GB/T 37466-2019氮化镓激光剥离设备

ICS31-550

L95

中华人民共和国国家标准

GB/T37466—2019

氮化镓激光剥离设备

Laserlift-offequipmentusedforGaN

2019-06-04发布2019-10-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T37466—2019

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

产品分类和标记

4…………………………2

分类

4.1…………………2

型号标记

4.2……………3

工作条件

5…………………4

电源

5.1…………………4

环境温度

5.2……………4

相对湿度

5.3……………4

大气压力

5.4……………4

洁净室等级

5.5…………………………4

电磁干扰

5.6……………4

地基振动要求

5.7………………………4

要求

6………………………4

外观

6.1…………………4

激光要求

6.2……………4

扫描台

6.3………………5

整机性能

6.4……………5

电气要求

6.5……………5

控制装置

6.6……………5

软件要求

6.7……………6

电磁兼容

6.8……………6

噪声

6.9…………………6

平均无故障时间

6.10……………………6

安全要求

6.11……………6

检测方法

7…………………7

外观检查

7.1……………7

激光检查

7.2……………7

扫描台检查

7.3…………………………8

整机性能检测

7.4………………………9

电气检查

7.5……………9

控制装置检查

7.6………………………10

软件检测

7.7……………10

电磁兼容试验

7.8………………………10

Ⅰ

GB/T37466—2019

噪声测试

7.9……………10

平均无故障时间验证

7.10……………10

安全要求检查

7.11……………………10

检验规则

8…………………11

检验分类

8.1……………11

鉴定检验

8.2……………11

出厂检验

8.3……………11

判定规则

8.4……………11

标志包装运输和贮存

9、、…………………12

标志

9.1…………………12

包装

9.2…………………12

运输

9.3…………………13

贮存

9.4…………………13

Ⅱ

GB/T37466—2019

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司中国电子技术标准化研究院

:、。

本标准主要起草人孙永健刘鹏丁晓民冯亚彬汪青

:、、、、。

Ⅲ

GB/T37466—2019

氮化镓激光剥离设备

1范围

本标准规定了氮化镓激光剥离设备以下简称激光剥离设备的产品分类和标记工作条件要

(“”)、、

求检测方法检验规则标志包装运输和贮存

、、、、、。

本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓基外延层进行剥离的设备氮化铝

(GaN),

激光剥离设备可参考本标准

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

包装储运图示标志

GB/T191

安全色

GB2893—2008

安全标志及其使用导则

GB2894—2008

声学声压法测定噪声源声功率级和声能量级采用反射面上方包络测量面

GB/T3768—2017

的简易法

外壳防护等级代码

GB/T4208—2017(IP)

工业科学和医疗射频设备骚扰特性限值和测量方法

GB4824—2013、(ISM)

旋转电机整体结构的防护等级代码分级

GB/T4942.1—2006(IP)-

设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试

GB/T5080.7—1986

验方案

小功率电动机第部分通用技术条件

GB/T5171.1—20141:

机械电气安全机械电气设备第部分通用技术条件

GB5226.1—20081:

运输包装收发货标志

GB/T6388

激光产品的安全第部分设备分类要求

GB7247.1—20121:、

低压成套开关设备和控制设备第部分总则

GB/T7251.1—2013