JJF 1238-2022集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1238—2022

集成电路静电放电敏感度

测试设备校准规范

CalibrationSpecificationforTestingSystemsofMicrocircuits

Electro-staticDischarge(ESD)Sensitivity

2022-09-26发布2023-03-26实施

国家市场监督管理总局发布

JJF1238—2022

集成电路静电放电敏感度

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测试设备校准规范ॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣॣৣॣ

ॣJJF1238—2022ॣ

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CalibrationSpecificationforTestingSystemsof代ॣ替JJF12382010ॣ

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MicrocircuitsElectro-staticDischarge

(ESD)Sensitivity

归口单位全国无线电计量技术委员会

:

起草单位中国电子技术标准化研究院

:

本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释

JJF1238—2022

本规范主要起草人

:

邢荣欣中国电子技术标准化研究院

()

吴京燕中国电子技术标准化研究院

()

参加起草人

:

蔡依林中国电子技术标准化研究院

()

JJF1238—2022

目录

引言

………………………(Ⅱ)

范围

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

术语

3……………………(1)

概述

4……………………(1)

计量特性

5………………(3)

人体模型放电

5.1………………………(3)

机器模型放电

5.2………………………(3)

闩锁模型放电

5.3………………………(4)

校准条件

6………………(4)

环境条件

6.1……………(4)

测量标准及其他设备

6.2………………(4)

校准项目和校准方法

7…………………(5)

校准项目

7.1……………(5)

校准方法

7.2……………(5)

校准结果的表达

8………………………(10)

复校时间间隔

9…………(11)

附录原始记录格式

A…………………(12)

附录校准证书内页格式

B……………(15)

附录主要项目校准不确定度评定示例

C……………(18)

Ⅰ

JJF1238—2022

引言

国家计量校准规范编写规则和测量不确定

JJF1071—2010《》JJF1059.1—2012《

度评定与表示共同构成支撑本规范编制修订工作的基础性系列规范

》。

本校准规范参考了微电子器件试验方法和程序

GJB548B—2005《》、ANSI/ESD

静电放电敏感度测试人体模型器件级

STM5.1—2007《(HBM)》、JESD22-A115C—

静电放电敏感度测试机器模型和集成电路闩锁

2010《(MM)》JESD78E—2016《

测试

》。

本规范是对集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范的修

JJF1238—2010《》

订主要修订内容

,:

增加了机器模型和闩锁模型放电校准

———。

将人体放电电压校准范围由扩展到

———(500~8000)V(100~8000)V。

在人体模型放电参数校准中增加了负载下放电电流参数的校准

———,500Ω。

修订了测量不确定度评定的示例

———。

本规范历次版本发布情况

:

JJF1238—2010。

Ⅱ

JJF1238—2022

集成电路静电放电敏感度

测试设备校准规范

1范围

本规范适用于集成电路静电放电敏感度测试设备人体模型机器模型和闩锁模

(、

型的校准

)。

2引用文件

微电子器件试验方法和程序

GJB548B—2005

静电放电敏感度测试人体模型器件级

ANSI/ESDSTM5.1—2007(HBM)

[ForElectrostaticDischargeSensitivityTesting—HumanBodyModel(HBM)Compo-

nentLevel]

静电放电敏感度测试机器模型

JESD22-A115C—2010—(MM)[Electrostatic

Discharge(ESD)SensitivityTesting,MachineMode(MM)]

集成电路闩锁测试

JESD78E—2016(ICLatch-UpTest)

凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范

,()。

3术语

人体模型脉冲持续时间

3.1()(HumanBodyModel)pulseduration

放电电流从峰值衰减到峰值所需要的时间

100%36.8%。

机器模型谐振频率

3.2()(MachineModel)resonancefrequency

放电电流第次过零点与第次过零点时间间隔tf的倒数

13r。

4概述

集成电路静电放电敏感度测试设备也称设备主要模拟产生自然界中人体

(ESD)、

机器可能带有的静电电压并将产生的静电电压施加到被测器件上以考察器件的抗静

,