标准解读

《GB/T 11094-2007 水平法砷化镓单晶及切割片》相比于《GB/T 11094-1989 水平法砷化镓单晶及切割片》，主要在以下几个方面进行了更新与调整：

  1. 技术指标的修订：新版标准对砷化镓单晶及切割片的物理、化学性能指标进行了重新定义和调整，以适应技术进步和市场发展的新要求。这包括纯度、晶体结构、电学特性等方面的更严格或更精确的规定。

  2. 检测方法的改进：随着检测技术的发展，2007版标准引入了更先进、更准确的检测手段和分析方法，用以评估砷化镓单晶及切割片的质量。例如，可能采用了更精密的光谱分析技术来测量元素杂质含量，或使用更先进的电子显微镜技术来观察晶体缺陷。

  3. 生产流程和质量控制要求的加强：考虑到生产技术和工艺的进步，新标准对砷化镓单晶的生长过程及其后的切割、加工等环节提出了更为详细的操作规范和质量控制要求，旨在提高产品的一致性和可靠性。

  4. 环保与安全要求：鉴于环境保护和安全生产日益受到重视，2007版标准可能新增或强化了关于生产过程中污染物排放、废弃物处理以及操作人员健康安全防护的相关规定。

  5. 术语和定义的更新：为保持与国际标准的接轨和行业发展的同步，标准中对一些专业术语和定义进行了修订或补充，确保了标准语言的准确性和时代性。

  6. 标准结构与表述的优化：为了便于理解和执行，新版标准可能对章节结构进行了调整，使内容更加条理化，同时对文字表述进行了精简和清晰化处理，提高了可读性。

这些变动体现了从1989年到2007年间，砷化镓单晶材料领域技术进步和标准化工作的最新成果，旨在引导和促进该行业向更高水平发展。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 11094-2020
  • 2007-09-11 颁布
  • 2008-02-01 实施
©正版授权
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文档简介

犐犆犛２９．０４５

犎８３

中华人民共和国国家标准

犌犅／犜１１０９４—２００７

代替ＧＢ／Ｔ１１０９４—１９８９

水平法砷化镓单晶及切割片

犎狅狉犻狕狅狀狋犪犾犫狉犻犱犵犿犪狀犵狉狅狑狀犵犪犾犾犻狌犿犪狉狊犲狀犻犱犲狊犻狀犵犾犲犮狉狔狊狋犪犾犪狀犱犮狌狋狋犻狀犵狑犪犳犲狉

２００７０９１１发布２００８０２０１实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

书

犌犅／犜１１０９４—２００７

前言

本标准是对ＧＢ／Ｔ１１０９４—１９８９《水平法砷化镓单晶及切割片》的修订。

本标准与原标准相比，主要变动如下：

———单晶生长方向上增加了近几年在生产中大量使用的＜１１０＞晶带上由＜１１１＞Ｂ方向向最远的

＜１００＞Ａ方向偏转０°～２０°生长单晶，明确提出了生长偏角由生产工艺参数决定；

———明确了晶锭作为单晶产品；

———切割片中取消了目前基本已被淘汰的直径为４０ｍｍ、５０ｍｍ以及矩形和Ｄ形片的规定；

———增加了目前大量使用的直径５０．８ｍｍ、６３．５ｍｍ切割片和国际上少量使用的直径７６ｍｍ

切割片的规定等等。

本标准实施之日代替ＧＢ／Ｔ１１０９４—１９８９。

本标准由中国有色金属工业协会提出。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。

本标准起草单位：北京有色金属研究总院。

本标准主要起草人：武壮文、王继荣、张海涛、于洪国。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为：

———ＧＢ／Ｔ１１０９４—１９８９。

Ⅰ

书

犌犅／犜１１０９４—２００７

水平法砷化镓单晶及切割片

１范围

本标准规定了水平法砷化镓单晶、单晶锭及切割片的要求、试验方法及检验规则等。

本标准适用于水平法砷化镓单晶、单晶锭及切割片，产品主要用于光电器件、微波器件和传感元件

等的制作。

２规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有

的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究

是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

ＧＢ／Ｔ１５５５半导体单晶晶向测定方法

ＧＢ／Ｔ２８２８．１计数抽样检验程序第１部分：按接收质量限（ＡＱＬ）检索的逐批检验抽样计划

ＧＢ／Ｔ４３２６非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法

ＧＢ／Ｔ８７６０砷化镓单晶位错密度的测量方法

ＧＢ／Ｔ１４２６４半导体材料术语

ＧＪＢ１９２７砷化镓单晶材料测试方法

３术语、定义

ＧＢ／Ｔ１４２６４确立的以及下列术语和标准适用于本标准。

３．１

水平法犺狅狉犻狕狅狀狋犪犾犫狉犻犱犵犿犪狀犵狉狅狑狀

本标准中特指水平布里奇曼法，简写为：ＨＢ。

３．２

单晶狊犻狀犵犾犲犮狉狔狊狋犪犾

本标准中出现的单晶专指水平布里奇曼法砷化镓单晶。

３．３

晶锭犻狀犵狅狋

本标准中出现的晶锭专指水平布里奇曼法砷化镓单晶晶锭。

３．４

晶片狑犪犳犲狉

本标准中出现的晶片专指水平布里奇曼法砷化镓

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