传感技术课件

传感技术课件1第一页，共一百一十九页，2022年，8月28日本章内容2.1信息获取与信息感知2.2自然规律与传感器2.3传感器的基础效应2.4传感器的新型敏感材料2.5弹性敏感元件2第二页，共一百一十九页，2022年，8月28日2.1.1信息获取1．信息获取的基本概念什么是信息人类获取信息的方法信息理论概述2．传感器的任务是信息感知传感器的基本任务传感器是获取信息的工具传感器应该满足一些必需的条件3第三页，共一百一十九页，2022年，8月28日2.1.2传感器涉及的基础理论1．传感技术正在成为多学科交汇点2.自然规律是传感技术的理论依据自然界普遍适用的自然规律；物质相互作用的效应原理；实现效应的功能材料；相关技术学科的前沿技术。3．传感理论基础自然界普遍适用的自然规律物质相互作用的效应原理及功能材料信息论、系统论与控制论非线性科学理论相关学科的定理、方法及其最新成果4第四页，共一百一十九页，2022年，8月28日本章内容2.1信息获取与信息感知2.2自然规律与传感器2.3传感器的基础效应2.4传感器的新型敏感材料2.5弹性敏感元件5第五页，共一百一十九页，2022年，8月28日

2.2.1守恒定律伯努利方程（关于密封管路中无粘性流体流动的能量守恒定律）：流体在忽略粘性损失的流动中，流线上任意两点的压力势能、动能与位势能之和保持不变。6第六页，共一百一十九页，2022年，8月28日

2.2.1守恒定律皮托管：1732年由法国工程师皮托首创，至今仍是测量流速的常用仪器。皮托管是用来测量运动流体内任一点流速的仪器。流速由动压进行计算（总压和静压差）7第七页，共一百一十九页，2022年，8月28日2.2.2场的定律法拉第首先提出了磁力线、电力线的概念，在电磁感应、电化学、静电感应的研究中进一步深化和发展了力线思想，并第一次提出场的思想，建立了电场、磁场的概念。其后，经典电磁场论（麦克斯韦、赫兹）得到确立。在经典电磁学的建立与发展过程中，形成了电磁场的概念。MichaelFaraday（1791—1867）JamesClerkMaxwell(1831

-1879)8第八页，共一百一十九页，2022年，8月28日2.2.2场的定律物理场:某一空间范围及其各种事物分布状况的总称场的定律，都是关于物质作用的客观规律。揭示的是物体在空间排列和分布状态与某一时刻的作用有关的客观规律，一般可用物理方程给出。这些方程就是某些传感器工作的数学模型，而与这些定律有关的参数通常与具体物质的内部结构（如成分、材料）无关，与物质在空间的位置及分布状态与某时刻的作用有关。9第九页，共一百一十九页，2022年，8月28日电磁感应定律指出：导体回路中感应电动势的大小与穿过回路的磁通量的变化率成正比。当线圈以速度v垂直于磁场运动时，由于切割磁力线，在线圈中产生与运动速度成正比的感应电动势：自感式传感器、互感式传感器、感应同步器和电涡流式传感器等，可用来测量位移、运动速度、振动等多种物理量。

2.2.2场的定律第十页，共一百一十九页，2022年，8月28日利用静电场的有关定律制成电容传感器。静电场中两平行电极板间的电容量C为：两极板相对移动Δδ时，C的变化量：2.2.2场的定律第十一页，共一百一十九页，2022年，8月28日波是场的一种运动形态，光波是一种广泛存在的电磁波。利用光电磁场的基本定律，如光的直线传播定律、光波之间的相互作用，如光的干涉、衍射、偏振现象、光的多普勒效应等，可以制成影像、干涉、衍射、偏振、光栅、光码盘等各式各样的传感器和测量装置。2.2.2场的定律

第十二页，共一百一十九页，2022年，8月28日利用场的定律构成的传感器，其性能由定律决定，与使用材料无关。这类传感器的形状、尺寸等参数决定了传感器的量程、灵敏度等性能，因此这类传感器统称为结构型传感器。它们具有设计的自由度较大、选择材料的限制较小等优点，但体积一般较大，并且不易集成。2.2.2场的定律第十三页，共一百一十九页，2022年，8月28日物质定律:各种物质本身内在性质的定律、法则、规律等。它们通常以固有的物理常数加以描述。如胡克定律，欧姆定律等。这些定律都含有物质所固有的常数，即定律是定义各种物理常数的公式。利用各种物质定律构成的传感器统称为物性型传感器。这些传感器的主要性能在很大程度上受相应的物理常数或化学、生物特性所决定，也即与物质的材料密切相关。2.2.3物质定律第十四页，共一百一十九页，2022年，8月28日利用半导体物质具有的压阻、热阻、光阻、湿阻和霍尔等效应，可以分别制成力、压力、温度、光强、湿度和磁场等传感器；利用压电材料所具有的压电效应可制成压电式、声表面波和超声波等传感器；利用生物、化学敏感特性制成的生物、化学传感器等。2.2.3物质定律第十五页，共一百一十九页，2022年，8月28日霍尔（Hall）效应当电流垂直于外磁场的方向通过导体或半导体薄片时，在薄片垂直于电流和磁场方向的两侧表面之间产生电位差的现象，称为霍尔效应。16第十六页，共一百一十九页，2022年，8月28日＋＋－NUH－＋R1R2R1R2U0φ1霍尔效应检测直流电流第十七页，共一百一十九页，2022年，8月28日I1U1U2BP·T霍尔效应测量功率第十八页，共一百一十九页，2022年，8月28日由于利用物质定律的物性型传感器具有构造简单、体积小、无可动部件、反应快、灵敏度高、稳定性好、易集成等特点，因此是当代传感技术领域中具有广阔发展前景的传感器。与物质所固有的物理常数有关的各种现象可分为三大类：热平衡现象传输现象量子现象2.2.3物质定律

第十九页，共一百一十九页，2022年，8月28日一个系统在没有外界影响的条件下，即外界对系统既不作功，又不传热的情况下，系统各个部分之间的能量以热量的形式而不是以功的形式进行交换，经过一定的时间后，系统各部分将达到一种宏观性质不随时间变化的状态，这种现象就称为热平衡。一、热平衡现象第二十页，共一百一十九页，2022年，8月28日描述热平衡状态系统的物理量称为状态量。若把这个系统分割成若干个小系统，则状态量可分为两种①与分割方法无关，其性质由其量的大小来决定的状态量。称为强度型状态量，简称示强变量。如温度、压力、电场强度、磁场强度。②具有与系统的大小（体积、面积等）成正比性质的状态量，称为容量型状态量，简称示容变量，又叫容量量或广延量。如能量、熵、位移等。一、热平衡现象第二十一页，共一百一十九页，2022年，8月28日设示容变量为xi，对应的示强变量为Xi，则能量为：当若干个xi有微小的变化，则系统能量变化为：xj表示除xi外的容量状态量保持固定条件，某个强度量对应容量状态量的关系。麦克斯韦关系式第二十二页，共一百一十九页，2022年，8月28日根据热力学原理（热力学第一定律）：系统由能量U的平衡状态变化到的U+dU平衡状态时，其变化与所取得微分途径无关。麦克斯韦关系式第二十三页，共一百一十九页，2022年，8月28日同理：如果有若干个示强变量发生微小变化，使系统能量变化时，但系统在能量变化前和变化后均处于热平衡状态，则麦克斯韦关系式可写成：k表示除Xi，Xj以外的强度量保持固定不变。因为示强变量易测量，大小也易调整（温度、压力、磁场强度等），所以实践中通常以示强变量作为独立变量予以测量。

麦克斯韦关系式第二十四页，共一百一十九页，2022年，8月28日麦克斯韦关系式说明不同种类能量所对应的强度型状态量与容量型状态（或相反）微分之比为定值，具有这种关系的效应称为热平衡一次效应。一次效应是可逆的。热平衡一次效应第二十五页，共一百一十九页，2022年，8月28日当某些电介质沿一定方向受外力作用时，在其一定的两个表面上产生异号电荷；当外力去掉后，又恢复到不带电的状态其中电荷大小与外力大小成正比，极性取决于受力方向，即变形是压缩还是伸长；比例系数为压电常数，它与形变方向有关，固定材料的确定方向上为常量。

热平衡一次效应：压电效应第二十六页，共一百一十九页，2022年，8月28日正压电效应当对压电材料施以外力（压力）时，材料体内的电偶极矩会因压缩而变短，此时压电材料为抵抗这一变化会在材料表面产生正负电荷，以保持原状。27第二十七页，共一百一十九页，2022年，8月28日当在电介质的极化方向施加电场，某些电介质在一定方向上将产生机械变形或机械应力，当外电场撤去后，变形或应力也随之消失。其应变的大小与电场强度的大小成正比，方向随电场方向变化而变化。当对压电材料表面电场（电压），因电场作用时材料体内的电偶极矩会被拉长，压电材料为抵抗这一变化会沿电场方向拉伸。逆压电效应第二十八页，共一百一十九页，2022年，8月28日机械能（输入）：力F—强度型状态

V0Σ—引起变形体积变化电能（输出）：电荷Q—容量型状态量电场强度E—强度型状态量其中：F、E为不同种类强度量；V0Σ、Q为不同种类的容量量。根据麦氏关系式：热平衡一次效应第二十九页，共一百一十九页，2022年，8月28日利用压磁元件测量力时，在外力F作用下，压磁元件材料发生形变，体积随之变化V0Σ，产生应力，使其磁导率μ改变，从而引起磁感应强度B的变化；而当压磁元件置于磁场强度为H的磁场中，则其产生机械变形V0Σ，因此：

热平衡一次效应第三十页，共一百一十九页，2022年，8月28日同一种类能量的强度型状态量与容量型状态量微分之比，或同一种类能量的示容变量与示强变量微分之比，是不能直接构成传感器的。膜盒或膜片等弹性敏感元件在力F(或压力)作用下产生形变l，刚度系数：电场电势U作用于电容器导电极板产生电荷Q，电容系数：温度T产生热量Q，热容量：热平衡二次效应第三十一页，共一百一十九页，2022年，8月28日利用弹性元件受力产生变形，其应变与应变片电阻值的关系可制成电阻应变式力(压力)传感器。上述这种变换称为二次效应，二次效应没有逆效应。热平衡二次效应第三十二页，共一百一十九页，2022年，8月28日当系统中存在有强度量的差或梯度时，相应的广延量就随时间而变化，即广延量的流动，这种现象称为传输现象。导体两端有电位差时，就有电流流动；物体有温度差时，就有热流流动；电容两端有电位差时，就有电荷积累等。这种使相应广延量流动的强度量的差或梯度可视为一种力，称之为亲和力或亲和势。二、传输现象第三十三页，共一百一十九页，2022年，8月28日由两种导体或半导体闭合构成的热电偶，当其两结点有温度差时，就有热流在两结点间流动，由于塞贝克效应（又称热电效应），则在两结点间产生电动势，回路中就有电流。接触电动势温差电动势塞贝克效应第三十四页，共一百一十九页，2022年，8月28日两种导体的接触电动势玻耳兹曼常数塞贝克效应第三十五页，共一百一十九页，2022年，8月28日单一导体的温差电动势塞贝克效应第三十六页，共一百一十九页，2022年，8月28日塞贝克效应第三十七页，共一百一十九页，2022年，8月28日金属的塞贝克系数α约为0～80μv/k，温差电效应较小，可制成热电偶，用于测温等。两种不同半导体联接回路两端保持不同温度，其α约为50～100μv/k，可制成温差发电器。塞贝克效应第三十八页，共一百一十九页，2022年，8月28日如果热电偶处于某一环境温度下，并在其回路中通入电流，由于珀耳帖效应（塞贝克效应的逆效应），则在两结点处分别放出和吸收与电流成正比关系的热量，其通入的电流是由电位差产生的，输出的热量是由温度差产生的。珀耳帖效应第三十九页，共一百一十九页，2022年，8月28日由此可知，塞贝克效应是因温度差而产生电流，珀耳帖效应是由电位差而产生热流，他们是可逆的。把这种不同种类的亲和力和流之间的效应称为一次效应，利用一次效应可以直接制成各种传感器。同一种类的亲和力和流之间的关系不能直接用于传感器中，但是利用它们与其他状态量的关系，仍可制成各种传感器，这种现象称为传输现象的二次效应。二、传输现象第四十页，共一百一十九页，2022年，8月28日电阻率是电场强度与其所引起的电流密度之比，是电导率的倒数，若利用它与变形、压力、温度等的关系，则可构成电阻应变式、压敏电阻、热敏电阻等传感器。电介质的介电常数是其电容率与真空电容率之比，不能直接构成传感器，但若利用介电常数与温度、湿度、容量等的关系，则可制成电容式温度传感器、电容式湿度传感器、电容式液位传感器等。二、传输现象第四十一页，共一百一十九页，2022年，8月28日量子现象：分子、原子、电子、光子、中子等微观客体遵循的物理学规律是微观规律，它所具有的各种现象，如物质分子和原子的能量是离散跳跃的、核磁共振、隧道效应、核辐射等。量子尺寸效应、光电效应核磁共振、约瑟夫逊效应三、量子现象第四十二页，共一百一十九页，2022年，8月28日量子尺寸效应：即指当粒子尺寸下降到某一数值时，费米能级附近的电子能级由准连续变为离散能级或者能隙变宽的现象。当能级的变化程度大于热能、光能、电磁能的变化时，导致了纳米微粒磁、光、声、热、电及超导特性与常规材料有显著的不同。量子尺寸效应第四十三页，共一百一十九页，2022年，8月28日光电效应外光电效应：在光的照射下，物质内部的电子受到光子的作用，吸收光子能量而从表面释放出来的现象，称为外光电效应，被释放的电子称为光电子，所以又称光电子发射效应。它是在1887年由德国人赫兹首先发现的。基于外光电效应的光电器件有光电管、光电倍增管等。44第四十四页，共一百一十九页，2022年，8月28日光电效应内光电效应：在光的照射下，物质吸收入射光子的能量，在物质内部激发载流子，但这些载流子仍留在物质内部，从而增加物体的导电性或产生电动势、或产生光电流的现象，称为内光电效应。内光电效又可分为光电导效应和光生伏特效应两类。45第四十五页，共一百一十九页，2022年，8月28日光电效应光电导效应：某些物体（一般为半导体）受到光照时，其内部原子释放的电子留在内部而使物体的导电性增加、电阻值下降的现象称为光电导效应。绝大多数的高电阻率半导体都具有光电导效应。基于光电导效应的光电器件有光敏电阻等。46第四十六页，共一百一十九页，2022年，8月28日光电效应光生伏特效应：物体(一般指半导体)在光的照射下能产生一定方向的电动势的现象称为光生伏特效应。基于该效应的光电器件有光电池、光敏二极管、光敏三极管和半导体位置敏感器件等。47第四十七页，共一百一十九页，2022年，8月28日光电效应光生伏特效应侧向光生伏特效应:半导体位置敏感器件硅光电池硒光电池48第四十八页，共一百一十九页，2022年，8月28日磁共振量子现象不仅发生于光电传感器材料，在磁电、热电等各种传感器材料中也比比皆是。对原子、分子施加磁场影响就会加剧材料内部电子的热振，改变了材料原来的能量状态。所以如果使磁场以某一特定频率变化，使之产生共振现象，这种现象称作磁共振，是调整材料内部能量状态的一种重要手段。由于共振频率取决于磁场强度，所以这种量子效应也能用于磁场传感器。49第四十九页，共一百一十九页，2022年，8月28日约瑟夫逊效应约瑟夫逊效应是超导体的一种量子干涉效应。在两块超导体之间放置厚度约为10-9m的极薄的绝缘层，组成约瑟夫结或称超导隧道结。由于绝缘层厚度远比超导电子相干长度（可达10-6m）小得多，所以绝缘层两侧超导电子间就会发生耦合，呈现出超导电流的量子干涉现象，即约瑟夫逊效应。50第五十页，共一百一十九页，2022年，8月28日

约瑟夫逊效应隧道效应第五十一页，共一百一十九页，2022年，8月28日直流约瑟夫逊效应：约瑟夫逊结在不外加电压或磁场时，有直流电流通过绝缘层，即超导电流能无电阻地通过极薄的绝缘层；当约瑟夫逊结外加平行于结平面的磁场时，超导电流的相位受到磁场明显的调制作用，因而超导电流和磁场的关系出现类似夫琅和菲衍射图样。约瑟夫逊效应第五十二页，共一百一十九页，2022年，8月28日交流约瑟夫逊效应：约瑟夫逊结能够吸收和发射电磁波的现象。1.加以直流电压辐射电磁波给约瑟夫逊结加以直流电压时，约瑟夫逊结会产生频率与所加电压U成正比的高频超导电流，并向外辐射电磁波，电磁波频率为：约瑟夫逊效应第五十三页，共一百一十九页，2022年，8月28日2.加以直流和交流电压输出直流电流（压）给约瑟夫逊结加以直流电压，同时施加一交流射频电压或用一定频率的电磁波作用于结上，则当由直流电压引起的高频电流频率与外加交流射频电压频率相等，或与外加电磁波频率相等，或者是它们的整数倍时，将有直流成分的超导电流流过绝缘层，输出直流电压：约瑟夫逊效应第五十四页，共一百一十九页，2022年，8月28日热平衡与传输现象等热力学规律是热现象的宏观理论，统计物理学是从物质的微观结构出发，即从组成它们的原子、分子等微观粒子的运动及其相互作用出发，去研究宏观物体热性质的科学。统计物理学认为：所有宏观上可观测的物理量都是相应微观量的统计平均值，许多看似杂乱无章的微观运动表现出统计规律性。2.2.4统计物理学法则第五十五页，共一百一十九页，2022年，8月28日奈奎斯特定理：由统计物理可知，电子热运动的涨落，在电阻R的两端产生热噪声的电位波动，电阻R两端的热噪声电压Un的方均值为：热噪声型热敏电阻：测温精度高（0.1～0.5％），测量1500℃以下的温度，可在恶劣环境下使用；输出电压极小，例如当T＝300K，R＝100Ω，△f＝100kHz时，输出电压只有4×10-7V。2.2.4统计物理学法则第五十六页，共一百一十九页，2022年，8月28日UrUnSRr(Tr)R(Tx)U2∫Δ由于热噪声的频带宽度不易正确测定，因此目前多采用与基准噪声电压相比较的方法来测量温度。2.2.4统计物理学法则第五十七页，共一百一十九页，2022年，8月28日近年来由于超导量子干涉器件的问世，使热噪声温度测量已成为可能。它是利用热噪声对约瑟夫逊效应的扰动测量温度。由于约瑟夫逊结辐射的频率与通过结的电压有关，因此当被测温度使结的正常电阻两端产生噪声电压时，此电压的涨落将使结输出的微波频率变化，但其辐射带宽是有限的，因而可以很精确地测量出，而测量噪声电压的精度也可以很高。2.2.4统计物理学法则第五十八页，共一百一十九页，2022年，8月28日本章内容2.1信息获取与信息感知2.2自然规律与传感器2.3传感器的基础效应2.4传感器的新型敏感材料2.5弹性敏感元件59第五十九页，共一百一十九页，2022年，8月28日物质效应与物性型传感器光电效应电光效应磁光效应磁电效应热电效应和热释电效应压电、压阻和磁致伸缩效应约瑟夫逊效应与核磁共振光的多普勒效应和萨古纳克效应声音的多普勒效应及声电、声光效应与化学有关的效应纳米效应2.3传感器的基础效应第六十页，共一百一十九页，2022年，8月28日物质的光学特性（如折射率）受外电场的影响而发生变化的现象统称为电光效应。泡克耳斯（Pockels）效应克尔效应光弹效应电致发光效应电致变色效应2.3.3电光效应第六十一页，共一百一十九页，2022年，8月28日1893年德国物理学家泡克耳斯首先发现，一些晶体在纵向电场（电场方向与光的传播方向一致）作用下会改变其各向异性性质，产生附加的双折射现象，称为电致双折射。泡克耳斯从实验证实压电晶体的两个主折射率主之差为：线性电光效应泡克耳斯效应第六十二页，共一百一十九页，2022年，8月28日1875年英国物理学家克尔发现，光照射具有各向同性的透明物质，在与入射光垂直的方向上加以高电压将发生双折射。因两个主折射率之差正比于电场强度的平方，故这种效应又称作平方电光效应。克尔效应第六十三页，共一百一十九页，2022年，8月28日某些非晶体物质（如塑料、玻璃）在机械力的作用下，弹性体的折射率发生变化，呈现双折射性质的效应。这称作应力致双折射或光弹效应。光弹效应的双折射是暂时的，应力解除后即消失。光弹性效应可用于研究机械零件、建筑构件等物体内部应力的情况。利用光弹效应可制成压力、振动、声响传感器。光弹效应第六十四页，共一百一十九页，2022年，8月28日电致发光效应：某些固态晶体如高纯度锗、硅和砷化镓等化合物半导体在光和外加电场作用下发出冷光（指荧光和磷光）的现象，以及某些固态晶体如磷化镓、磷化铟等无需外加激发光而在外加电场作用下即可发光的现象。电致发光是将电能直接转换为光能的过程。基于电致发光效应的器件有发光二极管、半导体激光器等。电致发光效应第六十五页，共一百一十九页，2022年，8月28日这种在电流或电场的作用下,材料发生可逆变色的现象，称为电致变色效应。基于致变色效应的主要器件有信息显示器件、电致变色灵巧窗、无眩反光镜、电色储存器件等。电致变色效应第六十六页，共一百一十九页，2022年，8月28日置于外磁场的物体，在光和外磁场的作用下，其光学特性（如吸光特性、折射率等）发生变化的现象称为磁光效应。法拉第效应磁光克尔效应科顿-穆顿效应塞曼效应光磁效应2.3.4磁光效应第六十七页，共一百一十九页，2022年，8月28日当线偏振光在介质中传播时，若在平行于光的传播方向上加一强磁场，则光振动方向将发生偏转，偏转角度与外磁场强度和光穿越介质的长度的乘积成正比，即：式中：V—磁光效应常数或费尔德常数，与介质性质及光波频率有关，可正可负；He—外磁场强度。法拉第效应第六十八页，共一百一十九页，2022年，8月28日

磁光调制器法拉第效应第六十九页，共一百一十九页，2022年，8月28日平面偏振光垂直入射于抛光的强电磁铁的磁极表面，所产生的反射光是一束椭圆偏振光，且偏振面的偏转角度随磁场强度而变化，这种现象叫磁光克尔效应。克尔磁光效应的最重要应用是观察铁磁体的磁畴。磁光克尔效应第七十页，共一百一十九页，2022年，8月28日磁畴是指磁性材料内部的一个个小区域，每个区域内部包含大量原子，这些原子的磁矩都象一个个小磁铁那样整齐排列，但相邻的不同区域之间原子磁矩排列的方向不同。不同的磁畴有不同的自发磁化方向，引起反射光振动面的不同旋转，通过偏振片观察反射光时，将观察到与各磁畴对应的明暗不同的区域。用此方法还可对磁畴变化作动态观察。磁光克尔效应克尔显微镜下的NdFeB颗粒中的磁畴第七十一页，共一百一十九页，2022年，8月28日科顿和穆顿于1907年发现光从处在横向磁场内的液体中通过时，产生双折射现象，称为科顿-穆顿效应，或磁致双折射效应。实验证实，处在外磁场内的媒质的二主折射率之差正比于磁感应强度H的平方：式中，C’为科顿-穆顿常数，它与光波波长λ和温度有关，与磁场强度无关。科顿-穆顿效应磁致伸缩传感器：利用磁致伸缩原理、通过两个不同磁场相交产生一个应变脉冲信号来准确地测量位置。第七十二页，共一百一十九页，2022年，8月28日原子在磁场中能级和光谱发生分裂的现象。塞曼效应是研究原子结构的重要途径之一。在天体物理中，塞曼效应被用来测量天体磁场及星际磁场。因变化量极小，难用于传感器，但可用于激光稳频，制成双频激光器。塞曼效应从太阳黑子谱线观测到的塞曼效应塞曼效应第七十三页，共一百一十九页，2022年，8月28日光的多普勒效应：当光源或观察者（光接收器）相对于介质（或散射体、反射器）运动时，观察者所接收到的光波频率不同于光波源的频率。由于多普勒效应而引起的频率变化数值称为多普勒频移。利用多普勒效应可以进行速度、流速、流量等测量，例如光纤式血液流速测量，激光多普勒超低速(1cm/h)、超音速测量等。2.3.9光的多普勒效应和萨古纳克效应第七十四页，共一百一十九页，2022年，8月28日同一光源同一光路，两束对向传播光之间的光程差或相位差与其光学系统相对于惯性空间旋转的角速度成正比的现象，称为萨古纳克效应。2.3.9光的多普勒效应和萨古纳克效应第七十五页，共一百一十九页，2022年，8月28日本章内容2.1信息获取与信息感知2.2自然规律与传感器2.3传感器的基础效应2.4传感器的新型敏感材料2.5弹性敏感元件76第七十六页，共一百一十九页，2022年，8月28日敏感元件是传感器的核心器件，它的作用是通过敏感材料的固有特性及相应的物理、化学、生物效应，将被测量转换为便于利用的物理量。传感器的敏感机理是自然规律中各种定律、法则和效应，而传感器的具体实现则是依靠一些能有效表现这些规律、现象的各种功能材料以及它们的装置。传感器的进步更依赖于新材料、新装置、新工艺的不断推陈出新。2.4.1敏感材料的工作机理第七十七页，共一百一十九页，2022年，8月28日按结晶状态可分为：单晶、多晶、非晶和微晶等。按电子结构和化学键可分为：金属、陶瓷和聚合物三大类。按物理性质又可分为：超导体、导电体、半导体、介电体、铁电体、压电体、铁磁体、铁弹体、磁弹体等几种。按形态分有：掺杂、微粉、薄膜、块状(带、片)、纤维等形态。2.4.2敏感材料的类型与特性第七十八页，共一百一十九页，2022年，8月28日按功能不同可分为：力敏、压敏、光敏、色敏、声敏、磁敏、气敏、湿敏、味敏、化学敏、生物敏、射线敏等十几类。按材料功能分有：导电材料、压电材料、热电材料、光电材料、磁性材料、透光和导光材料、发光材料、激光材料、非线性光学材料、光调制用材料、红外材料、隐身材料、梯度功能材料、机敏材料和智能材料、纳米材料、仿生材料等。按材料成分：金属材料、无机和有机。

2.4.2敏感材料的类型与特性第七十九页，共一百一十九页，2022年，8月28日功能⑴感知功能：能够检测并且可以识别外界（或者内部）的刺激强度。⑵响应功能：能够根据外界环境和内部条件变化，适时动态地作出相应的反应，并且反应灵敏、及时和恰当。⑶信息识别与积累功能：能够识别传感网络得到的各类信息并将其积累起来。⑷恢复功能：当外部刺激消除后，能够迅速恢复到原始状态。⑸智能功能：部分材料还具有自诊断、自修复、自调节等智能功能。2.4.2敏感材料的类型与特性第八十页，共一百一十九页，2022年，8月28日特性⑴敏感性好：包括灵敏系数高、响应速度快、适用范围宽、检测精度高、动态特性好、输出特性易于调整和补偿、选择性好等。⑵可靠性好：包括耐热、耐磨损、耐腐蚀、耐振动、耐过载等。⑶加工性好：包括易成型、批量生产实现集成化、尺寸稳定、互换性好等。⑷经济性好：包括成本低、成品率高、性能/价格比高等。2.4.2敏感材料的类型与特性第八十一页，共一百一十九页，2022年，8月28日

2.4.3新型敏感材料第八十二页，共一百一十九页，2022年，8月28日1.半导体敏感材料：元素半导体主要有锗、硅、硒、硼、碲、锑等；50年代，锗在半导体中占主导地位，但其耐高温和抗辐射性能较差，到60年代后期逐渐被硅材料取代；用硅制造的半导体器件，耐高温和抗辐射性能较好，特别适宜制作大功率器件；因此，硅已成为应用最多的一种半导体材料，目前的集成电路大多数是用硅材料制造的。2.4.3新型敏感材料第八十三页，共一百一十九页，2022年，8月28日硅单晶硅的组成原子均按照一定的规则，周期性的排列。（效率高、性能稳定）多晶硅的硅原子堆积方式不只一种，它是由多种不同排列方向的单晶所组成。（制作简单、成本较低）非晶硅是指硅原子的排列非常紊乱，没有规则可循。（对光的吸收性强，但稳定性较差，在强烈光线照射下会产生缺陷而导致电流下降，发生供电不稳定的问题）

2.4.3新型敏感材料第八十四页，共一百一十九页，2022年，8月28日化合物半导体由两种或两种以上的元素化合而成。它的种类很多，重要的有砷化镓、磷化铟、锑化铟、碳化硅、硫化镉及镓砷硅等。砷化镓是制造微波器件和集成电路的重要材料

。碳化硅由于其抗辐射能力强、耐高温和化学稳定性好，在航天技术领域等有着广泛的应用。2.4.3新型敏感材料磷化铟锑化铟红外探测器件砷化镓太阳能电池第八十五页，共一百一十九页，2022年，8月28日无定形半导体用作半导体的玻璃是一种非晶体无定形半导体材料，分为氧化物玻璃和非氧化物玻璃两种。这类材料具有良好的开关和记忆特性和很强的抗辐射能力，主要用来制造阈值开关、记忆开关和固体显示器件。2.4.3新型敏感材料氧化铒氧化铥不同通电情况下，氧化玻璃显示不同第八十六页，共一百一十九页，2022年，8月28日有机半导体已知的有机半导体材料有几十种，包括萘、蒽、聚丙烯腈、酞菁和一些芳香族化合物等。有机半导体材料和器件的应用研究与产业化正在蓬勃进行中，有可能在有机电致发光、有机光电转化、有机场效应管、太阳能电池以及信息存贮器件等领域得到广泛应用

。2.4.3新型敏感材料塑料芯片导电塑料第八十七页，共一百一十九页，2022年，8月28日新型复合材料，是继天然材料、人造材料、精细材料之后的第四代功能材料。具有感知内外环境刺激，对之进行分析、处理、判断、并采取一定的措施进行适度响应的智能特征的材料。将高技术传感器或敏感元件与传统的结构材料和功能材料结合在一起，赋予材料崭新的性能，兼具传感、调节驱动、处理执行的功能，能随着环境的变化而改变性能或形状，使自身功能处于最佳状态。智能材料是传感技术与材料科学、信息处理与控制相融合的产物。智能材料振动音箱使用记忆合金的机械蝙蝠智能背心记忆材料第八十八页，共一百一十九页，2022年，8月28日特征⑴传感功能：能够感知外界或自身所处的环境条件，如负载、应力、应变、振动、热、光、电、磁、化学、核辐射等的强度及其变化。

⑵反馈功能：可通过传感网络，对系统输入与输出信息进行对比，并将其结果提供给控制系统。⑶信息识别与积累功能：能够识别传感网络得到的各类信息并将其积累起来。⑷思考功能和预见功能：能在过去经验的基础上，对来自传感网络的各种信息进行分析，并可预见未来将出现的情况。智能材料第八十九页，共一百一十九页，2022年，8月28日⑸响应功能：能够根据外界环境和内部条件变化，适时动态地作出相应的反应，并采取必要行动。

⑹自诊断能力：能通过分析比较系统目前的状况与过去的情况，对诸如系统故障与判断失误等问题进行自诊断并予以校正。⑺自修复能力：能通过自繁殖、自生长、原位复合等再生机制，来修补某些局部损伤或破坏。⑻自调节能力：对不断变化的外部环境和条件，能及时地自动调整自身结构和功能，并相应地改变自己的状态和行为，从而使材料系统始终以一种优化方式对外界变化做出恰如其分的响应。智能材料第九十页，共一百一十九页，2022年，8月28日构成⑴基体材料：担负着承载的作用，一般宜选用轻质材料。高分子材料（重量轻、耐腐蚀），金属材料（轻质有色合金为）。⑵敏感材料：担负着传感的任务，其主要作用是感知环境变化。形状记忆材料、压电材料、光纤材料、磁致伸缩材料、电致变色材料、电流变体、磁流变体和液晶材料等。⑶驱动材料：因为在一定条件下驱动材料可产生较大的应变和应力，所以它担负着响应和控制的任务。常用有效驱动材料如形状记忆材料、压电材料、电流变体和磁致伸缩材料等。智能材料第九十一页，共一百一十九页，2022年，8月28日分类按功能：光导纤维、形状记忆、压电、电流变体、电（磁）致伸缩材料等。按来源：金属（形状记忆合金、形状记忆复合材料）、无机非金属（电流变体、压电陶瓷、光致变色和电致变色材料）、高分子（凝胶、膜材、粘合剂）。

智能材料光导纤维形状记忆压电陶瓷形状记忆夹板第九十二页，共一百一十九页，2022年，8月28日“陶瓷”一词就其传统上来说，是将粘土一类的物料经过高温烧结处理变成坚硬有用的多晶材料。

现代陶瓷实际上泛指半导体以外的所有无机非金属材料。它是用天然或人工合成的粉状化合物，经过成形和高温烧结制成的，由金属和非金属元素的无机化合物构成的多晶固体材料。陶瓷敏感材料压阻陶瓷压力传感器压电陶瓷压力传感器压电陶瓷滤波器第九十三页，共一百一十九页，2022年，8月28日“功能陶瓷”是现代陶瓷发展的新成果，常被称为先进陶瓷。功能陶瓷利用材料的电、光、磁、声、热和力等性能及其耦合效应，成为对温度、压力、磁性和光强变化等外界条件特别敏感的材料。陶瓷敏感材料是采用化学、物理及热性能稳定的金属氧化物经高温烧结而成的，具有耐热、耐磨、耐腐蚀等优良特性，而且适宜用在条件苛刻的气氛中。陶瓷敏感材料热敏功能陶瓷氧化锆耐磨耐高温陶瓷第九十四页，共一百一十九页，2022年，8月28日特点：陶瓷是用无机粉末作原材料，经过混合成形、烧结等工艺制成的一种材料。通过改变无机粉末的组成，可以制成性能不同的各种陶瓷敏感材料。陶瓷材料的微结构——晶粒、晶界、气孔等对材料的性能影响很大，这些微结构受制造工艺的影响。陶瓷敏感材料第九十五页，共一百一十九页，2022年，8月28日由于陶瓷材料是经过混合、成形、高温烧结等简单工艺制成的，所以容易实现批量生产，同时价格低廉。陶瓷材料不燃烧、耐腐蚀、耐磨损，这些性能都是制造可靠性高的敏感元件所必需的。可通过和其他材料复合改进性能。还可利用陶瓷的多功能性，实现用单一陶瓷片制成多功能敏感元件。陶瓷敏感材料第九十六页，共一百一十九页，2022年，8月28日纳米陶瓷：采用的原料的粒度和显微结构及所体现的特性都是纳米量级的，并具有纳米效应。当制作陶瓷的颗粒和陶瓷中的晶粒、晶界、气孔和缺陷等都降到纳米级水平，由于表面与界面非常大，形成了纳米材料特有的小尺寸效应、表面效应和量子效应。电子陶瓷：具有电功能的陶瓷，如压电陶瓷、介电陶瓷、热电陶瓷、光电陶瓷和半导体陶瓷。半导体陶瓷是传感器应用常用材料，其尤以热敏（高温）、湿敏（不需要加热清洗）、气敏（不使用催化剂的低温材料和高温材料）、电压敏（低压用材料和高压用材料）最为突出。陶瓷敏感材料第九十七页，共一百一十九页，2022年，8月28日压电晶体：石英、酒石酸钾钠、电气石、磷酸铵等。石英晶体的突出优点是性能非常稳定，在常温范围内，介电常数和压电常数几乎不随温度变化。动态响应好、机械强度高、绝缘性能好、迟滞小、重复性好、线性范围宽等优点。石英晶体的缺点是压电常数较小，因此在一般要求测量用的压电式传感器中，则基本上采用压电陶瓷。

压电材料石英酒石酸钾钠电气石第九十八页，共一百一十九页，2022年，8月28日压电陶瓷：由几种氧化物或碳酸盐在烧结过程中发生固相反应而形成。钛酸钡：压电常数要比石英晶体的大几十倍，但其温度稳定性、长时期稳定性以及机械强度都小于石英，而且工作温度最高只有80℃左右。锆钛酸铅（PZT）：由钛酸铅和锆酸铅组成的固熔体，具有很高的介电常数，工作温度可达250℃，各项机电参数随温度和时间等外界因素的变化较小。压电材料压电陶瓷钛酸钡锆钛酸铅第九十九页，共一百一十九页，2022年，8月28日压电陶瓷：制造容易，可做成各种形状；可任意选择极化轴方向；易于改变瓷料的组分而得到具有各种性能的瓷料；成本低，适于大量生产。但由于是多晶材料，所以使用频率受到限制。有机压电材料：新近研究开发出来的新型压电材料，如聚氯乙烯（PVC）、聚氟乙烯（PVF）、聚二氟乙烯（PVF2）等，它具有柔软、不易破碎的特点。压电材料第一百页，共一百一十九页，2022年，8月28日要求：机-电转换性能:应具有较大的压电常数。

机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的强度高，刚度大，以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率。电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以期减弱外部分布电容的影响和减小电荷泄漏并获得良好的低频特性。温度和湿度稳定性良好，具有较高的居里点以期得到较宽的工作温度范围。

时间稳定性：压电特性不随时间蜕变。压电材料第一百零一页，共一百一十九页，2022年，8月28日目前磁致伸缩智能材料的主流是稀土磁致伸缩材料，稀土超磁致伸缩材料是近期才发展起来的一种新型功能材料。这种材料在电磁场的作用下可以产生微变形或声能，也可以将微变形或声能转化为电磁能。特点：磁致伸缩值大、机械响应速度快、功率密度高磁致伸缩材料磁致伸缩液位计磁致伸缩位移传感器第一百零二页，共一百一十九页，2022年，8月28日形状记忆材料：具有形状记忆效应（ShapeMemoryEffect）的材料。形状记忆效应：将材料在一定条件下进行一定限度以内的变形后，再对材料施加适当的外界条件，材料的变形随之消失而回复到变形前的形状的现象。形状记忆材料形状记忆塑料形状记忆聚合材料第一百零三页，共一百一十九页，2022年，8月28日（1）形状恢复形式单程记忆效应：加热时恢复高温相形状,冷却时不恢复低温相形状的现象。双程记忆效应：加热时恢复高温相状态,冷却时恢复低温相形状。全程记忆效应：加热时恢复高温相形状，冷却时变为形状相同而取向相反的低温相形状。形状记忆材料第一百零四页，共一百一十九页，2022年，8月28日种类：1）形状记忆合金（SMA）在高温下处理成一定形状的金属急冷下来，在低温相状态下经塑性变形为另一种形状，然后加热到高温相成为稳定状态的温度时，恢复到低温塑性变形前的形状。具有这种效应的金属，通常是由两种以上的金属元素构成的合金。形状记忆材料第一百零五页，共一百一十九页，2022年，8月28日2）形状记忆陶瓷（SMC）热诱发、应力诱发、外电场诱发。陶瓷的形状记忆变形的量较小；而且每次记忆循环中都有较大的不可恢复变形；随着循环次数的增加，累积变形增加，最终导致裂纹出现；它没有双程记忆效应。形状记忆材料形状记忆结构形状记忆散热器护栅第一百零六页，共一百一十九页，2022年，8月28日3）形状记忆高分子（SMP）①变