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文档简介

RENA设备SOP操作流程更换隔膜泵1制作:刘国柱杨辉审核:2009.08.17---2009.08.22首先设备停止进料，点击STOP键停止设备运行

2以更换HNO3供液隔膜泵为例点击MODEMANUAL进入手动模式3以更换HNO3供液隔膜泵为例

点击MANUAL进入手动操作界面4以更换HNO3供液隔膜泵为例

5以更换HNO3供液隔膜泵为例

点击etchbath，选择MODEMAN,然后按按钮”systemdraining把etchbath的化学品排空以更换HNO3供液隔膜泵为例刻蚀槽以及tank冲洗，按下”systemrinsing“冲洗（荧幕的左边）.刻蚀槽以及tank将被充满水开始循环，这个过程可以设定冲洗的次数（参数》第二参数，第三档位，位于荧幕的下边。之后将水排掉，刻蚀槽和tank将是空的（建议冲洗两次，每次循环10分钟）。6以更换HNO3供液隔膜泵为例7冲洗结束后来到外围酸房并防护用品穿好以更换HNO3供液隔膜泵为例8

先关闭药罐压缩空气总进气阀以更换HNO3供液隔膜泵为例9然后关闭隔膜泵进药端阀门和隔膜泵出药端阀门，拆下隔膜泵与各阀门处的接头，压缩空气管接头出药控制阀进药控制阀CDA接头泵接口泵接口以更换HNO3供液隔膜泵为例10

在拆下各零接头以后应该使用水枪对隔膜泵的外面和管道周边进行清洗，以免药液的残留造成危险，更换新的隔膜泵，打开接头阀门及总压缩空气控制阀，并手动加液测试是否正常。更换过程总总结11因更换隔膜膜泵是危险险工作，必必须两人作作业，全部部穿戴防护护用品，更更换过程不不可野蛮操操作，拆开开接头必须须横向推离离，不可上上下晃动拔拔出，避免免药液飞溅溅伤到自己己及他人。。清洗拆下下的隔膜泵泵时也必须须穿戴好防防护用品，，清洗过后后，必须用用事先准备备好的防化化袋包装好好。此泵泵更更换换过过程程是是根根据据泵泵使使用用寿寿命命提提前前更更换换，，如如泵泵未未到到使使用用寿寿命命而而出出现现故故障障，，必必须须先先判判是是否否为为断断隔隔膜膜泵泵本本身身问问题题，，再再进进行行处处理理，，是是否否需需要要更更换换。。判断断过过程程：：1.首先先确确认认外外围围药药房房是是否否有有药药液液。。2.手动动加加液液检检查查控控制制泵泵的的电电磁磁阀阀及及气气动动阀阀是是否否工工作作。。3.检查查控控制制控控制制压压控控是是

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