标准解读

《GB/T 8758-1988 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》是一项国家标准，它详细规定了使用红外光干涉技术来测定砷化镓材料上外延生长层厚度的方法。该标准适用于对单晶砷化镓衬底上通过气相沉积、液相外延或分子束外延等工艺形成的砷化镓外延层进行厚度测量。

在本标准中，主要介绍了如何利用红外光源产生的光波，在经过样品表面反射后形成干涉条纹，并通过对这些条纹的分析计算出外延层的具体厚度值。此过程涉及到选择合适的光源（如钨丝灯）、调整实验装置使得光线能够垂直入射到样品表面以及采用适当的方法记录和处理所得到的干涉图样等步骤。


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  • 1988-02-25 颁布
  • 1989-02-01 实施
©正版授权
GB/T 8758-1988砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法_第1页
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文档简介

UDC661.868.1.46：620.1H21中华人民共和国国家标准GB8758-88砷化镍外延层厚度红外干涉测量方法Measuringthicknesssofepitaxiallayersofgalliumarsenidebyinfraredinterference1988-02-25发布1989-02-01实施家标准）发布

中华人民共和国国家标准UDC661.868·1.46：620.1砷化镖外延层厚度红外干涉GB8758-88测量方法Measuringthicknessofepitaxiallayersofgalliumarsenidebyinfraredinterfercnce本标准适用于砷化镖外廷层厚度的测定。，可测厚度大于2山m。要求衬底电阻率小于0.020·cm,外延层的电阻率大于0.12·cm。原理村底与外延层的光学常数差别较大,当红外光入射到外延片表面时,在反射光谱中产生干涉条纹。根据干涉条纹的极大值或极小值的波长位置、衬底和外延层的光学常数以及光束的入射角，计算出外延层的厚度。2样品要求2-1样品应具有良好的光学表面，不应有大面积的钝化层2.2衬底和外延层的导电类型和衬底电阻率应是已知的。3仪器和附件3.1仪器3.1.1波长范围为2.5～50um（4000～200cm²）的双光束红外分光光度计或傅立叶变换红外光谱仪、3.1.2波长重复性和波长精度至少为0.05um。3.1.3在1000cm-处,光谱分辨率为2cm²或更小.3.2附件3.2.1与分光光度计相匹配的反射附件,入射角不大于30°3.2.2光阑：应以非反射的黑体材料制成，具有各种孔径。4测量步骥4.1分光光度计校准4.1.1测定波长精度和重复性。测址厚度为300～500m聚苯乙烯膜吸收光谱，并以3.303m吸收带为测量参考谱带,测量10.次，其结果应满足3.1.2的要求。4.1.2将反射附件置入光路中,测量100%线，其峰谷值应小于8%。4.2.测量条件选择4.2.1安装反射附件。4.2.2按照下列步骠选择最大的扫描速度。使用衬底和外延层电阻率分别为0.008·cm和0.12（·cm的外延片在波长大于25u

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