超出管控、规范记录、参数管控课件

超出管控、规范记录、工艺管控技术一部1超出管控控制---氧化一、人员异常二、设备三、辅料2一、人员操作类型排气孔吊渣超出管控计划因素下排气孔对偏，挥发物受堵吊渣次数多，回熔功率高，使用翻板阀时间长对应原因分析1.安装热场不到位；2.石墨件变形挪位；1.频繁高温回熔造成挥发物堆积；2.翻版阀使用时长会因高温使密封圈软化形成漏气异常描述事前管控措施/标准1.安装时班长、小组长进行现场监督和指导；2.针对石墨部件变形、要求及时更换和负责煅烧。1.相同投料量找整棒埚位、温度引晶；2.断棱后回熔不吊渣或减少吊渣；3.拆装炉检查密封，老化、破损及时更换。异常情况1.炉体内氧化严重会出现冒烟现象2.排气孔对偏明显；3.挥发物堆积、结块堵塞排气管口。1.回熔功率偏高，周期较长；20.翻板阀氧化物堆积；拉晶周期长事中处理1.控制运行周期,引晶、放肩、等径尽量一步到位；2.用木棒敲击十字真空管道并进行1-3次反冲后在拉制。1.不回熔，降低温度后直接吊出，改变埚位在引晶；事后现场保留事项1.堵塞位置；2.排气孔对偏位置。1.现场进行监督；2.现场进行培训事后分析安装不当吊渣频繁，回熔、取渣温度过高对应管控措施1.用手电或观察窗玻璃光反射检查排气孔是否对准；2.安装排气套管引导气流畅通；3.小清炉台不挪动石墨件。1.频繁高温回熔造成挥发物堆积；2.翻版阀使用时长会因高温使密封圈软化形成漏气负责人操作工/辅助工操作工3类型执行力度差责任不强工艺执行不够超出管控计划因素拆炉工艺卫生未做好，特别是大罐不清理，真空管道清理敷衍了事致使挥发物堆积造成氧化；熔料中忘记开氩气；真空检漏不合格或真空泵抽速不够不报修，怕麻烦而盲目开炉对应原因分析1.清理不到位，运行中产生挥发物堆积；2.断棱几率增大拉制周期增长出现挥发物堵塞。1.责任心不强，盲目作业；1.漏慢气导致氧化物产生；2.抽速不够使挥发物排除不畅，逐渐堆积而形成堵塞。异常描述事前管控措施/标准1.小组长负责检查清理后异常；2.现场作出整改和批评；3.严重的将予以严肃处理。1.注重工艺、安全培训；2.班前班后会进行宣导，现场进行督促；3.对于屡教不改的进行严肃处理。1.班长、小组长负责监督；2.操作流程记录标准化、正规化；3.对违规予以严肃处理。异常情况1.运行周期长，拉制中易断棱；2.炉体内冒烟，氧化物增多；3.导流筒、保温盖板局部出现氧化物堆积1.籽晶、导流筒会出现一层蜘蛛网状氧化物；2.严重的籽晶、导流筒会长出毛状氧化物。3.碳含量出现超标而反切1.籽晶发黑，导流筒、保温盖板局部出现氧化；2.晶棒带彩；3.炉压增大；4.成晶困难。拉晶周期长事中处理1.用木棒有意识敲打真空十字管道后进行1-3次反冲；2.再次挥发后引晶。1.及时打开氩气；2.增加挥发时间2H以上；3.进行吊渣处理1.稳定温度尽量一次成晶；

2.避免拉制周期过长。事后现场保留事项1.执行进度

2.随时跟进。1.现场进行监督；

2.现场进行培训1.宣导到位；

2.执行并跟进。事后分析执行力差盲目作业违规操作对应管控措施1.严格按工艺执行每炉清理；2.不易清扫的弯头处及波纹管、十字架要作重点清理1.装料后进行各项点检；2.真空合格后确定炉压进行熔料。1.必须按工艺达到真空度要求；2.杜绝炉台带病作业。负责人辅助工操作工操作工/辅助工5类型真空泵异常真空泵异常材质、水质异常超出管控计划因素真空泵跳闸、皮带断裂或真空泵电磁阀不吸合直接造成炉体内严重氧化真空泵严重漏油或未及时更换泵油四氟套因材质或因水质导致损坏产生漏气对应原因分析1.电源线老化造成短路；

2.电磁阀不吸合，进入空气；1.漏油严重影响抽速；2.泵油过于浓稠,脏物过多影响抽力。1.四氟套材质老化产生松动；

2.水质差，淤泥堵塞，高温烧坏导致漏气。异常描述事前管控措施/标准1.维修人员负责巡检；

2.班长、小组长对当班炉台运行要做到了如指掌。1.加油工负责巡检；

2.异常炉台及时维修和换油。1.加强材质进检合格力度；

2.定期对炉台循环水管进行苏通和清洗。异常情况1.炉体内严重倒吸，氧化严重

2.挥发物炉体内到处都是，观察窗遮挡严重影响引晶、放肩、转肩。1.炉压增大；

2.运行周期增长，挥发物增多影响拉晶。1.电极漏气，炉体内氧化严重；2.电极四氟套烧坏造成严重停炉3.碳含量出现超标而反切。拉晶周期长事中处理1.进行挥发1至2小时后引晶；

2.如有引晶困难作吊料处理。1.加强引晶质量确保一次成晶；2.尽力避免周期增长。1.按多晶提纯吊多晶；

2.及时停炉。事后现场保留事项1.现场巡查；

2.及时发现及时排除1.现场巡查；

2.及时换油

事后分析机械事故设备辅料对应管控措施1.如体内倒吸严重，观察窗模糊并不时掉氧化物立即作吊料处理；2.反之增加挥发时间并适当吊渣后待温度稳定开始引晶。1.及时维修；及时更换；2.流程记录真实性、持续性1.改善材质增强其耐高温减低老化频次；2.加强循环水管理排除污垢及水藻堵塞管道。负责人维修工维修工/换油工操作工/维修工三、设备6类型管道、密封异常炉体内异常布局异常超出管控计划因素氩气管道衔接处松动、氩气针阀破裂、密封圈老化或烫伤，管道螺丝没拧到位；炉体内渗水或漏水真空管道过长弯头多，挥发物易滞留在管道深处不易清扫和排泄对应原因分析1.上升炉筒时撞到流量计；2.清理十字架管道时氧化物烫伤密封圈未察觉；3.拧螺丝时用力不当，未对称用力，产生一边紧一边松。1.炉体内焊接点有渗水或漏点；2.观察窗玻璃或伊尔根玻璃开裂造成漏水。1.管道长，弯头多滞留挥发物不易排出；2.影响抽速；异常描述事前管控措施/标准1.小组长负责检查；2.维修人员及时跟进。1.焊接点过多并重发焊接的进行更换；2.对于出现重大异常的，安全第一位。1.定期清理死角；2.班长、小组长现场进行监督和记录。异常情况1.轻微漏气，籽晶出现发黑现象；2.导流筒上开始氧化；3.严重会出现炉体内冒烟现象。4.碳含量出现超标而反切。1.晶体带彩严查的会出现灰白色；2.炉压增高，炉体内氧化并漏水。1.下保温筒排气孔堵塞；2.籽晶发黑；3.石墨件氧化；4.炉压增大。拉晶周期长事中处理1.及时挽救进行修理；2.进行必要的反冲和挥发后在进行拉制，1.轻微的按正常单晶工艺拉制；2.严重立即作停炉处理。1.稳定温度注重引晶质量；2.出现轻微氧化时立即作反冲处理。事后现场保留事项

事后分析设备设备设备对应管控措施1.拆炉时副室、炉盖移至限位，避免升炉筒时碰撞；2.开氩气时先开氩气总阀在启开氩气针阀避免氩气压力大浮珠撞伤流量计；3.老化密封圈及时更换并且拆装时严防氧化物烫伤密封圈；4.拧螺丝时保持对称用力后一致用力。1.针对水量的大少决定是否继续拉制或停炉；2.漏水、渗水会导致石墨件发白，晶体灰白，挥发物增多影响拉晶。1.用12#铁丝扎牢钢丝球进行疏通；2.对十字架进行每炉清理。负责人操作工/维修工操作工/维修工操作工/维修工7三、辅料类型热场不规范原料异常超出管控计划因素新热场煅烧不彻底或石墨大件未煅烧成晶困难造成氧化杂质、异物、水汽、包装袋开裂硅料裸露；对应原因分析1.碳杂释放影响成晶；2.未煅烧热场影响抽空；1.石英杂质多拉制中断棱回熔，周期长挥发物多产生氧化；2.碳杂质多引晶出现多棱少棱或无棱；3.金属杂质多引晶、放肩或等径断棱。异常描述事前管控措施/标准1.严格规范，实行运行前工艺煅烧；2.班长、技师负责监督工艺的实施。1.来料后及时发现并反馈；2.重点异常作退料处理。异常情况1.引晶出现多棱或少棱；2.放肩就断棱；3.拉制周期加长产生氧化；4.碳含量会出现严重超标。1.成晶困难导致周期长产生氧化；2.品质异常，碳含量超标，少子寿命偏低。拉晶周期长事中处理1.熔料时可低温1H;中温1H在进行高温熔料；2.增加挥发时间2H以上；3.进行吊肩1-2次；1.增加挥发时间1-2H；2.吊渣1-2次；事后现场保留事项

事后分析辅料辅料对应管控措施1.煅烧不彻底会导致运行中碳毡灰掉入石英坩埚内不成晶或断棱增加了运行周期；2.石墨材质会因此降低使用寿命。1.装料前对物料进行核对，安装时及时发现异常2.适当增加时间使杂质挥发后被抽走；3.挥发后放肩提渣一至两次吊出渣子；4.稳定温度，重视引晶质量，尽快成晶。负责人操作工操作工/装料员8原因分析11.原料因素：原料杂质过多或表面处理时有残留物，易生成多个晶核，造成引晶无棱或多棱，放肩等径多次断棱，长晶周期长2.辅料因素：a.石英坩埚纯度不达标或内表面涂层不均匀，杂质进入硅液，污染原料，长晶困难b.加热器/碳毡老化/石墨件变形/，造成硅液各温区分布不合理，长晶界面不稳定，多次断棱，周期长3.操作因素：a.熔料或断棱回熔功率过高，硅液与石英坩埚反应剧烈，石英坩埚内含杂质进入硅液，硅液杂质浓度增大，长晶困难10解决措施11.原料因素：a.物料品质检验合格后标示合格标签，b.单晶车间接收原料时严格按配料单核对原料的重量/配比/属性,并对包装/硅料表面处理作目视确认，发现异常及时退回2.辅料因素：a.石英坩埚使用前严格按石英坩埚检验标准执行，b.加热器/碳毡老化/石墨件变形/装炉时仔细点检，测量不合格及时更换3.操作因素：a.熔料及回熔功率按工艺严格控制小于90kwb.长晶环节控制温度是关键，各环节严格按量化后的新工艺执行12解决措施35.设备因素：a.真空抽速/漏速/极限/严格按工艺达标后方可开炉，严禁无限制的放宽标准，炉台带病工作（尤其热态检漏按工艺在关闭功率1h后执行，禁止不进行冷态检漏环节直接开启功率的违规操作）b.漏水/漏气/及时发现，及时维修

C.真空管道定期清理（排气孔清理/1炉，十字架清理/1炉，电动球阀及前后管道清理/1次/月，真空罐清理/1炉，真空泵弯头/1次/月，真空泵泵腔及泵油/4炉，排烟管道/1次/3月）14超出管控控制---晶棒变形晶棒变形的原因操作导致晶棒变形设备导致晶棒变形工艺影响晶棒变形辅料影响晶棒变形15晶棒变形的原因操作：由于人员操作失误导致晶棒变形设备：由于设备损坏异常工作导致晶棒变形工艺：工艺参数偏离正常的生长曲线导致晶棒变形辅料：由于辅料不合格或老化导致晶棒变形16操作导致晶棒变形放肩温度控制：操作工对温度的控制不稳，导致放肩时温度过低，放肩成方形，转肩后没有及时调整温度；标准：所放肩和水平夹角成30度，所放时间控制在2-2.5H（6寸单晶）和2.5-3（6.5寸单晶）直径观察窗玻璃：观察窗玻璃污垢较多，没有及时清理导致信号差，导致直径失控，没有及时退自动调整；标准：大清炉台时清理直径观察窗玻璃/玻璃清洗、无污垢17设备导致晶棒变形热电锥连线：热电锥的连线接触不良，导致欧路值波动较大，导致温度异常晶棒变形。标准：开炉前对热电锥的连线进行点检前/连线紧密结合没有裸漏的导线阻尼套：阻尼套老化、磨损钢丝绳；标准：阻尼套的孔为光滑的圆形孔埚随比：埚随控制器坏，埚随比异常标准：点检和校正埚随比/给定埚随同时打开晶慢生和埚慢生，不同拉速的晶生和埚生比值一制18辅料影响晶棒变形热场：老化失、变形，老化失去保温效果，无法形成正常的温度梯度标准：碳毡粉化一碰即掉落的，石墨件变形无法正常和其它石墨件吻合。20超出管控控制---坩埚变形影响坩埚变形的因素操作-装料操作-埚位操作-功率设备影响坩埚变形原料影响坩埚变形辅料影响坩埚变形-坩埚辅料影响坩埚变形-加热器21操作-装料装料：装料搭配不当，上部挤压力过大；要求原料按小料、大料、中料的顺序来装料，小料（小于20mm块状硅料和碎片）中料（直径在20-80mm之间块状硅料）大料（直径大于80mm块状硅料）原因：1.急于装炉，没有合理安装原料；2.装料工艺未能掌握23操作-埚位埚位：没有降到熔料埚位；合炉前检查埚位是否降到最低埚位（加强炉台的点检）原因：熔料未降到最低埚位，等同于高温熔料区下降，底部硅料熔化，上部形成搭桥现象。24设备影响坩埚变形过流点过低，功率无法升到熔料功率；调高过流点电压、电流表显示不准确，实际电压、电流没有升到显示值；校正电压、电流表无法升到正常熔料的功率26原料影响坩埚变形原料搭配不当，整炉大料或整炉小料，增加装料的难度，使硅料挤压过紧，产生较大的挤压力，坩埚高温软化后挤压力释放坩埚变形。标准：要求原料按小料10-20%，中料15-25%，大料55-75%27辅料影响坩埚变形-坩埚坩埚质量不合格，要求：坩埚不允许有崩痕、裂纹、划伤、凹坑，杂质点（黑点、灰色、乳白色）直径大于3mm的不允许使用，直径1.5