标准解读
《GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备》是一项国家标准，主要针对用于氮化镓材料的激光剥离工艺中的专用设备进行了规定。该标准涵盖了设备的基本要求、安全性能、环境适应性以及操作与维护等多个方面。
在基本要求部分，明确了设备应具备的功能特性，包括但不限于能够精确控制激光功率密度、扫描速度等关键参数，以确保剥离过程的有效性和重复性。此外，还对设备的操作界面友好度提出了建议，旨在提高用户体验和工作效率。
关于安全性能，标准详细列举了多项具体要求，比如电气安全、机械安全以及激光辐射防护措施等。通过设定这些规范，旨在保护操作人员免受潜在危害，并减少因不当使用或设备故障引发的风险。
环境适应性方面，则考虑到了不同应用场景下可能遇到的各种条件变化，如温度波动、湿度影响等因素。为此，《GB/T 37466-2019》中特别强调了设备设计时需考虑到其在各种环境条件下稳定运行的能力。
对于操作与维护，《GB/T 37466-2019》提供了详细的指南，包括设备日常保养方法、常见问题解决策略等内容。这部分内容有助于延长设备使用寿命，同时也能保证其长期处于最佳工作状态。
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....
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- 现行
- 正在执行有效
- 2019-06-04 颁布
- 2019-10-01 实施
文档简介
ICS31-550
L95
中华人民共和国国家标准
GB/T37466—2019
氮化镓激光剥离设备
Laserlift-offequipmentusedforGaN
2019-06-04发布2019-10-01实施
国家市场监督管理总局发布
中国国家标准化管理委员会
GB/T37466—2019
目次
前言
…………………………Ⅲ
范围
1………………………1
规范性引用文件
2…………………………1
术语和定义
3………………1
产品分类和标记
4…………………………2
分类
4.1…………………2
型号标记
4.2……………3
工作条件
5…………………4
电源
5.1…………………4
环境温度
5.2……………4
相对湿度
5.3……………4
大气压力
5.4……………4
洁净室等级
5.5…………………………4
电磁干扰
5.6……………4
地基振动要求
5.7………………………4
要求
6………………………4
外观
6.1…………………4
激光要求
6.2……………4
扫描台
6.3………………5
整机性能
6.4……………5
电气要求
6.5……………5
控制装置
6.6……………5
软件要求
6.7……………6
电磁兼容
6.8……………6
噪声
6.9…………………6
平均无故障时间
6.10……………………6
安全要求
6.11……………6
检测方法
7…………………7
外观检查
7.1……………7
激光检查
7.2……………7
扫描台检查
7.3…………………………8
整机性能检测
7.4………………………9
电气检查
7.5……………9
控制装置检查
7.6………………………10
软件检测
7.7……………10
电磁兼容试验
7.8………………………10
Ⅰ
GB/T37466—2019
噪声测试
7.9……………10
平均无故障时间验证
7.10……………10
安全要求检查
7.11……………………10
检验规则
8…………………11
检验分类
8.1……………11
鉴定检验
8.2……………11
出厂检验
8.3……………11
判定规则
8.4……………11
标志包装运输和贮存
9、、…………………12
标志
9.1…………………12
包装
9.2…………………12
运输
9.3…………………13
贮存
9.4…………………13
Ⅱ
GB/T37466—2019
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任
。。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口
(SAC/TC203)。
本标准起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司中国电子技术标准化研究院
:、。
本标准主要起草人孙永健刘鹏丁晓民冯亚彬汪青
:、、、、。
Ⅲ
GB/T37466—2019
氮化镓激光剥离设备
1范围
本标准规定了氮化镓激光剥离设备以下简称激光剥离设备的产品分类和标记工作条件要
(“”)、、
求检测方法检验规则标志包装运输和贮存
、、、、、。
本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓基外延层进行剥离的设备氮化铝
(GaN),
激光剥离设备可参考本标准
。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
包装储运图示标志
GB/T191
安全色
GB2893—2008
安全标志及其使用导则
GB2894—2008
声学声压法测定噪声源声功率级和声能量级采用反射面上方包络测量面
GB/T3768—2017
的简易法
外壳防护等级代码
GB/T4208—2017(IP)
工业科学和医疗射频设备骚扰特性限值和测量方法
GB4824—2013、(ISM)
旋转电机整体结构的防护等级代码分级
GB/T4942.1—2006(IP)-
设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试
GB/T5080.7—1986
验方案
小功率电动机第部分通用技术条件
GB/T5171.1—20141:
机械电气安全机械电气设备第部分通用技术条件
GB5226.1—20081:
运输包装收发货标志
GB/T6388
激光产品的安全第部分设备分类要求
GB7247.1—20121:、
低压成套开关设备和控制设备第部分总则
GB/T7251.1—2013
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