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D26氣泡改善報告Reportedby:JackzDate:2010/11/0612
DESCRIBETHEPROBLEM11/02日D26產線投線時發現有氣泡不良,投入4800PCS,發現265PCS不良,不良率5.52%;不良圖片如下:氣泡TeamBuildingQCLRR&DefectRateAccount3TeamMember:QA:JackzZhai、MaxHong、TimWuPE:JohnnyKu、AllenHsuPD:JeffYTLin、JunHeMPM:EricDong、SteelNi5原因分析:1.針對不良產品氣泡處,使用3M膠帶進行Peeling測試,發現為Ni層脫落,
露出Cu層;IdentifyRootCauseorPotentialCause經3M測試后,發現為Ni層脫落,露出Cu層,且Cu層有發黑現象62.針對不良品氣泡處進行切片,發現氣泡處Cu&Ni分層:圖片如下:IdentifyRootCauseorPotentialCause切片可以發現氣泡處也為Cu&Ni之間有間隙7IdentifyRootCauseorPotentialCause
3.針對氣泡產品進行EDX測試發現:由EDX可知,氣泡產品含有C、O元素8IdentifyRootCauseorPotentialCause3.經查生產記錄,此11/01日化鍍夜班生產時,因Ni槽塞車,此批產品鍍Cu后被取出放置線邊,由11/02日白班繼續完成鍍Ni及後續制程;4.由以上可知,此氣泡產生應是鍍Cu產品因放置於空氣中時間過長,Cu層氧化,在鍍Ni前未有效清除Cu層表面氧化層,而直接鍍Ni造成Cu&Ni分層,從而產生氣泡;10改善對策:2.工程針對此制程,發行標準SOP,以規範標準操作:a.對於鍍Cu完成,放置小於4H的半成品:Cu層屬於輕微氧化,需增加酸洗时间到
3~5Min,完全去除氧化后再进行后制程生产
b.對於鍍Cu完成,放置大(等)於4H的半成品:Cu层严重氧化产品,需增加微蚀
10~30S,去除氧化层后再酸洗水洗进行后制
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