标准解读

GB/T 14604-1993 是一项中华人民共和国国家标准，全称为《电子工业用气体 氧》。这项标准规定了电子工业中使用的氧气的质量要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和储存要求，旨在确保电子工业应用中氧气的纯度与质量，满足半导体制造、平板显示、光纤生产等多个领域的高精度需求。

标准内容概览：

  1. 范围：明确了本标准适用于电子工业生产过程中作为保护气体、反应气体或工艺环境气体使用的氧气。

  2. 规范性引用文件：列出了实施本标准时所直接引用或参考的其他相关标准和文件，这些文件对于理解和执行标准的具体要求至关重要。

  3. 术语和定义：对标准中涉及的专业术语进行了明确界定，帮助读者准确理解各项要求。

  4. 要求：

    • 纯度：规定了氧气的最低纯度要求，通常要求极高纯度，以避免杂质影响电子元件的性能和寿命。
    • 杂质含量：详细列出了各种可能的杂质气体（如氮、氩、二氧化碳等）的最大允许含量，确保氧气的纯净度。
    • 水分含量：严格限制氧气中的水分含量，因为水分可以引起电路腐蚀或其它不良反应。
    • 颗粒物：规定了氧气中固体颗粒物的最大允许浓度，以防止对精密设备造成污染。

  5. 试验方法：描述了如何通过化学分析、气相色谱分析等方法来测定氧气的纯度和杂质含量，确保检测结果的准确性和可重复性。

  6. 检验规则：包括产品出厂前的检验项目、抽样方法、合格判定准则等，确保每批次产品的质量符合标准要求。

  7. 包装、标志、运输和储存：

    • 包装：规定了氧气容器的材质、密封性要求，以防止外界污染物渗透。
    • 标志：要求在容器上清晰标注产品信息、纯度等级、生产日期等，便于识别和追溯。
    • 运输：提供了运输过程中的安全措施和注意事项，以防止物理损坏或泄漏。
    • 储存：指明了适宜的储存条件，如温度、压力范围，以维持气体品质不变。

实施意义：

该标准的制定与执行，为电子工业气体供应商和用户提供了统一的质量控制依据，有助于提升电子元器件的生产效率和成品率，保障电子产品的可靠性和使用寿命，促进了电子工业的高质量发展。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 14604-2009
  • 1993-08-26 颁布
  • 1994-07-01 实施
©正版授权
GB/T 14604-1993电子工业用气体氧_第1页
GB/T 14604-1993电子工业用气体氧_第2页
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文档简介

UDC661G86中华人民共和国国家标准GB/T14604—93电子工业用气体氧Gasesforelectronicindustry-Oxygen1993-08-26发布1994-07-01实施国家技术监督局发布

中华人民共和国国家标准CB/T14604-93电子子体气Gasesforelectronicindustry--0xygen主题内容与适用范围本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、财存及安全要求。电子工业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离。也可用于光导纤维。分子式：O：相对分子质量：31.999(1989年国际相对原子质量表）·引用标准GB190危险货物包装标志GB3863：工业用气态氧GB4844氨气GB5099钢质无缝气瓶GB5832.2气体中微量水的测定露点法GB6680液体化工产品采样通则GB6681气体化工产品采样通则GB7144！气瓶颜色标记GB7445氢气GB89844气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法GB8991气体中微量氢的测定气相色谱法GB/T14605氧气中微量氩、氮和氯含量的测定气相色谱法GB/T14606气体中总烃的测定火焰离子化检测法3技术要求电子工业用气体氧的质量应符合下表的要求超大规模集成电路级半导体及集成电路级电子级和散装液态氧氧纯度,10-499.985399.599.5氢含量,10-氢含量,10-"

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