ITO镀膜交流报告

1/50STN生产处B班（QQ406433680）2009.08.08镀膜交流2/50J/C作业时序及注意事项3/50■J/C时人员分工兰玉高兰玉高1、人员分工2、确认主操工艺参数输入正确性3、确认产品规格书，将要求事项传达给每个员工4、检查每个人工作完成情况罗斌1、更换框架2、计算转产时间，通知净化间转产时间及周期，控制投入量3、工艺参数设定及调整及良品投入数任其盛1、确认不良留样与计数报表一致性2、及时输入生产报表及镀膜转产3、跟踪Dummy数据及时反馈主操4/50■J/C时人员分工兰玉高朱建明彭军太张跃1、更换框架2、准备下机种所需的包材1、包装产品及生产结束打包入库2、准备下机种所需的包材3、打印下机种所需的标签4、当需要预热下个机种框架时，预热框架1、包装产品及生产结束打包入库2、将准备好的包材移送到现场3、当需要预热下个机种框架时，预热框架5/50■具体实施根据生产进展情况，必须提前做好准备工作提前准备好打印设备测试溶液提前升温■J/C准备6/50■J/C时间缩短作业流程项目内容责任人更换框架1、提前计算好上个品种最后一个框架号良品罗斌2、提前10分钟将预热好的框架移送到现场彭军太3、对最后一个良品后的框架立即进行更换罗斌彭军太7/50■J/C时间缩短作业流程项目内容责任人物性调整1、最后一个良品框架后面空5个框架通知净化间装载Dummy罗斌2、主操根据物性是一般规格，转产时好控制不需要挂第2次Dummy，在第1个Dummy后面空4个框架直接挂良品，如果在靶材末期生产高电阻时要挂第2次Dummy，特殊机种要等Dummy数据结果出来后才能通知净化间装载良品罗斌3、最后一个框架良品在哪个区开始更改该区温度,良品进入C9区更改DC、Ar、周期，罗斌4、第一个Dummy进入C9区间后，更改冷却时间，以最快速度放出Dummy，通过产品颜色估计膜厚度情况，测量电阻根据经验作相应调整罗斌5、Dummy品测量完电阻后送FQA测量透过率和膜厚度，结果出来立即反馈主操任其盛6、主操根据透过率和膜厚度再次作调整罗斌7、班长确认主操输入的工艺参数以及Dummy数据结果，判断良品需要作哪方面调整兰玉高结论一般机种物性转产时间是：

10个框架*周期靶材初、末期转产高电阻时间是：

16个框架*周期8/50■J/C时注意事项序号J/C时注意事项责任人1J/C更换框架时，更换框架作业者要检查确认好框架变形与否的正常状态相应作业者2认真确认产品规格书,特别是特记事项，要让每个员工都知道兰玉高3根据产品物性规格来判断进行的Dummy次数，计算出转产时间通知清洗和净化间罗斌4提前计算好Dummy装载的框架号罗斌5Dummy产品进入C5区间通知FQA加热溶液罗斌9/50■J/C时注意事项序号J/C时注意事项责任人6Dummy产品出来后要通过产品颜色调整DC，根据电阻调整温度，特别时注意上下电阻情况来调整理相应加热板温度罗斌7高电阻产品如HIT80Ω产品至少要挂2个Dummy，确认电阻没问题之后才能装载良品罗斌8根据经验判断不好生产的特殊机种要等FQA数据出来合格后才能生产罗斌9良品进入镀膜室后经常查看RGA数据波动情况罗斌、兰玉高10良品进入Sio2区间后查看RF反射功率情况，要将反射功率控制在最低罗斌、兰玉高11第一个框架良品进入C9区后要以最快的时间放出镀膜室（更改冷却时间）罗斌10/50说明：良品结束的下一框架镀膜工序开始更换框架，根据调整温度隔4-6个框架挂DUMMY关注：物性、安全、信息传递说明：当第一次DUMMY装载后，间隔5个框架时装载第二次DUMMY，如果第一次DUMMY正常及时装载良品关注：物性、信息传递说明：先测量电阻及透光率，当该项正常即通知装载良品，接下来测量膜厚度关注：准确性、信息传递说明：电阻及透光率值正常即装载良品，不等待膜厚度数据出来再装载关注：物性、信息传递A更换框架D等待时CFQA测量B物性调整■J/C时序汇总11/50时间[分钟]510152025责任人更换框架净化班长镀膜班长当净化间最后一个框架装载完，镀膜立即开始更换框架物性调整净化班长镀膜班长

第五个新框架装载DUMMY，间隔5个框架装载良品FQA测量FQA人员电阻及透光率正常等待时间微调参数将数据在中心值镀膜班长密切跟踪DUMMY物性情况品种：S56NL7R-80欧姆基准时间：8月18日[靶材寿命的变化会进行适当调整]速度：2.5分钟12.51057.5■J/C时物性时间分解12/50■J/C异常调整举例说明进行2次Dummy，J/C共54分钟背景：8月12生产S16NL7R-80HIT产品时，进行2次Dummy共用时54分钟规格:82±10ITO膜厚度：320±70透过率：87.2%↑

第1次Dummy温度：430/560/540DC：2.16第1次Dummy结果:电阻:85-92上限,上下电阻有超规B面比A面电阻高膜厚度:274-284有较多的上调空间,增加DC电阻不会太明显下降透过率:88.0%-88.3%,有下调空间,但增加DC透过率会下降增加A面:DC:0.03KW增加B面:DC:0.05KW增加温度:20度,C5区上下加热板温度由560/540-620/340第2次Dummy第2次Dummy结果:电阻:78-82上下电阻最高86良品按第2次Dummy条件进行生产13/50确认框架是否超出外框底槽■J/C时更换框架点检内容确认挡板变形、歪斜确认框架横杆变形确认框架是否凸出外框14/50■J/C时更换框架点检内容黄灯和绿灯同时亮正常单一绿灯亮说明框架没有挡住光眼15/50T/C作业时序及注意事项16/501、更换A7、A8靶材2、松C6-C10大门螺钉3、放A面靶材内面水■T/C时人员分工职长/班长兰玉高朱建明任其盛1、更换A5、A6靶材2、卸框架3、拆A面Ar气管1、更换A3、A4靶材2、卸框架3、拆C7、C8区高真空阀1、人员分工2、更换A1、A2靶材3、松A面靶材螺钉4、拆C3、C4区高真空阀1、更换Sio2靶材2、准备工具及消耗品3、拆C5、C6区高真空阀1、协助A面换靶材（抬靶材拿保护框）2、生产结束打包入库张跃彭军太陈泌洲B面A面17/501、协助B面换靶材（抬靶材拿保护框）2、将AB面靶材移送到现场3、松C6-C10大门螺钉■T/C时人员分工职长/班长唐宏林罗斌陈志1、更换B7、B8靶材2、将AB面靶材移送到现场3、松C1-C5大门螺钉4、松B面靶材螺钉1、更换B5、B6靶材2、关闭设备，充气3、关闭冷却水阀4、放B面冷却水1、更换B3、B4靶材2、将AB面靶材移送到现场3、松C1-C5大门螺钉4、松B面靶材螺钉1、更换B1、B2靶材2、协调B面靶材更换作业3、拆B面Ar气管1、清洁镀膜室2、拆AB面电源线喻

安张来民李鑫源B面A面18/50■T/C时注意事项现象：■T/C时，靶材内有积水，造成靶材不绝缘或绝缘不好对策：■彻底清扫阴极，兆欧表打在500V档位，测量时只要有绝缘或比没装上靶材时绝缘好，就没问题。靶材装上几颗螺钉测量时如果仍能有点绝缘那么继续下步作业，反之只有拆阴极了■使用维修电吹风机进行加热处理，边加热边进行绝缘测量，当兆欧表逐步在想好的方向变化，证明是水份影响靶材内有水绝缘不好注意：■此项作业前提是阴极不是异物造成不绝缘19/50■T/C时注意事项■设备在开启状态开始松螺钉，这样会造成高真空阀突然自行关闭■真空阀关闭，开始松螺钉，这样会造成少量螺钉松不动现象■真空阀关闭，C1、C10区仍保持抽真空状态松螺钉，这样效果最好20/50■T/C时注意事项现象：■镀膜室底部滚轮较脏，有防护罩的滚轮清洁不方便对策：■清洁底部滚轮时，手动运行滚轮，转速设在1000，使滚轮运行，这样清洁时方便，同时也清洁的较干净滚轮在运行状态下清洁21/50■T/C时操作技巧先放1#、3#、4#、6#、8#靶材作业再放2#、5#、7#靶材作业靶材更换时间缩短22/50■T/C时操作技巧现象：■螺钉随意装各螺孔，坏的螺孔不易及时发现造成靶材漏气对策：■取靶材螺钉的时候，在每个螺孔的位置做个记号，在装螺钉时保持在原螺孔的地方装螺钉，减少漏气XX23/50■T/C时操作技巧现象：■T/C时，每个区间温度降到250度以下方能开门对策：■为了加速降各区间温度，节省时间，生产结束时，不要马上锁框架，最后1个良品后面空10个框架，再锁框架，通过框架运行，带走镀膜室内热量，这样可以节省降温时间24/50■T/C时操作技巧现象：■T/C后，测完框架绝缘后，通常是净化间手动推一个框架进C1区，这样操作是为了框架能够自动运行，但这样净化间手动推框架进C1比较麻烦，也浪费时间。对策：■框架测完绝缘后，不从净化间推框架进C1，而是直接抽真空，框架自动运行时，点击光眼自动初始化，C1区会自动进入一个框架25/50■T/C时操作技巧现象：■C1、C10区大门镙钉易断原因分析：■C1、C10区每次充气时N2气量可能不够，与外界压力没有成正平衡对策：■C1、C10区大门四角部分别用个夹钳固定紧，或多上4个螺钉26/50■T/C时操作技巧现象：■T/C后框架自动运行时，第1个框架到C10区时，7#小门不完全开，造成框架堵在C10区对策：■框架运行到C5区时，挡住C10区光眼，让7#门提前开启（半开状态），这样框架还没到C10区，使这种现象提前发生。待7#门打开后，立即停止挡光眼，7#会自动关闭，这样框架运行到C10区时能正常运行7#小门未完全开框架运行到C5区时，挡住C10区光眼，等7#门开才能停止挡光眼27/50靶材初、末期生产物性28/50■靶材初期生产注意事项项目注意事项靶材初期生产1、靶材初期如果第1个品种是1.1T玻璃20Ω产品，开加热器时间至少要到7个小时才能出良品2、靶材寿命至少要到8KW才能进行Dummy测试，否测测试出来的物性不准确3、靶材初期第1个品种生产时，第一个框架产品一般没问题，RGA数据有上升趋势电阻肯定有异常，半个小时以后整体电阻没有上升趋势，一般就稳定了29/50■靶材末期生产注意事项项目注意事项靶材末期生产1、靶材末期生产高电阻产品，进行Dummy时最好不要只进行一次Dummy测试，（如HIT80Ω）等物性数据没问题再通知挂良品，进行Dummy时主操应了解框架上下产品透过率与产品中间的差别，并由此来判断靶材是否击穿2、靶材末期生产高电阻产品，进行Dummy时主操应了解框架上下产品与中间产品透过率的差别，并由此来判断靶材是否击穿3、靶材末期生产高电阻产品进行Dummy时，可以不等耐热性但一定要测试耐热性（特殊机种除外）4、靶材末期生产高电阻产品电阻时，必须每30钟对框架上产品进行电阻测量30/50

目前CS2镀膜物性控制主要有以下个机种不好控制生产，物性不稳定

1、S74NL1R-15VST产品，物性规格是：电阻：13±2ITO膜厚度：1250±100透过率：84%∽91%

难控点:角部电阻框架角部产品的角部(红线)电阻上限生产时的建议:1、C5区温度最好控制在480-500度，C5区上下加热板温度560-580度■特殊客户注意事项31/50

2、S16NL1R-80T16NL1R-80HIT产品，物性规格是：电阻：80±12ITO膜厚度：320±70透过率：87.2%↑耐热性:＜2.7倍

难控点:电阻框架上下部位(红线)电阻上限框架上下产品中间部(蓝线)电阻接下限“S”产品生产时的建议:1、C5区温度最好控制在430-440度，C5区7#、8#加热板温度590/290度2、ITO靶材开6#、7#没带翅膀的保护框效果好些3、O2气只能开0.5,如开1.0产品刚出角部会偏高“T”产品生产时的建议:1、C5区温度最好控制在400-410度，C5区7#、8#加热板温度480/280度2、ITO靶材开6#、7#没带翅膀保护框效果好些3、O2气开1.0,如开0.5生产半个多小时左右中间电阻会越来越低■特殊客户注意事项32/50

3、S16NL7R-60ANS产品，物性规格是：电阻：45±8.5

ITO膜厚度：450±70透过率：84%∽89%耐热性:≤2.2倍

难控点:耐热性生产时的建议:1、温度最好控制在400-410度2、ITO靶材开后3对3、ITO靶材寿命控制在200KWH以内生产比较好■特殊客户注意事项33/50■镀膜应了解框架不同点的物性例如弯曲度：

框架上的玻璃弯曲度是由下向上，数值越来越大建议：整理出多机种数据来说明上大下小34/50■镀膜应了解FQA设备性能右边炉子比左边炉子耐热性差产品放在上层耐热性比下层耐热性差产品两侧放玻璃保护，耐热性数据稳定产品放在炉子中间耐热性差两侧和顶部产品耐热性比中间耐热性差35/50■镀膜应了解FQA设备性能产品放在一块砖上的耐热性比放在两块砖上的差简单道理：加热一升水需要5分钟时间，加热2升水需要的时间就是10分钟，所以放一枚玻璃进去在300度稳定和放10枚玻璃进去所需要的时间是不一样的耐热性差36/50产品加入O2后为什么电阻会升高加入O2后，ITO薄膜溅射的过程中，会产生大量的氧负离子,氧负离子在电场的作用会轰击到所沉积的ITO薄膜表面，使ITO薄膜的结晶结构和晶体状态造成结构缺陷。溅射的电压越大，氧负离子轰击膜层表面的能量也越大，那么造成缺陷的几率就越大，产生晶体结构也越严重，从而导致了ITO薄膜沉积厚度下降，电阻升高■镀膜应了解知识37/50方块电阻测量仪在长和宽相等的样品上测量的玻璃镀膜电阻。方块电阻的大小与样品尺寸无关，即任意大小正方形的玻璃电阻都是一样的，不管边长是1米还是0.1米，它们的电阻都是一样

■镀膜应了解知识结论

在耐热性规格不稳定和难控制的时候，测试耐热性要求QA严格按玻璃100*50mm进行切割(1：2的比例)38/50Pinnacle：使ITO靶材形成等离子体的功率生成装置。可生成0-12㎾的功率

■镀膜应了解设备具体功能39/50Sparc-leV：对在Pinnacle里生成传达到靶材之前的功率，起着滤波及控制的作用，可用频率为20-100㎑■镀膜应了解设备具体功能40/50设备邀请事项41/50■邀请事项-加热板变形现象：■A8靶材旁的加热板变形严重，每次T/C关A8靶材时，AR管会碰到变形的加热板，造成靶材安装困难，导致漏