• 现行
  • 正在执行有效
  • 2014-10-14 颁布
  • 2015-04-01 实施
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文档简介

ICS7712099

H68..

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T954—2014

金砷蒸发料

Gold-arsenicalloyforevaporating

2014-10-14发布2015-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T954—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位北京达博有色金属焊料有限责任公司有色金属技术经济研究院

:、。

本标准主要起草人陈彪向磊杜连民张蕴向翠华闫茹赵月国禹洁丽杨志新周晓光

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T954—2014

金砷蒸发料

1范围

本标准规定了金砷蒸发料的要求试验方法检验规则和标志包装运输贮存及质量证明书与合

、、、、、

同或订货单等内容

()。

本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

金化学分析方法金量的测定火试金法

GB/T11066.1

贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

GB/T15077

高纯金化学分析方法第部分乙酸乙酯萃取分离法测定杂质元素

GB/T25934.11:-ICP-AES

的含量

3要求

31产品分类

.

311产品按化学成分分为和两种牌号

..Z-Au99.80AsZ-Au99.50As。

312产品主要以柱状和线盘状为主产品形状及供货状态见表

..,1。

表1

形状产品形状供货状态

柱状直径为长度为的线材

0.5mm~8mm、2mm~100mm

直径为质量在的线材盘成线盘状为主线盘外径为硬态

线盘状0.5mm~2mm、100g~500g,100mm~

300mm

32产品标记示例

.

321柱状产品标记

..:

ϕ

Z-Au99.80As,×mm

长度

直径

示例直径为长度为成分为的柱状金砷蒸发料标记为ϕ

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