标准解读

《GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板》是一项国家标准，主要针对用于制造光掩模的石英玻璃基板进行了规范。该标准详细定义了光掩模用石英玻璃基板的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。

在技术要求部分，明确了石英玻璃基板的基本性能指标，包括但不限于尺寸公差、表面质量（如平整度、粗糙度）、光学性质（例如透射率）及物理化学稳定性等。这些参数对于确保最终制成的光掩模能够满足微电子工业中对精度与稳定性的高要求至关重要。

关于试验方法，《GB/T 34178-2017》规定了一系列测试程序来验证产品是否符合上述技术要求，比如通过特定设备测量基板的几何形状误差、利用干涉仪检查表面状况、采用分光光度计测定材料的光学特性等。

此外，还制定了详细的抽样方案和合格判定准则，以指导生产者如何从批量产品中选取样本进行检测，并根据测试结果判断整批货物的质量状态。

最后，在标志、包装、运输和贮存方面也给出了具体指导，旨在保护产品免受外界环境因素的影响，保证其在整个供应链过程中的安全性和完整性。这包括建议使用何种类型的包装材料、标识内容应包含哪些信息、以及在不同条件下适宜采取的存储措施等内容。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-09-07 颁布
  • 2018-08-01 实施
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文档简介

ICS8104030

Q35..

中华人民共和国国家标准

GB/T34178—2017

光掩模石英玻璃基板

Silicaglasssubstratesforphotomask

2017-09-07发布2018-08-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T34178—2017

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国建筑材料联合会提出

。

本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会归口

(SAC/TC447)。

本标准起草单位中国建材检验认证集团股份有限公司中建材衢州金格兰石英有限公司长沙韶

:、、

光铬版有限公司中国建筑材料科学研究总院国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心

、、。

本标准主要起草人吴洁王京侠王友军李弋舟花宁刘焕敏肖颂华聂兰舰张浩运杨晓会

:、、、、、、、、、、

杨学东孔敏张应语

、、。

Ⅰ

GB/T34178—2017

光掩模石英玻璃基板

1范围

本标准规定了光掩模石英玻璃基板以下简称石英玻璃基板的术语和定义要求试验方法检验

()、、、

规则及标志包装运输和贮存

、、。

本标准适用于半导体集成电路光通讯微机电系统光电器件和发光二级管等光

、、(MEMS)、(LED)

刻工艺中光掩模石英玻璃基板

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

石英玻璃化学成分分析方法

GB/T3284—2015

透明石英玻璃气泡气线试验方法

GB/T5949、

氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

GB/T32189

光学石英玻璃

JC/T185

石英玻璃制品内应力检验方法

JC/T655

石英玻璃术语

JC/T2205

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

JC/T2205。

31

.

总厚度变化totalthicknessvariationTTV

;

石英玻璃基板厚度的最大值和最小值间的差

。

32

.

平整度flatness

石英玻璃基板背表面为理想平面时例如背表面放置在一个理想平坦的平面上石英玻璃基板正

,,、,

表面相对于规定的基准面的偏差以测量范围内总的示值读数表示

,(TIR)。

4要求

41规格尺寸及尺寸偏差

.

411石英玻璃基板为正方形形状示意图见图常规边长及边长偏差应符合表

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