铸锭车间SO培训教材

2多晶铸锭铸锭车间SOP培训教材部门流程介绍坩埚喷涂坩埚装料铸锭投料铸锭出锭铸锭拆锭DSS系统坩埚作业流程1、坩埚喷涂1.1磨料1）用电子秤准确称取HGE喷涂氮化硅配比250g(A)+200g(B)=450g,氮化硅（450g)+纯水（1600ml—1800ml）+硅溶胶（100--160g)单一氮化硅粉配比：450g+1700ml（纯水）+硅溶胶(100-160g)备注：氮化硅粉用量，随着工艺时期及季节时期，会有20-30g波动。氮化硅放于容器中。2）用尼龙网纱布网住小木桶的口。3）把氮化硅轻轻倒入尼龙网纱上，用塑料勺子慢慢研磨使氮化硅能通过砂网砂眼，达到工艺要求的颗粒大小而落入小桶中，直至磨完为止。1.2取出已检查过未喷坩埚，视觉检查坩埚表面有无裂纹，无缺角，记下坩埚序列号，将坩埚放置在坩埚喷涂站中，用90PSI的压缩空气吹扫坩埚表面，用百洁布沾纯水来檫试坩埚表面，然后打开加热装置。1.3当坩埚温度达到70℃（用测温枪测量温度）时，用量筒取1升纯水,加入研磨好的氮化硅，搅拌均匀，备用。称氮化硅粉磨粉坩埚作业流程1.2开始喷涂2.1当坩埚底部、测面温度达到65℃-75℃（用测温枪测量温度）时，才可开始喷涂，将开始时间记录在《坩埚喷涂记录单》中。2.2定位喷枪上的螺旋及喷嘴1）顺时针方向拧紧上螺旋，之后重新倒回螺旋1/4圈。2）顺时针方向拧紧下螺旋，之后重新倒回螺旋3/2圈。3）将喷嘴设为水平横方向。4）喷射压力为20~35PSI。压力计坩埚作业流程2.3开始喷涂时，先试喷在一张纸板上，以保证喷出的液体在纸板上均匀分布。2.4喷枪离所需喷涂表面垂直距离30-40cm，先喷底部，喷枪不间断的来回喷涂7~10次，其它表面来回喷涂3~5次，直至喷完所有氮化硅混合液，手拿喷枪喷射速度匀速，时间平均分配，每点停留时间不超过一秒，否则混合液会凝聚在一起，影响喷涂质量。2.5每一次喷涂前，须用测温枪测量坩埚底部、测面温度，所有温度必须控制在70℃-75℃内，温度可以通过开关加热器开关予以调节。操作员须记录每次正式喷涂前的最高温度和最低温度，全部喷完后，再将整个喷涂过程中的最高温度、最低温度及喷涂结束时间记录在《坩埚喷涂记录单》中。搅拌喷涂两人协作坩埚作业流程2.6用手电筒照射检查，看喷涂质量，有无裂纹、凸起、脱落，如果有用纯水洗掉，重新喷涂。2.7每次完成喷涂，喷涂器具清洗干净，至少清洗二次以上。对这些水管重点清洗检查喷涂是否完好坩埚作业流程4、坩埚装料4.1操作员戴好手套，在推车上放一石墨板，摆放整齐（石墨平面与车板平行）。4.2将坩埚轻放在干净的石墨板正中（即坩埚四个外表面到石墨板边垂直距离为4.5±0.2cm），校正好石墨板与小车各面位置（即推车两侧边到石墨板距离为14~17cm，正对推车扶手一面的边缘距石墨板为6.5~7cm）。4.3摆放好用吸尘器吸去石墨板上、推车上的灰尘。4.4把坩埚推入装料室中。4.5操作员在装料前须确保带好口罩、帽子、一次性胶皮手套。4.5cm±2标准着装坩埚作业流程4.6开始装料：4.6.1先把粒子状、粉末状的硅料轻轻铺好底部，不要扔、投，避免刮破喷涂层；再放入较大块和较小块(如有可能)的混合料以清除空气和气泡。4.6.2大块料摆放在底层，不要平铺叠在一起，避免横向膨胀，也不要直接贴在坩埚边部，与坩埚内壁之间空出5cm±2空隙。4.6.3当装料装至整个坩埚高度1/2时，加入掺杂物质，均匀摆放在硅料表面。4.6.4继续装料直到距坩埚顶部1-2英寸处将硅料摆在中间位置以防掉落，直至装完，应特别注意上部避免装粉料或细小块料，尽量放块状料。坩埚作业流程4.6.5用吸尘器吸去推车上、石墨板上的残留物质在坩埚四边固定好石墨档板四边石墨档紧板的边必须与石墨底板边相吻合，且石墨档板与底板平面相互垂直，对边两档板与坩埚距离保持一致，用手旋上螺丝，不要太紧，盖上薄膜，填写并附上《装料坩埚追踪号单》。4.6.6送往DSS铸锭区。注意：装料过程注意防尘，不接触金属，轻拿轻放，不要碰坏喷涂层，非工作人员勿进入装料室吸尘已装好料装护护板板三人人协协作作装装上上石石墨墨板板和和螺螺栓栓。。将石石墨墨支支撑撑板板放放在在坩坩埚埚周周围围，，将将螺螺栓栓对对准准安安装装孔孔螺螺入入且且固固定定。。螺螺栓栓不不能能拧拧得得太太紧紧，，只只能能用用手手指指拧拧紧紧。。继继续续固固定定支支撑撑直直到到完完全全围围住住坩坩埚埚。。三人协作作进炉装料料先把装有有硅料的的小车推推入“U”形叉叉车大约约中间位位置，再再提升““U”叉叉至石墨墨底板4～5cm处，，提升速速度小于于5mm/s，，再调整整小车的的位置，，使硅料料处于““U”叉叉的正中中央，左左右偏差差不超过过5mm,提升升“U””叉，使使叉车支支承起硅硅料至叉叉车的上上限位置置。送入炉体体把载有硅硅料的叉叉车开至至DSS炉正正前面，，使叉车车底部两两叉脚与与DSS炉底部部支架导导向定位位夹保持持基本对正正。把硅料送送入炉体体内（叉叉车速度度不超过过2cm/s）），当叉叉车底部部限位凸凸面抵触触至DSS炉下下部导向向定位的限位位平面，，卸下硅硅料至DSS-Block上上，叉车车卸料速速度不超超过5mm/s。铸锭装料料进炉装料料定位前准准备两把把刻度为为毫米、、量程大大于30mm钢钢尺，以以及三名名操作人人员，一一人操作作叉车，，另两人用用刻度度尺在在下炉炉体左左右测测试定定位。。通过连连续重重复地地调整整叉车车横向向纵向向位置置，间间接地地调整整了硅硅料的的横向向纵向向位置置。连连续测测量四四周石墨支支承板板相对对DSS-Block边边缘的的凸边边距离离，当当四周周凸边边距离离都控控制在在10.1±1mm时，，硅料料定位位完毕毕，拖拖出叉叉车。。铸锭装装料尺寸10.1mm尺寸10.1mm擦拭酒酒精和和真空空油先用一一块干干净的的工业业棉纸纸吸入入些酒酒精或或异两两醇，，在上上下炉炉体接接触面面擦洗洗，擦擦洗过过程中中一次次抹过过去，，无需需反复复来回回地在在表面面上擦擦。擦洗后后，在在下炉炉体““O””形圈圈上稀稀薄地地抹上上一层层真空空油脂脂，在在抹的的过程程中间间隔地地涂上上米粒粒大小小的油油脂在在“O”形形圈上上，间间距为为10～15cm，，再用用干净净手指指头轻轻轻滑滑抹涂涂匀。。铸锭装装料擦拭酒酒精铸锭出出炉打开腔腔室1按下下手动动按钮钮，打打开手手动操操作屏屏幕，，如果果炉腔腔压力力没有有超过过980mbar,按按一次次Backfill（重重新压压入气气体））按钮钮使压压力上上升到到980mba以以上（（当压压力上上980mba以上上时，，自动动停止止加压压动作作）。。按下腔腔室提提升按按钮（（压力力达到到950mba以上上时才才能看看见这这个按钮））后出出现一一个警警告屏屏幕。。如下下：松开4个将将上面面的腔腔室和和下面面的腔腔室连连成一一个的的夹子子后点点击警警告屏屏幕上上的YES。2提升升下面面腔室室的控控制屏屏幕下下面腔腔室的的方向向控制制箭头头必须须向下下，否否则单单击此此箭头头使箭箭头向向上。。检查查下面面腔室室的最最大提提升速速度是是否小小于或或等于于35，递递减速速度是是否为为5，，启动动速度度是否否为0，递递增速速度是是否为为3。。警告面腔室室的夹夹子了了吗？？是没没有警告铸锭出出炉出锭打开下下炉体体前应应该戴戴上高高温手手套，，然后后操动动叉车车至DSS炉正正前方方，提提升““U””形支支架，，使其高高出已已打开开的下下炉体体的表表面5～8cm,缓缓慢地地把叉叉车开开进炉炉体内内，当当叉车车“U”形形支架架处于于下炉体体之上上，调调节““U”形形支架架的支支承面面至石石墨板板底面面以下下1～～2cm处处，再再次开开入叉叉车，，至炉体内内部极极限位位置，，操作作人员员应检检查““U””形支支架提提升时时是否否有可可能使使台阶阶面与与石墨墨底板板发生生撞击，，如果果有可可能发发生碰碰撞应应重新新调整整叉车车，直直到检检查发发现石石墨底底部全全部在在“U”形形支架架支承承面范围围以内内，提提升““U””形支支架托托起硅硅锭，，驶出出叉车车，将将准备备好的的小车车放入入“U”形形支架架大约约正中下下方位位置。。控制制下降降速度度不大大于1cm/s，缓缓慢卸卸下硅硅锭，，开离离叉车车。两人协协作带好高高温手套套石墨条条放置置于DDS块块下铸锭拆拆锭从炉体体取出出的硅硅锭由由于温温度过过高，，必须须在空空气中中等待待2个小小时以以上散散热后后，戴戴上绝绝热手手套，，依次把把螺帽帽和石石墨板板拆开开，但但不需需要拆拆螺栓栓，当当还剩剩相邻邻两块块石墨墨板时时需两两面名名操作作人员员相互配合合拆出出石墨墨板，，然后后再把把硅锭锭四周周坩埚埚碎块块清除除。铸锭出出炉吊锭吊锭应应三人人协作作吊锭锭。一一人负负责按按吊锭锭开关关，一一人负负责复复称，，另一一人拉拉锭。。注意：吊锭锭时，应轻轻拿轻放，，安全第一一.硅锭吊好之之后，摆放放整齐，并并把复称重重量统计好好。铸锭装料检查把四根依次次放好，检检查溢流棉棉和溢流线线是否有硅硅料和杂物物，检查螺螺母，往回回拧松半圈圈。关闭下炉体体。相应在在“ChamberLift”界面面窗口更换换下炉体运运动方向的的箭头使其其向上，其其它。当下下炉体到达达上限位置置，扣上四四个还将夹夹子，使下下炉体锁扣扣在上炉体体上面而后后抽真空。。检查螺母打开炉子ChamberLift检查夹子装好石墨条条安全篇1.对坩埚操作作时必需时时时配带橡橡胶手套，，以降低操操作过程中中对坩埚的的造成的污污染；2.喷涂过程中中必需开启启抽风风机机排风，必必需配带专专用高级防防尘口罩。。氮化硅超超细粉对人人体危害很很大。3：灼伤危险，，某些表面面温度很高高。在高温温状态时，，请不要触触摸加热器器背部或周周围表面。4.喷涂时，必必需确保排排风罩畅通通。5.在喷涂操作作中必需始始终配带合合适的防护护装置6.操作坩埚时时需配带橡橡胶手套，，以降低操操作过程中中对坩埚造造成污染。。7.当心夹手！！当机器在在运转中时时请保持手手远离机器器运动部件件。喷涂装料安安全注意事事项风机一定要要打开！喷涂前风机机要开，以及时吸收收SIN粉尘，喷涂时，必必需确保排排风罩畅通通。噴涂完后及及时清理风风口出灰尘尘。戴防尘面具具、一次性性手套、无无尘服加热板，高高温！喷涂涂时千万不不能接触到到！抬埚时，两两人协作抬抬起，如一一人未用到到力，易把把埚打碎或或扭伤铸锭车间安安全注意事事项1.操作硅料的的手套必需需是洁净无无污的新手手套。千万万不能用手手直接拿硅硅料，但也也不能用触触摸过它物物的手套来来搬拿硅料料，否则触触及过它物物的手套会会二次污染染硅料，引引入新的杂杂质。2.装料人员必必需套鞋套套、穿无尘尘服、配带带高级防尘尘专用口罩罩、戴无尘尘手套。3.不能在硅料料中转箱内内把大料砸砸成小料，，因为中转转箱会严重重污染硅料料。4.装完料后要要及时清理理装料车间间，保持车车间的无尘尘化。紧急停炉开开关，禁止止触摸刚出炉，注注意高温戴好高温手手套DSS炉系统统概貌操作及制程原原理经过Si3N4涂涂层处理的坩坩埚里装满多多晶硅，并放放置在一个大大的导热石墨墨块(定向凝固块块或DS-Block)上。密密闭长晶晶炉且抽成真真空，然后加加热数小时以以完全熔解多多晶硅。石墨墨加热器包围围在坩埚的四四个垂直面上上，一隔热笼笼包围住加热热器、DS-Block及坩埚。此此隔热笼的垂垂直边可以上上下移动，暴暴露出DS-Block，允许热能能以辐射方式式散发至通冷冷却水的下部部炉壁。DS-Block的温度下下降会传至坩坩埚底部，使使坩埚内的硅硅溶液有垂直直的温度梯度度，此温度梯梯度会使硅在在坩埚的底部部凝固，然后后硅晶从底部部向顶部生长长。当所有的的硅液都固化化之后，铸锭锭需经过退火火并按设计好好的冷却方式式进行冷却，，以避免裂缝缝及消除应力力。DSS炉系统统概貌系统硬件系统是由双层层且有冷却水水通过的不锈锈钢炉体、电电源供应系统统、真空泵系系统、控制柜柜及操作面板板所组成。炉炉体内包含石石墨热场及隔隔热元件，一一个梯子的平平台包围在炉炉体的周围，，供操作者及及维修人员进进入。此平台台亦可放置变变压器及将电电缆设施等水水管、线整齐齐地布置于平平台的夹板下下。DSS炉系统统概貌炉体上炉体是一个个倒钟状的形形状，由三个个支柱固定。。下炉体则是是通过三个重重型丝杆螺母母副（Jackscrews））安装于上炉炉体。jackscrews之间是是由可弯曲的的驱动缆线同同时驱动，一一个大功率直直流马达控制制这三个Jackscrews的上上下移动以上上升或下降下下炉体。使得得坩埚/硅料料装填能装入入热场及取出出长成的硅锭锭。六个绝缘缘的铜电极从从炉体上方穿穿入炉体，并并提供大电流流的交流电至至加热器。三三个可移动的的部件在上炉炉体顶部，同同样是由可弯弯曲的驱动缆缆线连接至伺伺服马达以控控制隔热笼的的上下移动，，从而控制硅硅锭的生长。。三个隔热笼笼支撑杆用焊焊接式不锈钢钢的软密封套套密封，防止止可能的漏气气。两个压力力指示器读取取从大气压力力至1x10-3mbar的压力，，一个质流控控制器（MFC）及相关关的阀门控制制在成长的过过程中控制适适当的氩气及及氦气的输入入。两根冷却却水总管安装装在后支脚上上，冷却水歧歧管分配水流流至炉体、电电极和真空泵泵，下炉体会会通过大量的的水以吸收在在成长过程中中散发出的强强烈的辐射热热。DSS炉系统统概貌热场热场是由四组组弯曲的石墨墨平板组成一一个四方型的的加热器，每每一片角落下下部亦有连接接板作连接，，围绕在坩埚埚的四周，籍籍此可用平板板式隔热元件件包覆在它周周围。隔离层层是在两层的的不锈钢笼内内，由三个支支撑杆控制。。隔离笼的石石墨板使用平平板状，降低低部件花费且且容易更换。。这些隔热板板互相交叠避避免流失热辐辐射。在下炉炉区有一块大大的用三支石石墨杆支撑的的石墨DS-Block，可提提供能调整的的控制和散热热的平面，使使晶成长过程程为可控制的的。另有两片片的平板式隔隔热层置于DS-Block之下，，在长晶过程程中隔热笼通通过三根提升升棒上下移动动，露出DS-Block的边缘和和底部让热散散出至水冷的的下炉区壁，，在热场内形形成一个垂直直的温度梯度度，强迫使熔熔液从底部开开始凝固至上上方。DSS炉系统统概貌真空泵系统真空泵系统由由Rootblower及Mechanicalbackingpump组成，让炉炉内的压力可可以迅速降至至0.05mbar。当当制程压力需需维持在400～600mbar时时，由Mechanicalpump作用。。Ar气是制制程中压力的的一部分，进进入的量由质质流控制器(MFC)控控制，抽气是是由连接真空空泵的比例调调节阀（V3）调整。空空气压力控制制阀（V1））用在关闭Ar气进气系系统及使炉体体与真空系统统分开。另设设一个独立的的阀（V7））控制He气气在冷却过程程中可以通入入。DSS炉系统统概貌电源供应系统统165kVA的电源经经由水冷的缆缆线提供加热热组件功率，，电源供应分分成两个部份份，第一个是是位于夹层上上靠近水冷的的feedthroughs的降压压变压器，变变压器提供一一个每相为最最大压力25VAC、3800Amps的输出出。另一个电电源供应柜位位于夹层后方方，内含有控控制提供电源源至主变压器器初级线圈的的SCR控制制器，此柜还还含有控制电电源的降压变变压器、加热热器接触器、、真空泵接触触器、下炉体体驱动马达、、各种电路断断路器和保险险丝。SCR控制器照着着powersetpoint的设定打开开及关闭一定定的时间(cycletime为为4秒)，例例如设定为30％，SCR控制器完完全打开30％的时间(1.2杪)及关闭70％的时间(2.8杪)。SCR控控制器的循环环时间为4秒秒，所以上例例中SCR的的工打开时间间为1.2秒秒，关闭时间间为2.8秒秒，然后重复复循环。这种种类型的控制制将大幅度提提高整个系统统的电源使用用的功率因素素和效率。DSS炉系统统概貌控制柜控制柜内有Input/Output模块(I/O)、Optoprocesscontroller(LCM4)、powersupplies、insulationmotordrive及UPS。还有有必需的回路路断路器及保保险丝以避免免过载。来自自此控制柜的的电缆连接到到电源控制柜柜和机器上的的仪器及传感感器。DSS炉系统统概貌操作控制台控制面面板位位于主主脚架架上并并包含含触碰碰屏幕幕及计计算机机，三三个警警示灯灯及蜂蜂鸣器器安装于于夹层层下方方，提提醒操操作者者存在在潜在在的问问题。。紧急急停止止钮位位于面面板右右上方方，让让操作作者紧紧急关关闭所所有通通至机机台输输出仪仪器的的电源源，这这会让让机台台处于于安全全的状状况。。(关闭闭所有有的气气阀、、泵及及电源源供应应)DSS炉系系统概概貌注意紧紧急停停止按按钮并并不会会移去去所有有的电电源，，在控控制柜柜及电电源供供应器器内还还是含含有危危险的的电压压在。。操作窗窗口接下来来的部部分会会介绍绍操作作者在在控制制DSS时最最常用用到的的窗口口及功功能。。ALARMS、、OVERVIEW、MODES、RECIPE、、MANUAL(orREALVALUES)还还有PLOTDATA键键都会会显示示在屏屏幕的的下方方。DSS炉系系统概概貌AlarmsButtonAlarmsScreen当有声声音的的警告告出现现而需需要操操作者者注意意时，，会弹弹出这这个警警告窗窗口。。有问问题的的项目目会呈呈现红红色，，若是是正常常状况况下会会呈现现绿色色。在在任何何时间间若想想进入入此窗窗口亦亦可压压下Alarmsscreen键。。按下下SilenceAlarm键键以消消除警警告声声音，，此键键同时时也可可以清清除Alarm状况况。当当按下下SilenceAlarm键键时，，若是是Alarm持持续存存在则则状况况仍为为红色色；否否则会会变成成绿色色。所所有的的Alarms都是是延迟迟的，，即是是红色色的状状况不不会消消失直直到操操作者者按下下SilenceAlarm键键，即即使此此Alarm已已经解解除。。如果侦侦测到到CriticalAlarm（危危急警警告）），电电源关关闭的的倒数数计时时会激激活，，秒数数归零零后PowerSupplyContactor会会关闭闭。所所谓的的CriticalAlarms是是指CriticalWaterFlows、、MaxTemp及MaxPressure。。有些报报警会会在当当前屏屏幕的的上方方跳出出一个个新的的窗口口，这这些跳跳出的的窗口口告诉诉操作作者警警告的的一些些额外外的信信息或或要求求操作作者协协助。。另外外，Detail按按钮会会出现现在警警告按按钮的的左边边，能能够在在当细细节窗窗口被被关闭闭或隐隐藏时时重新新该窗窗口。。例如如：CONTROLTC1警警告出出现红红色，，因此此，TC1细节节按钮钮被激激活。。除了了压力力警告告、氩氩气流流量警警告、、泄漏漏检查查、PLC电池池不足足、CDA供应应以外外，其其它所所有的的警告告都伴伴随有有细节节按钮钮的出出现。。DSS炉炉系统概概貌Power/phaselossscreen主电源丢丢失及相相的损失失其回复复是自动动执行的的，会自自动地将将功率增增加到损损失时功功率值之之上一点点点，如如果损失失时是温温度控制制模式，，会自动动地转换换成温度度控制模模式。当当损失的的情况已已经回复复之后会会要求操操作者确确认程序序回到正正常状况况下。电电源丢失失后若TC1温温度下降降超出设设定范围围外，而而电力还还未回复复时，依依照电力力丢失时时程序在在哪个模模式而决决定程序序会跳至至冷却程程序或紧紧急冷却却步骤。。DSS炉炉系统概概貌另外还有有两个警警告窗口口：当隔隔热笼的的移动有有问题时时，会出出现OpenManualInsulation钮；如如果按下下MeltorGrowthEndDisable钮钮则会出出现EndTriggerDisable钮钮，指示示操作者者必须决决定何时时这些““End”程程序结束束。接触器失失效窗口口当发生一个个criticalalarm且时间间超过设定定值，加热热器电源连连接器会关关闭，右方方的窗口会会弹出。此此窗口可以以关闭且ContactorFailure钮会出现现在模式窗窗口。关闭闭ContactorFailure窗口，，允许操作作者去检查查跳闸的原原因。按下下ContactorFailure细节按按钮ContactorFailure窗口口又会出现。DSS炉系统统概貌DSS炉系统统概貌连接器失效按按钮操作者关闭连连接器失效窗窗口并查明连连接器关闭原原因。连接器器失效窗口可可按FailureDetail钮打打开。DSS炉系统统概貌模式窗口这可使连接器器重新激活并并回复功率至至连接器关闭闭时之数值。。当造成错误误的问题排解解后，打开加加热器电源连连接器并在功功率栏输入连连接器关闭时时的数值或是是高于5％，用来补补偿温度损失失。接下来进进入RealValues窗口去去监看程序以以回复到正常常状况。如果果连接器关闭闭时处于温度度控制模式，，则当温度爬爬升至之前的的值后必须回回到温度控制制模式。注意意，机器仍处处于暂停模式式除非按下回回复钮。DSS炉系统统概貌OverviewButton总窗口的中央央显示现在的的模式、步骤骤及剩多少时时间至下个步步骤。Gti方框显示示机器的ID号和当前的的日期及时间间，按ID可可改变名称或或炉子的标识识—这一特性性只有在非自自动运行模式式时有用，用用WindowsControlPanelfeature可可改变PC的的日期及时间间，然后按Change/SyncTime/Date钮可使时时间及日期与与PC同步。。OverviewScreen总窗口也显示示实时的功率率设定值、温温度、压力、、气体流量及及水流量。电电源供应的电电流及电压也也会显示出来来，但是这些些值因为电源源是持续的开开关供应而出出现不稳定的的值。测量出出最高功率的的值会显示在在PeakkVA栏。。气阀在开启状状态是显示绿绿色，关闭状状态则是红色色。质流控制制、压力控制制、隔热区位位置及PID控制都有DetailScreen可显示示详细的测量量值及趋势图图，按下Detail钮钮可进入此窗窗口。DSS炉系统统概貌DSS炉系统统概貌这些窗口显示示实时测量的的过程序变化化值、设定值值、输出值及及PID参数，，并附有短时时间的趋势图图。DSS炉系系统概概貌DSS炉系系统概概貌ModeButtonModescreen显示示自动动成长长的选选项。。正常常时采采用默默认选选项,当按按下钮钮即开开始自自动成成长。。Timeofday的的开始始是从从AutoMode开开始算算始的的,后后来的的过程程自动动执行行。键键入预预设的的日期期和时时间，，然后后按下下Timeofday旁旁边的的绿色色按钮钮。机机台会会预先先做抽抽真空空步骤骤，然然后等等待（（自动动成长长时））开始始计时时。DSS炉系系统概概貌储存recipe及及读取取recipe钮是是让操操作者者可以以从硬硬盘选选择(读取取)新新的recipe或或储存存recipe到硬硬盘内内。读读取或或储存存recipe操作作后，，当前前的recipe名名称会会显示示出来来。当自动动成长长开始始时，，数据据储存存的讯讯号会会在屏屏幕上上方闪闪烁，，当前前的模模式、、步骤骤及此此步骤骤的残残余时时间亦亦会显显现出出来。。如果按按下暂暂停钮钮，在在左下下方会会出现现一些些新的的选项项。如如果需需要跳跳至新新的模模式或或是步步骤，，输入入新的的时间间及模模式号号码(在屏屏幕的的下方方有各各模式式及其其相对对应的的号码码)，，步骤骤号码码栏也也会出出现。。输入入所期期望的的步骤骤号码码程序序，填填入新新的数数值，，程序序会从从现在在的步步骤往往前或或往后后跳至至所输输入的的步骤骤，采采用新新输入入的时时间。。也可可藉此此直接接按下下AdvancetoNextStep钮让让程序序跳至至下个个步骤骤。DSS炉系系统概概貌AdvancetoNextStepButton(阅读读自动动成长长章节节以获获得更更多有有关跳跳程序序的细细节)，当当按下下Resume钮会会回复复到自自动成成长程程序。。当按下下Pause钮钮时，，Abortauto钮会会出现现。如如果选选择Abort会弹弹出另另一个个窗口口询问问操作作者是是否确确定要要跳至至紧急急冷却却程序序DSS炉系系统概概貌是否真真要跳跳出如果操操作者者选择择OK，，程序序会进进入紧紧急冷冷却，，执行行完Recipe中中余下下的程程序；；选择择Cancel会回回到模模式窗窗口。。如果果错误误地跳跳转到到紧急急冷却却，处处理的的快的的话或或是在在按下下RESUME键前前，跳跳回前前面的的自动动成长长步骤骤是有有可能能的。。DSS炉系系统概概貌这个窗窗口允允许操操作者者去修修正这这些项项目，，但是是在自自动模模式下下不能能修改改。这这些项项目与与Recipe的的值互互相搭搭配以以控制制在自自动过过程中中的各各部份份条件件。(翻阅阅AdvancedFunctions部分分可得得到较较完全全信息息)DSS炉炉系系统统概概貌貌PIDValuesScreen此窗窗口口显显示示温温度度、、气气体体流流入入及及气气体体流流出出的的PID控控制制回回路路的的数数值值，，PID调调节节的的数数值值可可在在屏屏幕幕上上修修改改。。修改改这这些些参参数数可可能能会会扰扰乱乱机机台台的的控控制制，，只只有有经经过过审审核核的的人人员员可可以以修修改改这这些些数数值值。。ManualButton此钮钮只只有有进进入入自自动动运运行行时时才才会会出出现现，，与与机机器器不不是是在在自自动动程程序序时时屏屏幕幕右右下下方方的的Manual钮钮作作用用一一样样。。按按下下此此钮钮会会出出现现另另一一个个窗窗口口询询问问操操作作是是否否真真的的要要手手动动进进行行，，且且必必须须输输入入密密码码才才能能打打开开手手动动窗窗口口。。DSS炉炉系系统统概概貌貌ManualScreen(需需要要密密码码进入入)打开开手手动动窗窗口口会会使使自自动动程程序序进进入入暂暂停停状状况况，，且且可可对对自自动动成成长长做做重重大大改改变变。。DSS炉炉系系统统概概貌貌只有有经经过过审审核核的的人人员员可可以以尝尝试试更更改改这这些些参参数数、、打打开开或或关关闭闭阀阀门门、、移移动动隔隔热热笼笼位位置置或或开开关关电电源源供供应应等等。。在在做做任任何何变变更更以以前前必必须须要要有有清清醒醒的的认认定定，，对对任任何何的的变变动动所所产产生生之之影影响响要要有有全全盘盘的的了了解解。。直到到当当前前的的步步骤骤跑跑完完，，机机器器将将不不会会有有自自动动的的行行为为对对人人为为的的变变动动做做补补救救。DSS炉炉系系统统概概貌貌PumpdownScreen抽真真空空的的项项目目检检查查窗窗口口与与抽抽真真空空钮钮在在自自动动过过程程中中的的抽抽真真空空步步骤骤会会出出现现DSS炉炉系系统统概概貌貌RecipeButtonRecipeScreen按下下在在任任何何屏屏幕幕下下方方的的Recipe钮钮，，可可显显示示出出四四页页Recipe中中的的第第一一页页。。在在Recipe窗窗口口的的右右上上方方有有按按键键可可前前后后翻翻页页。。Recipe能能够够在在模模式式窗窗口口中中读读取取及及储储存存，，但但是是只只可可在在这这窗窗口口中中用用列列表表中中模模式式和和步步骤骤代代码码创创建建或或修修改改Recipe。。这这些些步步骤骤会会按按照照指指令令执执行行并并自自动动跑跑完完设设定定的的时时间间。。在在AdvancedFunctions章章节节对对于于创创建建及及修修改改Recipe部部分分有有详详细细的的描描述述。。DSS炉炉系统概概貌ManualButtonManualScreen当机器不不是处于于自动模模式，屏屏幕下方方会显示示手动窗窗口按钮钮。此按按钮会显显示如上上方窗口口，允许许操作者者操纵阀阀门、打打开或关关闭电源源供应连连接器、、改变功功率及温温度设定定值、调调整压力力值及隔隔热区移移动的目目标位置置，在压压力大于于950mbar时也也可按ChamberLift钮钮控制下下炉体的的移动；；按ManualInsulation钮则可可移动隔隔热区上上下。按按下PressOncetoBackfill钮钮，可使使炉体也也可回复复到大气气压力。。如果输输入正确确的密码码，按下下Maint钮钮维护窗窗口会出出现—见见维护手手册。在在自动模模式下，，进入手手动窗口口时此按按钮不可可见。如果机台台处于自自动模式式，窗口口下方不不会出现现Manual钮，但但是会出出现在模模式窗口口中。在在进入手手动窗口口做任何何改变阀阀、连接接器参数数等之前前，必须须输入密密码。在在自动模模式下Manual钮钮的地方方会被窗窗口下方方叫RealValue钮钮取代，，此窗口口可设定定功率、、温度、、压力等等之极限限值。DSS炉炉系统概概貌RealValuesScreenDSS炉系统统概貌ManualInsulationScreen此窗口可按在在手动窗口上上方的ManualInsulation钮钮进入，可上上下移动隔热热笼以帮助上上、下料等。。按最上方一一栏的提示，，可输入新的的移动目标及及移动速度再再按Run即即会开始移动动。隔热笼会会以新的速度度移动到新的的位置后再停停止。当隔热热笼移动到距距离目标0.5cm时，，速度会自动动降至2cm/min.。中间栏的信息息显示现在隔隔热笼的位置置、隔热笼速速度及移动限限制开关的状状态，红色是是表示隔热笼笼位于上或下下端；绿色表表示隔热笼在在两端之间的的某个位置。。PositionOffset是要修正在在隔热笼的MotorDriveControl(MDC)之电电源关闭后储储存在计算机机的位置，低低点的Homingroutine会执行。。PositionCounts是显示隔热热笼MDC的的总计算位置置，通常可以以忽略不理。。DSS炉系系统概貌查阅维修手手册。当隔隔热笼在关关闭（零位位）时，如如果COUNTS之值值超过30,000,000和OFFSET之之值超过±±5CM，隔隔热笼的MDC能够够使COUNTS累累计重新置置零，迫使使隔热笼的的位置偏移移接近零。。下方字段的的信息及按按钮通常显显示MDC的状态，，其它的按按钮及操作作只有在Drive有问题的的时候才会会出现。通常刹车是是处于松开开状态，除除非MDC有问题或或是电源关关闭才会锁锁紧。如果刹车激激活，则隔隔热笼不能能移动。如果Drive有错误，，MotorFault会会从绿色变变为红色，，Drive重置按按钮会出现现，按下此此钮会尝试试重置此错错误。如果果错误没有有清除，找找出控制柜柜中隔热笼笼MDC错错误代码并并与厂商（（PacificScientific）联联络以获得得更多信息息。通常试试着去关闭闭再开启MDC的电电源可清除除错误。DSS炉系系统概貌ManualInsulationScreenWith““Homing””RoutineDSS炉炉系系统统概概貌貌DriveCommFault纪纪录录从从MotorDrive传传送送或或接接收收的的速速度度及及位位置置的的通通讯讯错错误误总总次次数数。。出出现现5-8次次错错误误记记录录问问题题不不大大，，但但如如果果错错误误记记录录迅迅速速增增加加，，特特别别连连续续错错误误记记录录上上升升超超过过50时时，，就就存存在在问问题题了了。。如如果果发发生生这这种种状状况况，，先先按按下下StopMotor钮钮，，检检查查通通讯讯崩崩溃溃的的原原因因。。当当马马达达停停止止时时DriveCommFault会会重重置置为为0。。如果隔隔热笼笼达到到低点点限制制位置置，““HomingRoutine”会会激活活而且且RunHomeRoutine钮及及ResetHomeTimer数值值会出出现且且时间间会开开始倒倒数。。这会会使隔隔热笼笼以0.5cm/min.的的速度度向上上移动动且ResetHomeTimer会会跑60sec.。。当隔隔热笼笼向上上跑离离限制制开关关后马马达会会停止止。程程序会会在此此位置置调整整补偿偿值强强制让让位置置归零零，即即是所所有位位置移移动的的参考考零点点。如如果低低点限限制开开关还还是红红色，，可以以按RunHomeRoutine钮钮执行行Routine程程序。。如果有有速度度偏差差或DriveCommFault的的次数数大于于9，，隔热热笼移移动的的警示示按钮钮会变变红而而且马马达会会停止止。按按此InsulationLiftAlarm钮去去重置置错误误。在在此窗窗口下下面也也会显显示一一些错错误排排解信信息。。绘图资料（（以图表的的形式显示示在屏幕的的右下角））。DSS炉系系统概貌PlotDataButton可按窗口右右下方的图图标标志进进入此窗口口PlotDataScreen（Heat）这个趋势势窗口显显示5个个小时的的8条实实时曲线线，可以以观察功功率、3个热电电偶温度度、炉内内压力、、隔热区区位置、、硅溶化化pyrometer的值及及红色警警示灯。。每个曲曲线都可可以在某某个特别别或干扰扰处放大大倍率或或出出现现异常情情况的分分析。HistoricalFunction也可观观察之前前5小时时所记录录的资料料，以分分析之前前过程。。记得在选择其其它窗口前要要执行实时的的撷取资料。。PlotDataScreen(MeltEnd)下面的窗口显显示了典型的的溶化结束曲曲线。MeltPyrometer的位位置显示在窗窗口中—绿色色表示MeltPyrometer正在观察察硅溶化。DSS炉系统统概貌DSS炉系统统概貌MeltandGrowthEndTrendScreen下面的窗口可可得到第二个个趋势图。这里显示了更更多的功率和和DS-Block温度度细节，使确确定溶化结束束或角部晶生生长结束更容容易，等等。。这些曲线的的斜率和它们们当前的数值值也显示出来来，可以和主主参数表的trigger值相比较较。为了帮助助确定结束点点，趋势图的的比例可扩大大或缩小。DSS炉系统统概貌PowerProfilesScreen通过PowerProfiles钮出现一窗窗口。正常运运行时，模式式号码、步骤骤号码、功率率设定值和绝绝热区的位置置每五分钟在在表中存储一一次。当热电电偶失效时，，这些表创建建的功率设定定的和绝热区区的位置数据据文件能够用用来硅锭的生生长。功率对比曲线线绘出了当前前的模式、步步骤、功率设设定和绝热笼笼的位置。它它同时显示最最后一次保存存的功率及隔隔热笼曲线和和已载入表中中的曲线的数数值。最后的的数值用与recipe的步骤和/或未改变的的时间同样长长的且与当前前同步的最后后的模式和步步骤绘成曲线线。考虑到每每一次运行中中溶化和成长长结束时都几几会乎有所不不同，因此要要作适当的补补偿。当前的的数据和最后后的数据重叠叠使得决定当当前的数据是是否为保存为为将来的“profile”变得相相对容易。操操作者在每次次运行后需作作此决定。趋趋势图让历史史数据显示出出来，以决定定是否应该为为将来而保留留老的“profile”。DSS炉炉系系统统概概貌貌PowerProfilesMode/StepScreen按下下Mode/StepScreen钮钮弹弹出出此此窗窗口口。。这这个个窗窗口口显显示示了了过过去去常常保保存存当当前前和和上上次次数数据据的的一一系系列列表表格格的的细细节节。。在在上上一一次次的的表表中中有