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演讲人202X-11-11真空技术演讲人202X-11-11真空技术101《中国科学院实验技术人员岗位培训系列教材》序01《中国科学院实验技术人员岗位培训系列教材》序2《中国科学院实验技术人员岗位培训系列教材》序《中国科学院实验技术人员岗位培训系列教材》序302目录02目录4目录

目录503第一章真空技术入门03第一章真空技术入门6第一章真空技术入门1.5真空技术研究的内容E1.4真空区域的划分D1.1真空技术的发展历史A1.2真空技术与电子技术B1.3真空度的单位C1.6大气层与真空F第一章真空技术入门1.5真空技术研究的内容E1.4真空区域的7第一章真空技术入门1.7真空技术的应用思考与练习第一章真空技术入门1.7真空技术的应用804第二章真空技术的物理基础04第二章真空技术的物理基础9第二章真空技术的物理基础2.1气体分子运动论的基本知识2.3气体的道尔顿定律2.5平均自由程2.2气体的压强2.4麦克斯韦速率分布律2.6分子与表面的碰撞频度和从表面的反射第二章真空技术的物理基础2.1气体分子运动论的基本知识2.310第二章真空技术的物理基础M.94275.CN2.8气体的非平衡过程输运现象022.11流导的计算052.7气体的电离012.10流导的概念042.9真空状态下的气体流动032.12物理吸附与化学吸附06第二章真空技术的物理基础M.94275.CN2.8气体的非平11第二章真空技术的物理基础2.13气体在固体中的溶解、扩散与渗透2.14小结思考与练习第二章真空技术的物理基础2.13气体在固体中的溶解、扩散与渗1205第三章真空获得真空泵05第三章真空获得真空泵13第三章真空获得真空泵3.2真空泵的主要参数023.5油扩散泵053.1真空泵的分类013.4旋片机械真空泵（机械泵）043.3真空系统的抽气过程033.6涡轮分子泵06第三章真空获得真空泵3.2真空泵的主要参数023.5油扩散泵143.7分子筛吸附泵01063.11吸气剂泵033.10低温泵3.9溅射离子泵3.12小结023.8钛升华泵0405第三章真空获得真空泵单击此处添加文本具体内容，简明扼要的阐述您的观点。根据需要可酌情增减文字，以便观者准确的理解您传达的思想。单击此处添加标题3.7分子筛吸附泵01063.11吸气剂泵033.10低温泵15思考与练习第三章真空获得真空泵思考与练习第三章真空获得真空泵1606第四章真空度的测量真空计06第四章真空度的测量真空计174.1U型真空计4.2压缩真空计（麦克劳真空计）4.3热传导真空计4.4普通型热阴极电离真空计4.5超高真空热阴极电离真空计4.6低真空热阴极电离真空计第四章真空度的测量真空计单击此处添加文本具体内容，简明扼要的阐述您的观点。根据需要可酌情增减文字，以便观者准确的理解您传达的思想。单击此处添加标题4.1U型真空计4.2压缩真空计（麦克劳真空计）4.3热传导18第四章真空度的测量真空计4.7冷阴极电离真空计4.8相对真空计的校准4.9小结思考与练习第四章真空度的测量真空计4.7冷阴极电离真空计1907第五章分压强的测量质谱计07第五章分压强的测量质谱计20第五章分压强的测量质谱计M.94275.CN5.2磁偏转质谱计025.5四极质谱计055.1质谱计的性能指标015.4飞行时间质谱计045.3回转质谱计（欧米加质谱计）035.6真空系统中残余气体的来源06第五章分压强的测量质谱计M.94275.CN5.2磁偏转质谱215.7质谱图的识别5.8分压强的计算5.9小结思考与练习第五章分压强的测量质谱计5.7质谱图的识别第五章分压强的测量质谱计2208第六章真空系统08第六章真空系统23第六章真空系统ABCDEF6.1真空系统的分类6.3真空系统常用组件6.5真空系统的图形符号（GB1364-85）6.2真空系统常用材料6.4真空系统的组装6.6典型真空系统举例第六章真空系统ABCDEF6.1真空系统的分类6.3真空系统24第六章真空系统6.7真空卫生6.8小结思考与练习第六章真空系统6.7真空卫生2509第七章真空检漏09第七章真空检漏26第七章真空检漏7.2漏孔的漏率027.5几种真空检漏法057.1概述017.4几种加压检漏法047.3检漏方法分类037.6氦质谱检漏仪的工作原理06第七章真空检漏7.2漏孔的漏率027.5几种真空检漏法05727第七章真空检漏7.8氦质谱检漏方法及注意事项027.11小结057.7氦质谱检漏仪的性能指标017.10漏孔的修补047.9标准漏孔及其漏率的校准03思考与练习06第七章真空检漏7.8氦质谱检漏方法及注意事项027.11小结2810附录10附录29附录

附录30感谢聆听感谢聆听31演讲人202X-11-11真空技术演讲人202X-11-11真空技术3201《中国科学院实验技术人员岗位培训系列教材》序01《中国科学院实验技术人员岗位培训系列教材》序33《中国科学院实验技术人员岗位培训系列教材》序《中国科学院实验技术人员岗位培训系列教材》序3402目录02目录35目录

目录3603第一章真空技术入门03第一章真空技术入门37第一章真空技术入门1.5真空技术研究的内容E1.4真空区域的划分D1.1真空技术的发展历史A1.2真空技术与电子技术B1.3真空度的单位C1.6大气层与真空F第一章真空技术入门1.5真空技术研究的内容E1.4真空区域的38第一章真空技术入门1.7真空技术的应用思考与练习第一章真空技术入门1.7真空技术的应用3904第二章真空技术的物理基础04第二章真空技术的物理基础40第二章真空技术的物理基础2.1气体分子运动论的基本知识2.3气体的道尔顿定律2.5平均自由程2.2气体的压强2.4麦克斯韦速率分布律2.6分子与表面的碰撞频度和从表面的反射第二章真空技术的物理基础2.1气体分子运动论的基本知识2.341第二章真空技术的物理基础M.94275.CN2.8气体的非平衡过程输运现象022.11流导的计算052.7气体的电离012.10流导的概念042.9真空状态下的气体流动032.12物理吸附与化学吸附06第二章真空技术的物理基础M.94275.CN2.8气体的非平42第二章真空技术的物理基础2.13气体在固体中的溶解、扩散与渗透2.14小结思考与练习第二章真空技术的物理基础2.13气体在固体中的溶解、扩散与渗4305第三章真空获得真空泵05第三章真空获得真空泵44第三章真空获得真空泵3.2真空泵的主要参数023.5油扩散泵053.1真空泵的分类013.4旋片机械真空泵（机械泵）043.3真空系统的抽气过程033.6涡轮分子泵06第三章真空获得真空泵3.2真空泵的主要参数023.5油扩散泵453.7分子筛吸附泵01063.11吸气剂泵033.10低温泵3.9溅射离子泵3.12小结023.8钛升华泵0405第三章真空获得真空泵单击此处添加文本具体内容，简明扼要的阐述您的观点。根据需要可酌情增减文字，以便观者准确的理解您传达的思想。单击此处添加标题3.7分子筛吸附泵01063.11吸气剂泵033.10低温泵46思考与练习第三章真空获得真空泵思考与练习第三章真空获得真空泵4706第四章真空度的测量真空计06第四章真空度的测量真空计484.1U型真空计4.2压缩真空计（麦克劳真空计）4.3热传导真空计4.4普通型热阴极电离真空计4.5超高真空热阴极电离真空计4.6低真空热阴极电离真空计第四章真空度的测量真空计单击此处添加文本具体内容，简明扼要的阐述您的观点。根据需要可酌情增减文字，以便观者准确的理解您传达的思想。单击此处添加标题4.1U型真空计4.2压缩真空计（麦克劳真空计）4.3热传导49第四章真空度的测量真空计4.7冷阴极电离真空计4.8相对真空计的校准4.9小结思考与练习第四章真空度的测量真空计4.7冷阴极电离真空计5007第五章分压强的测量质谱计07第五章分压强的测量质谱计51第五章分压强的测量质谱计M.94275.CN5.2磁偏转质谱计025.5四极质谱计055.1质谱计的性能指标015.4飞行时间质谱计045.3回转质谱计（欧米加质谱计）035.6真空系统中残余气体的来源06第五章分压强的测量质谱计M.94275.CN5.2磁偏转质谱525.7质谱图的识别5.8分压强的计算5.9小结思考与练习第五章分压强的测量质谱计5.7质谱图的识别第五章分压强的测量质谱计5308第六章真空系统08第六章真空系统54第六章真空系统ABCDEF6.1真空系统的分类6.3真空系统常用组件6.5真空系统的图形符号（GB1364-85）6.2真空系统常用材料6.4真空系统的组装6.6典型真空系统举例第六章真空系统ABCDEF6.1真空系统的分类6.3真空系统55第六章真空系统6.7真空卫生6.8小结思考与练习第六章真空系统6.7真空卫生5609第七章真空检漏09第七章真空检漏57第七章真空检漏7.2漏孔的漏率027.5几种真空检漏法057.1概述017.4几种加压检漏法047.3检漏方法分类03