标准解读

《GB/T 34879-2017 产品几何技术规范(GPS) 光学共焦显微镜计量特性及测量不确定度评定导则》是一项国家标准，主要针对使用光学共焦显微镜进行测量时涉及的技术规范。该标准详细规定了如何评价此类仪器的计量性能以及如何对通过这些设备获得的数据进行不确定度分析。

首先，在计量特性方面，标准涵盖了多个关键参数，如分辨率、线性度误差、重复性和再现性等，并提供了具体测试方法来评估这些参数是否符合要求。对于分辨率来说，它不仅包括横向分辨率也考虑到了纵向分辨率；而在线性度误差上，则关注的是整个测量范围内实际值与理论值之间偏差的程度。

其次，关于测量不确定度的评定部分，标准提供了一套系统的方法论框架，指导用户从输入量的选择开始，经过模型建立、灵敏系数计算直至最终合成扩展不确定度报告的过程。这当中特别强调了需要识别所有可能影响结果的因素，并合理估计其带来的不确定性贡献，同时也要考虑到不同来源间可能存在相关性的问题。

此外，本标准还给出了实例分析，帮助读者更好地理解如何将上述原则应用于实际案例中去。通过具体的步骤演示，展示了怎样基于实验数据完成不确定度评估，并且讨论了一些常见的误区及其避免策略。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-11-01 颁布
  • 2018-05-01 实施
©正版授权
GB/T 34879-2017产品几何技术规范(GPS)光学共焦显微镜计量特性及测量不确定度评定导则_第1页
GB/T 34879-2017产品几何技术规范(GPS)光学共焦显微镜计量特性及测量不确定度评定导则_第2页
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文档简介

ICS1704030

J04..

中华人民共和国国家标准

GB/T34879—2017

产品几何技术规范GPS

()

光学共焦显微镜计量特性及测量

不确定度评定导则

GeometricalroductsecificationsGPS—Metroloical

pp()g

characteristicsandguidetouncertaintyofmeasurement

foropticalconfocalmicroscopes

2017-11-01发布2018-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T34879—2017

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国产品几何技术规范标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC240)。

本标准起草单位哈尔滨工业大学中机生产力促进中心中国计量科学研究院北京锐驰恒业仪器

:、、、

科技有限公司

。

本标准主要起草人刘俭李梦周明翠新陈刚施玉书谭久彬王伟波刘辰光王宇航李亮

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34879—2017

产品几何技术规范GPS

()

光学共焦显微镜计量特性及测量

不确定度评定导则

1范围

本标准描述了光学共焦显微镜在宏观或微观三维表面形状测量中的计量特性并规定了测量不确

,

定度评定的横向和轴向测量结果的示值读取方法

。

本标准适用于工业测量光学共焦显微镜

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

产品几何技术规范表面结构区域法第部分表面层析测量方法

ISO25178-600(GPS):600:

的计量特性

(Geometricalproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part600:Metrologi-

calcharacteristicsforareal-topographymeasuringmethods)

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

共焦显微术confocalmicroscopyCM

;

采用约束性照明和约束性探测借助轴向扫描获得光学层析图像并通过提取轴向最大信号位置确

,,

定区域样品表面形状的测量方法

。

注实现照明与探测约束的掩模图案可能为单点多点网格或狭缝等任一能够产生层析特性的掩模图案

:、、。

32

.

照明模式illuminationpattern

使用特定图形结构限定样品被照明范围的照明方式

。

33

.

探测模式detectionpattern

使用特定图形结构限定探测器接收样品成像信号区域范围的探测方式

。

34

.

光学层析能力opticalsectioningstrength

共焦显微镜阻止离焦光信号被探测器接收的程度

。

35

.

平面扫描in-planescanning

在x-平面内获得共焦层析图像的机械或光学位移

y。

36

.

轴向扫描axialscan

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