标准解读

《GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝》是中国国家标准之一，针对电子工业中使用的高纯度三甲基铝（TMA）制定了详细的技术要求和测试方法。该标准适用于半导体制造过程中作为化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)的前驱体材料。根据此标准，三甲基铝产品需满足特定纯度要求，并对可能存在的杂质种类及其最大允许含量进行了明确规定。

标准内包含了一系列质量控制指标，如主成分含量、水分、金属离子浓度等关键参数的具体数值限制，确保了产品的稳定性和可靠性。此外，《GB/T 36653-2018》还提供了详细的采样规则及分析检测手段，包括但不限于气相色谱法、电感耦合等离子体质谱法等先进科学技术，以准确测定样品中各组分的含量。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-09-17 颁布
  • 2019-01-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS7110020

G86..

中华人民共和国国家标准

GB/T36653—2018

电子级三甲基铝

Electronicgradetrimethylaluminium

2018-09-17发布2019-01-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国

国家标准

电子级三甲基铝

GB/T36653—2018

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100029)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务热线

:400-168-0010

年月第一版

20189

*

书号

:155066·1-61410

版权专有侵权必究

GB/T36653—2018

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位江苏南大光电材料股份有限公司中国电子技术标准化研究院

:、。

本标准主要起草人陈化冰孙明璐王香曹可慰

:、、、。

Ⅰ

GB/T36653—2018

电子级三甲基铝

1范围

本标准规定了三甲基铝的技术要求试验方法检验规则包装标志运输储存和安全

、、、、、、。

本标准适用于烷基交换法钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝该产品主要

、。

用于生长化合物半导体薄膜材料等

。

分子式

:C3H9Al

相对分子质量按年国际相对原子质量计算

:72.09(2013)

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险货物包装标志

GB190

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

液体化工产品采样通则

GB/T6680

电子级水

GB/T11446.1

危险货物运输包装通用技术条件

GB12463

化学品安全标签编写规定

GB15258

常用化学危险品贮存通则

GB15603

洁净厂房设计规范

GB50073

3技术要求

三甲基铝的技术指标应符合表要求

1。

表1技术指标

项目指标

三甲基铝纯度质量分数-2

(C3H9Al)()/10≥99.99995

银含量

(Ag)/(μg/g)<0.2

硼含量

(B)/(μg/g)<0.5

钡含量

(Ba)/(g/g)<0.1

金属元素μ

铍含量

及其他元(Be)/(μg/g)<0.03

钙含量

素含量(Ca)/(μg/g)<0.03

镉含量

(Cd)/(μg/g)<0.1

钴含量

(Co)/(μg/g)<

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