毕业生入行率低。随着改革开放,国外检测设备企业进入国内市场,且纷纷在中国独资或合资设厂,以本地化的生产来降低成本和贴近用户,提高竞争力;民营企业的大量涌现,从初期的注重数量和成本,逐渐转向对质量和品牌的关注;原有的国企或国企改制的企业以其较好的基础和传统的质量理念,并融人了体制改革的新活力,形成了检测设备行业。但这种现状正在被国外大公司对国内企业的兼并,部分民营企业的做大、做强,部分强势企业的良性发展而逐渐改变,整合和重组是大势所趋。半导体检测和量测设备概述检测指在晶圆表面上或电路结构中,检测其是否出现异质情况,如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷;量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述,如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。量测设备技术结

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