工厂设备维修管理课件

什么是设备？半导体晶圆切割设备1.外界提供动力后可以运行2.可以使用3.生产出的产品具有可靠性什么是设备？半导体晶圆切割设备1.外界提供动力后可以运行2.1什么是保养维护？什么是维修？保持设备原始状态的工作内容原始状态是最初是通过制造商、经销商、代理商获取。后续原始状态是通过对设备信息的收集。（就是将单一的数据集群化，用科学的方法处理数据）将设备恢复到原始状态的工作内容什么是保养维护？什么是维修？保持设备原始状态的工作内容原始状2维修的变革历史维修的职能是将产品或服务的生产工具保持良好的状态。传统的维修职能发生变更诸种变迁其根本是企业苦苦追求的一个目标：最大限度地发挥现有设备的生产能力。提高效益成为高于一切的目标，为达成此目标，所有活动应围绕以下几点进行：缩短非生产时间，杜绝停产（Rundown)提高生产节奏（Activation)杜绝不良发生（Yield)维修的变革历史维修的职能是将产品或服务的生产工具保持良好的状3当今维修的新概念在经济因素，人力资源因素的影响下，维修职能有了新的内容，其特征是：维修人员向生产部门和外协维修厂家转移，维修部的执行人员逐渐消失；精简之后的维修部负责对企业设备的维修（改造）工作进行和领导。维修工程外委协维修厂家生产制造维修当今维修的新概念在经济因素，人力资源因素的影响下，维修职能有4维修工程负责人……调研TQC分析维修的必要性维修准备资源环境资源环境WorkBreakdownStructure（工作分解结构图）Work

package(工作包）不可分割部分外委维修合同维修工程负责人……调研TQC维修的必要性维修准备资源环境资源5OEE（OverallEquipmentEfficiency）综合设备效率OEE(%)=设备使用率*生产效率*良品合格率工作时间开机时间有效工作时间作业时间净工作时间OEE损失计划停机时间停机损失效率损失质量损失OEE（OverallEquipmentEfficien6OEE（OverallEquipmentEfficiency）综合设备效率设备使用率=作业时间/开机时间使用率有时也被称为开机率或机器开动率。开机时间=总的工作时间-计划停机时间计划停机时间=休息+5s+集会+预防维修+培训。。。作业时间=开机时间-所有非计划在内的停机时间OEE（OverallEquipmentEfficien7OEE（OverallEquipmentEfficiency）综合设备效率生产效率=（单个产品的标准生产时间*总的生产数量）/作业时间。合格率=（总的生产数量-总的次品数量）/总的生产数量OEE（OverallEquipmentEfficien8OEE（OverallEquipmentEfficiency）综合设备效率练习假设有一工厂某生产线某天工作时间为8H，其中用餐、休息时间为1H,在上线和收工之前的开会、点检、清扫需要费时30分钟，每天必须换线2次，每次15分钟，每天必须更换刀具1次，费时10分钟；生产线生产周期外围0.4分钟，当天生产数量为750个产品，其中不合格品为50个。请计算其总的设备效率。OEE(%)=作业时间350*0.4*750作业时间*700750*100%=80%OEE（OverallEquipmentEfficien9No英文翻译意义&公式1)OperationHrs(投产时间):设备台数*24hrs*查询天数2)LoadHrs(负载时间):投产时间-非负载时间3)Un-loadHrs(비负载时间):RunDown=NoWIP4)WorkedHrs(稼动时间):负载时间-(非稼动时间+设备BM时间+设备PM时间+设备ETC时间)5)un-workedHrs(非稼动时间):生产DownTotal+设备DownTotal+工程DownTotal时间6)ProductionDown(生产Down时间):Conversion等待+Conversion+OP确认+QC确认+作业准备+Cleaning时间7)EquipDown(设备Down时间):设备BM+设备PM+设备ETC8)OperDown(工程Down时间):工程Down+原材料缺失+UtilityDown9)Equip(BM)(设备BM时间):BM措施等待+BM措施+S/P缺失10)Equip(BM)Waiting(设备BM等待时间):BM措施等待时间11)Equip(BM)CarryOut(设备BM措施时间):BM措施时间12)PartShortage(S/P缺失时间):SparePart缺失时间13)Equip(PM)(设备PM时间):设备PM=定期PM+非定期PM时间14)Equip(PM)Regular(定期PM时间):定期PM=SchedulePM(根据计划实施的PM)时间15)EquipOccasionalPMRate(非定期PM时间):无计划的非定期PM时间16)EquipETC(设备其他时间):设备Modify+设备Overhaul时间17)EquipModify(设备Modify时间):设备Modify时间(为提高性能而进行改造的时间)18)EquipOverhaul(设备Overhaul时间):设备Overhaul(设备拆卸清洗/校正后重新组装)19)ReadyHrs（准备时间):Conversion等待+Convesion措施+生产作业者确认+QC作业者确认+Claning20)ConversionWaiting(Conversion等待时间):Conversion作业等待时间21)Conversion(Conversion时间):Conversion措施时间22)OperConfirm(生产作业者Confirm时间):Conversion完成后生产作业者作业者确认所需时间23)QCConfirm(QC作业者Confirm时间):Conversion完成后QC作业者确认所需时间24)OperationReady(作业准备时间):生产作业者作业准备时间25)Cleaning(Cleaning时间):Cleaning所需时间26)RawMaterialShortage(原材料缺失):因原材料不足引起的停止时间27)Utility(UtilityDown时间):因电力及水,Air异常引起的供给不稳定发生时间28)OPER(工程Down时间):工程师Down+原材料Down29)Eng'r(工程师Down时间):工程师Test&Evalatuon引起的Down时间30)RawMaterial(原材料时间):因原材料异常引起的Down时间No英文翻译意义&公式1)OperationHrs(投10No英文翻译意义&计算公式1OperationRate投产率:可投产率.100%基准计算2LoadRate负载率:负载时间/开工时间*100▶投产率-非负载率3UnloadRate非负载率:非负载时间/开工时间*100▶NoWIP(RunDown）等4OperatingRateofProducing生产稼动率:稼动时间/负载时间*1005OperatingRateofActualWorking时间稼动率:稼动时间/投产时间*1006OperatingRateofOperation投产稼动率:稼动时间/投产时间*1007OperatingRateofEquip.设备稼动率:(1-(设备Down时间/负载时间))*1008ProcessDownRate工程率:工程Down/投产时间*1009BMRateBM率:BMCarryOut(BM措施时间)/负载时间*10010BMWaitingRateBM等待率:BMWaiting(等待措施时间)/负载时间*10011MaintenanceRate整备率:BMTotal(措施时间+等待时间)/负载时间*100▶BM率+BM等待率12PartShortageRateS/P缺失率:S/P缺失时间/负载时间*10013PMRatePM率:定期PM时间(定期PM+非定期PM)/负载时间*10014RegularPMRate定期PM率:定期PM时间/负载时间*10015OccasionalPMRate非定期PM率:非定期PM时间/负载时间*10016Equip.ETCRate设备其他率:所有设备ETC时间(Modify+Overhaul)/负载时间*10017ModifyRateModify率:设备Modify时间/负载时间*10018OverhaulRate设备Overhaul率:设备Overhaul时间/负载时间*10019PreparationRate(%)准备率:准备率Total(Conversion+Conversion等待+OPConfirm+QCConfirm+作业准备+Cleaning)/负载时间*10020ConversionWaitingRateConversion等待率:Conversion等待时间/负载时间*10021ConversionRateConversion率:Conversion时间/负载时间*10022OperationReadyRate作业准备率:作业准备时间/负载时间*10023RawMaterialShortageRate原材料缺失率:原材料缺失时间/负载时间*10024UtilityRateUtility率:UtilityShutdown时间/负载时间*10025ProcessDownRate工艺率:工艺Down时间/负载时间*10026OPEREng'rRate工艺工程师率:工艺Engr'Down时间/负载时间*10027OPERRawMaterialRate工艺原材料率:工艺原材料Down时间/负载时间*100No英文翻译意义&计算公式1OperationRate11半导体专业用语集用语定义说明备注MTTCMean

TimeToChange（平均DVCChange时间）TotalDVCChangeTime/DVCChange次数MTBFMean

TimeBetweenFailures（平均故障间隔时间）TotalRunTime/Total故障次数MTBAMean

TimeBetweenAlarm（平均故障间隔时间）MTTRMean

TimeToRepair(平均故障修复时间）Totalrepairtime/Totalcount及时电算处理UPEHUnit

PerEquipmentHour单台设备单位时间的生产量Quantity/Time提高单位时间内的产量，缩短作业时间说明：TIME：Trackin~Trackout间的时间TATTurnAroundTime

产品周转时间设备效率提高，材料FLOW均匀MBOManageByObject

管理项目Quality/Quantity/Cost/MTBF根据公司及部门的要求OTDOnTimeDelivery

交货期ActQuantity/PlanQuantityKPIKeyPerformanceIndex：核心成果指标（KPI）TAT/OTD/Cost/UPEH部门或个人工作内容半导体专业用语集用语定义说明备注MTTCMeanTime12用语定义说明备注VOCVoiceofbusiness行业或竞争的需求改善/革新的背景VOBVoiceofcustomer顾客的需要改善/革新的背景COST单位成本当月（设备折旧+人工+材料+经费+其他）/当月生产量分子减少，分母增加时，成本节俭Efficiency效率；时间效率/性能效率实际值与标准值的百分比Capacity生产能力UPEH*Worktime(24)实际CAPA=UPEH*Time*效率Cycletime反复作业中一个动作/流程完成需要的时间等待时间减少，动作优化合并Downtime停止作业时间Equipmentdown:Breakdown/PM/Modify/OverhualReady:Conversion/Waiting/CleaningUtility:UtilityOper:Eng’r/RawmaterialCpk工程能力统计学指标，统计要求大于1.33稳定工程条件下计算用语定义说明备注VOCVoiceofbusiness行13用语定义说明备注DPMDefectPerMillion等同于PPMFAFailureAnalysis不良分析；主要方法：SAT/MRT/Hottest/Lowtest/Decap产品的作业状态及特性分析IRRInspectionRejectionReportMRRMonitoring

RejectionReportPMPreventiveMaintenance

（预防维护）事前对设备进行定期或非定期检查整改活动TPMTotal

ProfitManagement全员参与，预防改善活动SK-hynix定义PPMpartspermillion用语定义说明备注DPMDefectPerMillion14用语定义说明备注UCL/LCLUppercontrollimitLowercontrollimit工程管理范围,比spec

更严格;中心值的+/-3管理范围COPQCostofpoorqualityCOPQ=Visual

+Hidden减少Rework/LossClaim/Delay/StoreGradedown/TAT等可以有效改善a用语定义说明备注UCL/LCLUppercontro15什么是全员生产维修它不仅仅是一种维修管理的方法，更是一种理念、一种企业战略和文化。它需要从上到下的参与。在设备的整个寿命周期内进行。它是一种改善。体系最高管理层计划、财务、人事生产、工程、销售工厂什么是全员生产维修它不仅仅是一种维修管理的方法，更是一种理念16TPMTotalProductiveMaintenance：生产性维护维护1.设备结构复杂2.技术先进的设备3.使用连续性4.质量检验TPM生产管理的目标P__Q__C__D__S__M效率、质量、成本、交付、安全、士气需要使用TPM进行管理TPMTotalProductiveMaintenanc17TPMTotal

ProfitManagement全员参与，预防改善活动SK-hynix定义TPM12大哲学：1.业务2.全员参与3.重复小集团4.同方向化5.STEP活动6.过程重视7.发生源对策8.“0”的达成（零不良、零故障、零事故）9.追求真确的事态10.预防主义11.体验工学12.体质的变化（个人和公司的变化）TPMTotalProfitManagement全员参18全员生产维修停机维修：预防维修：预见维修：维修改进：停机维修：设备产生故障后才对其进行维修设备产生故障后才对其进行维修通过点检、巡检保持设备正常状态、及早发现问题。定期更换零件，在故障发生前消除它。改进设备的功能、性能、可维修性等。（设备改造）在设备设计过程中，考虑可维护性、故障预示等性能。维修管理的目标零损失零停机零事故全员生产维修停机维修：预防维修：预见维修：维修改进：停机维修19抢修的控制抢修是当设备运行出现故障事进行的修理，具有“救火”的性质。这种修理产生的两个方面的成本：-直接成本，即修理本身的费用-由故障引起的间接成本生产损失无效的固定开支折旧商业后果以抢修方式“修好”的机器故障率通常高于正常机器，其经济寿命将缩短。因此，应该减少抢修、进行预防性的维修。抢修的控制抢修是当设备运行出现故障事进行的修理，具有“救火”20抢修的控制定期式维修按照设计的时间进行维修条件式维修时按照信息资源的可靠性来操作，条件式维修时对定期式维修的优化。故障：某一功能没有实现该功能所生的结果。性质：故障事构成某系统偏离正常状态的结果手段:这种偏离构成系统正常状态的维修。抢修的控制定期式维修按照设计的时间进行维修条件式维修时按照信21故障原因分析的方法因果图分析法（FishboneDiagram）1.构造Problem(问题)Category1(特性要因1)Category3(特性要因

3)Cause1(主要原因

1)Category4(特性要因4)Cause2(主要原因

2)Sub1(附属原因1)Sub2(附属原因2)Category2(特性要因2)故障原因分析的方法因果图分析法（FishboneDiag222)特性分类方法

①特性一般以4M为基准进行分类.

▶4M:Man(人),Machine(设备，机器),Material(材料),Method(方法)

②根据情况也可依据6M为基准进行分类.

▶6M:4M+Measurement(测定),Environment(环境)3)编制顺序1)定义主题特性.2)依据自由讨论（Brainstorming)的形式对要因进行提出.3)把要因按4~6个大骨(要因)进行分层.4)再对成为中骨和刺的要因进行分层.5)把遗漏的要因再次通过自由讨论(Brainstorming)的形式进行补充.*按对特性影响的大小设定即大因素设定为大骨,中骨,刺.因果图分析法2)特性分类方法3)编制顺序因果图分析法23B/G工程WaferCrackMan(人)Material(材料)Method(方法)Machine(设备)Example)Problem(问题)因资材掉落引起Broken发生较多在移送资材的过程中

因碰撞引起掉落的现象较多TransferPad表面污染

引发VacuumLeakTapePeeling時Crack发生多TransferPadWaferDrop多WheelBroken引起的

Crack发生多LaminationTape异物引起Crack多检查工程Crack发生多PadCleaner清洁功能不足PeelingUnit

TapePeel-OffSpeed过快SpeedController控制不良因Tape粘合性下降发生分层及异物流入因作业半径小引起碰撞的几率高Wheel研磨特性的不适合性引起的Overload发生Wheel磨损度低而引起Current上升工程间检查

过程较多因错误Handling引起的Broken多作业者作业方法不熟悉新职员OJT不足因Tape生产商生产不良引起Tape粘合性下降进行全检2Cycle引起Handling过多厚度测定时WaferStress过多发生Thin资材Crack多直接接触方式HeightGaugeWaferStress增加B/G工程ManMaterialMethodMachine24KT方法

该方法为五个步骤：陈述问题说明问题找出有信息通过测试找出置信度最大的原因对最可能的原因进行核实描述性提问问题最接近的类似设备差别内容哪个单元有问题是：1号过滤器是：漏油有可能是但不是2至5号过滤无类比1号过滤器与2~5号有何差别？-1号装有方形密封圈，其他上面是圆形的。地点那个单元在哪里？观察结果是：过滤室的东北角观察的结果是：在观察口处观察结果有可能是但不是：过滤室的其他地方阀门，管道和启闭结构东北角与其他地方有何区别？最靠经水泵因而震动比其他地方强。观察口于管道口区别？观察口每班都打开关闭一次。时间什么时候发生的变异？什么时候发现到变异？变异出现再单元工作的哪个阶段？三天前观察到。每班时刻都可观察到。开班时，当油开始穿过过滤器是开始出现。三天以前可能观察到但没有观察到停机时可能观察到但没有观察到在运行的以后阶段中，可能出现但没有出现-程度问题的范围有多大？

多少个单元有影响？有缺陷的单元在多大程度上受影响？是：每班漏出5到10加仑有可能但不是少于5加仑大于10加伦有可能是但是不是2到5加伦-问题：一号过滤器漏油KT方法该方法为五个步骤：陈述问题描述性提问问题最接近25为什么-为什么分析，也被称作5个为什么分析，它是一种诊断性技术，被用来识别和说明因果关系链，它的根源会引起恰当地定义问题。不断提问为什么前一个事件会发生，直到回答“没有好的理由”或直到一个新的故障模式被发现时才停止提问。解释根本原因以防止问题重演。文件中所有带有“为什么”的语句都会定义真正的根源(通常需要至少5个“为什么”，但5个why不是说一定就是5个，可能是1个，也可能是10都没有抓到根原)。5WHY分析方法

为什么-为什么分析，也被称作5个为什么分析，它是一种诊断性技26阿波罗13氧气舱爆炸氧气舱内的风扇开启后氧气舱爆炸为什么爆炸会发生？1970年4月13日电线使风扇变成拱形并引燃舱内的氧气为什么会被电线弄成拱形?导线中心被引爆为什么中心被引爆?绝缘被烧坏为什么绝缘被烧坏?在前导系统测试过程中氧气舱过热为什么氧气舱过热?氧气舱中的加热器通常会维持舱内的压力，但在舱内被清空后（也就是测试结束后）没有被关掉为什么加热器没有被关掉?切断电源的开关可以在舱过热时自动关掉加热器，可是它失效了。为什么开关会失效?在测试中它超过了额定电压。工程师们确信舱内的液氧可以使开关保持冷却,然而,当舱内被清空时，开关就迅速地变热从而失效。为什么加热器首先被启动？当测试结束时舱内的氧气并没有彻底清除干净(为了安全起见，测试结束后舱内不应留有氧气)为什么舱内没有完全被清空?在前导系统测试中插口管被震松了。为什么加热器没有被关掉?Example1)阿波罗13氧气舱爆炸氧气舱内的风扇开启后氧27工厂设备维修管理[课件]28Example2自由想象)材料Unload后，Operator发现有20EACrack,请根据这一现象，运用5Why分析法找出最终原因。Example2自由想象)材料Unload后，Ope29

设备预防性维修PM介绍PM介绍

设备预防性维修PM介绍PM介绍以公司整体目标为中心，主动思考、自我指导、跨职能划分的工作小组一起互相协作，努力提高各自工作区内的设备效率。概述●T－Total

全面（综合性）●P－Productive生产性（生产率）

●M－Maintenance维护（保养）

TPM介绍以公司整体目标为中心，主动思考、自我指导TPM的新定义：一追求生产系统的效率化的极限（综合效率化），以提高企业的素质为目标；二延长生产系统的生命周期，预防“灾害损耗、不良损耗、故障损耗”等一切损耗，并在现场落实具体措施；三涉及以生产部门为首的开发、经营、管理等一切部门；四从总经理到第一线的全体员工参加；五通过重复的小集团活动，达到零损耗。TPM－全面生产性维护TPM的新定义：一追求生产系统的效率化的极限（综合效率化），P

M

的

组

成●有计划进行维护；●提高设备效率；●开展小组活动；●进行操作和维修培训；●进行早期设备管理。TPM的组成P

M

的

组

成●有计划进行维护；●提高设备效率；●TPM的目标●库存是零；●停工时间是零；●故障是零；●质量缺陷是零；●事故是零；●浪费是零；●用户抱怨是零。こんにちはTPM的目标●库存是零；●停工时间是零；●故障是零；●●为了企业的生存和发展(企业的生存/经营环境日趋严峻)●实施TPM绩效显著,同行中的竞争对手已在实施,并已收到积极的成效；●企业力求成为世界上最好的汽车零部件供应商;●自我管理,自主保养观念深入人心;●得到了公司高级管理部门的高度重视和强有力的支持；●辅助管理部门会齐心协力地工作；为什么要实施TPM？●为了企业的生存和发展(企业的生存/经营环境日趋严峻)为什TPM的好处TPM的好处小组活动及其七个步骤小组活动及其七个步骤小组活动及其七个步骤小组活动及其七个步骤一、清洗就是检查

鉴别以下几个问题：－安全问题－一般设备问题－内务管理问题基准是：

我们不只是要清洁的机器，而且要经过彻底检查的并且恢复到理想状态的机器。5S—清理一、清洗就是检查鉴别以下几个问题：5S—清理二、清洗、加润滑油和安全程序对程序作明文规定会使你（和你的接班人）干起来更加容易一些并使用程序取得持续改进。

这意味着你应当考虑如何更加有效的履行那些程序并减少浪费。

设备的机械故障70％以上可以说是由于润滑不当造成的

5S—清洗，加轮滑剂二、清洗、加润滑油和安全程序对程序作明三、消灭杂质来源我们为什么要担心杂质来源呢?

－杂质会隐藏引起故障和质量问题的缺陷－杂质源会造成潜在的安全事故

如果不清除杂质源会如何呢？

－清洗起来更加困难，更费时间

－人们很快会厌倦”清洗就是检查”活动

消灭杂质源的结果：

－改善工作环境，提高工作热情

－消除安全隐患

－减少浪费

三、消灭杂质来源我们为什么要担心杂质来源呢?

四、全面检查培训

包括对以下各个方面作一个基本了解：

－加剧恶化的原因，例如应力、热污染等－液压装置的基本原理

－电路的基本原理

－Handler、System的基本原理

－电气的基本原理等

四、全面检查培训包括对以下各个方面作一个基本了解：五、自行的小组活动检查和程序

自行的小组活动可以发现并改正隐藏的缺陷。利用四种感官来检查发现异常情况：

－利用你的眼睛进行直观检查

－利用你的耳朵发现异常的噪声

－利用你的触觉发现振动和热辐射

－利用你的嗅觉发现异常的气味

自行检查活动五、自行的小组活动检查和程序自行的小组六、工作场所组织和内务处理

－清除废物

－分类整理

－定置管理（每一物品都有自己的位置且到位）

－保持清洁

－标准化（直观明了，便于查找，并保持之）六、工作场所组织和内务处理－清除废物七、小组设备管理

数据收集管理使用，所带来的好处：

－避免忘却昨天甚至是今天犯过的错误－设备有效率会不断提高

－早期设备管理活动会取得很大的改进

数据收集的原则：

－空转和其他时间损失

－停工原因的原因

－质量和其他类似数据

－设定和调整时间

－数据非常详尽足以说明原因

预防性维修保养出色和质量第一应当在数据收集方面有一个良好的开始。

七、小组设备管理数据收集管理使用，所带来的好处：设备的损耗设备的损耗设备的损耗设备的损耗损耗的定义CompanyLogo1突发性损耗－－－频次低,损失较大,对策易确定

2慢性损耗－－－－频次高,对策难确定,单次损失小,但累计损失大损耗的定义损耗的定义CompanyLogo1突发性损耗－－－频次低,设备的七大损耗和组合故障损耗－－－功能停止型(突发)、功能下降型

准备、调整损耗－－－上一产品→停止→下一产品之间隔时间

调换刀具损耗－－－调换刀具及修整刀具之时间

加速损耗－－－加工条件不稳定(夹具/模具/操作水平等)

检查停机损耗－－－暂时故障/空运转

速度损耗－－－实际运转速度＜设计运转速度废品、修整损耗－－－报废或修整不良品设备的七大损耗和组合故障损耗－－－功能停止型(突发)、功能下改进设备效率设备总效率(OEE)的概念

OEE:O-Overall、E-Equipment、E-Effectiveness设备可使用率＝设备应工作时间－停止时间

×

100％

设备应工作时间性能效率＝理想单件周期×加工零件总数

×

100％

设备应工作时间－停止时间正品率=加工零件总数－有缺陷零件总数

×100％

加工零件总数改进设备效率设备总效率(OEE)的概念一、设备的可使用率的定义定义－－－负载时间(必须使设备工作的时间)与实际工作时间的比率。

“你的机器在有人操作时的运行时间的百分率”

减少非计划停机时间：

－故障－设定和调整造成的损失－刀具损失(因刀具磨损或断裂而换刀)一、设备的可使用率的定义定义－－－负载时间(必须使设备工二、设备的性能效率的定义定义－－－由速度工作率和净工作率组成。

速度工作率－－－速度差,是相对设备固有能力(周期时间)而言的速度的比率。

净工作率－－－是否在单位时间内按一定的速度工作。

速度工作率＝基准周期时间

×100％

实际周期时间净工作率＝加工零件数量(产量)×实际周期时间

×

100％

设备应工作时间－停止时间性能效率＝速度工作率×净工作率×100％

二、设备的性能效率的定义定义－－－由速度工作率和净工作率组三、正品率正品率－－－产品一次通过合格率。

正品率＝加工零件总数-次品数

×100％

加工零件总数

三、正品率正品率－－－产品一次通过合格率。设备基本完好练习练习设备基本完好练习练习0查看：－从设备的各个侧面拍照－绘制一份设备平面图－安全隐患－杂质－没有运行问题－内务管理观察练习0查看：观察练习清洗就是检查－亲自动手清洗设备－发现了更多的缺陷－把便条粘在有缺陷的地方清洗就是检查清洗就是检查－亲自动手清洗设备清洗就是检查加润滑剂注意到其他缺陷（破损或遗漏的加油嘴）在图上标上加油孔核对加油孔绘制一张润滑油流程图发现被忽视的问题上贴上标签加润滑剂注意到其他在图上标上核对加油孔绘制一张润发现被忽视查找杂志来源－利用任何工具通过直观办法设计一项处理杂质的方法－从杂质来源清单上选择一个问题12查找杂志来源－利用任何工具通过直观办法设计一项处理杂质的方法预防性设备维护是指在采取必要的措施和方法，防止设备在运行中可能造成的磨损、损伤或破坏，最主要的是指在近期内预防和发现设备在运行中可能给将来运行造成损坏或潜在的危害。为保证预防性维护工作的可操作性，应该制定一套预防性维护操作程序，在制定预防性维护程序中，应简单、实际，让人容易理解和掌握。程序中应包括定期检查或检验设备是否有异常的响声、振动。

预防性设备维护的定义：预防性设备维护是指在采取必要的措施和方法，防止设备在运行顾名思义，预防性维护就是在设备未发生故障前对设备进行有针对性、有计划性、有目标性采取预防性的一些修补方法，也称改善式维修。如对机器设备进行检查、润滑或更换零部件，修补设备由于长时间运行发生的磨损，尽快发现设备在运行中产生的因磨损而出现的某些可预见性维护。设备预防性维护的目的：顾名思义，预防性维护就是在设备未发生故障前对设备进行有针“零”停机

设备预防性维护的终极目标：好厉害呀！“零”事故“零”库存“零”停机设备预防性维护的终极目标：好厉害设备某一功能发生差变或没有实现该功能所产生的后果。什么叫设备故障：我们怎样确保设备功能在发生差变前就被我们预知，并进行措施，这就是设备预防性维护。设备某一功能发生差变或没有实现该功能所产生的后果。什么叫谈谈各自心中理解的PM概念？

谈谈各自部门的设备PM是怎么进行的？讨论：谈谈各自心中理解的PM概念？讨论：5S是设备PM的前提，也是PM的最重要最基本的事项5S是设备PM的前提，也是PM的最重要最基本的事项5S之来源:

5S管理源于日本。因为整理.整顿.清扫.清洁.教养的日语外来词汇的罗马文拼写的第一个大写字母都为S,故称之为5S。指的是在生产现场,对材料.设备人员等生产要素开展相应的整理.整顿.清扫.清洁.教养等活动,为其他管理活动奠定良好的基础,是日本产品品质得以迅猛提高行销全球的成功之处!

近年来,随着人们对这一活动的不断深入认识,有人又添加了:安全.节约等两项内容,分别称为6S和7S活动!5S之来源:5S管理源于日本。因为整理.整顿635S活动的定义

整理（整理：Shiri)

“需要的物品”和“不需要的物品”区别开来

不需要的物品扔掉和归还的活动

整顿

（整顿：Seiton)

“不需要的物品”安全，品质，效率等一致，

任何人都可以容易的知道，很容易的在自己

的位置上用的活动

清扫

（清扫：Seiso)

异物质.污染.垃圾等干净的除掉的活动

清洁（清洁：Seiketsu)

整理，整顿，清扫状态常常维持，保持的活动

习惯化（习惯化：Shitsuke)

定下的事情常常正确的执行能够到习惯化的程度1S2S3S4S5S5S活动是指在制造现场及办公室里应该实施的基本性的整理，整顿，清扫，清洁，习惯化等5种必须的改善活动.﹡5S的“S”是日语中，英文标示的缩写。5S活动的定义整理（整理：Shir643S定品定位

定量3S整理整頓淸掃3定看得见的管理3S定品定位定量3S整理整頓淸掃3定看得见的管理653定的含义3定在哪儿

（场所表示）所在地表示

“定品”

番地表示看

板

策

略

/

用

眼

睛

看

到

的

整

顿物品

（设备）是什么

（品目表示）货架品目表示

“定量”

物品品目表示

几个

（数量表示）最大量表示

“定位”

最小量表示

机器

（设备）

3定的含义3定在哪儿

（场所表示）所在地表示“定品”665S的益处

通过规范现场、现物，营造一目了然的工作环境，培养员工良好的工作习惯，其最终目的是提升人的品质：1、革除马虎之心，养成凡事认真的习惯（认认真真地对待工作中的每一件“小事”）；2、提高品质，降低不良；3、减少浪费，降低成本；4、确保交期，顺利交货；5、自觉维护工作环境整洁明亮的良好习惯；6、减少库存，改善零件在库周转率；7、改善员工精神面貌，提高企业整体形象。5S的益处通过规范现场、现物，营造一目了然的工作环67设备的保养，维护和维修工作可以按照项目管理的工作分解结构，即WBS(WorkBreakdownStructure)的方法，对设备进行分解：方法1：按结构分解某某设备部件A部件B部件C部件D组件A1组件A2组件B1组件B2组件C1组件C2组件D1组件D2零件1零件2零件1零件2零件1零件2零件1零件2零件1零件2零件1零件2零件1零件2零件1零件2设备的保养，维护和维修工作可以按照项目管理的工作分解结构，即方法2：按功能分解某某设备机械部分电器部分仪器部分仪表部分软件部分硬件部分传动部分警示部分组件1组件2组件1组件2组件1组件2组件1组件2组件1组件2组件1组件2组件1组件2组件1组件2零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1零件1方法2：按功能分解某某设备机械部分电器部分仪器部分仪表部分软设备零件更换周期表零件名\内容工作部位以周为单位以月为单位以年为单位更换数量\次备注1.某某零件名

2.某某零件名

3.某某零件名

4.某某零件名

5.某某零件名

6.某某零件名

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设备零件更换周期表零件名\内容工作部位以周为单位以月为单位以零件名\部位工作部位润滑/3M6M1Y紧固/3M6M1Y清洗/3M6M1Y清扫/3M6M1Y调整/3M6M1Y测温/3M6M1Y测压/3M6M1Y振动/3M6M1Y噪音/3M6M1Y泄露/3M6M1Y备份/3M6M1Y各项临界值1.**零件名

2.**零件名

3.**零件名

4.**零件名

5.**零件名

6.**零件名

7.**零件名

8.**零件名

9.**零件名

10.**零件名

设备维护保养周期表零件名\部位工作部位润滑/3M设备的管理方法设备的管理方法什么叫设备？连续生产或直接流向某个功能什么叫设备？连续生产或直接流向某个功能什么叫故障？某一功能的差变或没有实现该功能所产生的后果什么叫故障？某一功能的差变或没有实现该功能所产生的后果对设备的管理，首先表现在对设备文件和档案的管理对设备的管理，首先表现在对设备文件和档案的管理文件文件的内容变动性很大，会十分频繁的被修改和编排。这类资料有：1.设备技术卡2.预防措施卡3.故障记录4.技术指南及其他故障5.供应商维修记录文件档案档案将不同性质的资料按照对象进行分类组合，对象可以是：1.一台设备2.一项工作3.某件事情4.等等档案怎么样管理设备？数据库的建立：1.设备原始情况2.设备阶段性使用情况3.预防性维修情况4.故障频率情况5.措施实施情况6.预测与比较结果情况7.TQC/次情况怎么样管理设备？数据库的建立：设备维修项目管理的工作1.分解项目目标2.将各项不可分割的任务，连同责任人列出表格3.将各项任务按照逻辑关系排列，网络图，获得总工期4.将各项任务的工期的长度画成线，“挂”在日历上设备维修项目管理的工作设备维修准备的必要性设备科的生产效率，即使是在组织良好的情况下，也只是在40%到60%之间。这就是说，平均而言，一个工作人员的两个小时只有一个小时是实际进行维修工作的时间，另外一个小时则是用来做一些必须但不产生效益的事情，

这些事情是：去维修地点或去备品配件库

等待正在加工中的零件、等待搬运工具、等待运输途中的物件或等待同事

等待上级发生进行安全维修所必须的开工指令

一项维修完成之后是另一项维修开始之前的等待，工作日开始或结束时的等待

与要进行的工作无直接关系的讨论或其他活动设备维修准备的必要性设备科的生产效率，即使是在组织良好的情况设备维修准备要达到的目标

维修准备的首要目标是避免维修过程中的时间浪费，其结果是降低维修的直接成本。

同时，缩短维修时间也就是缩短在设备上施工时间，从而减少设备停机时间，这也就是维修的根本目标。

维修的准备工作旨在为维修的实施确定优化的条件和方法。为此，对于每一项维修应进行如下工作：a.收集所有能方便维修的信息，如：+维修工程的内容和限度+维修工程的相关技术资料+必要的零配件，材料和工具+风险和防范措施b.分析所有维修过程的各个步骤以找出最好的技术和经济方案c.预先调整各个施工细节以便维修工作能在最佳条件下完成设备维修准备要达到的目标维修准备的首要目标是避免维设备维修效率的管理--.一方面，采取一般性措施（如调整车间位置、协调不同工种之间的配合、提高零配件及工具的发生速度等），以最大限度的减少不必要的时间损失。--.另一方面，设立一套系统的分析方法，在维修开始之前对维修工程进行分析，以最大限度地避免遗漏和意外对维修工程进程的影响。设备维修效率的管理设备的可运行性及综合效率1.生产设备的可用性停机维修停机意外停机批次更换生产过程中异常制造周期间时行运可间时的产生于用可间时产生造制间时用使从维修角度看设备的可用性=可用于生产的时间/可运行时间1.法规性停机和社会性停机2.故障修理停机3.计划维修停机4.停工待料5.等待生产指令6.缺席会议出差

休假或病假

罢工7.换工装停机8.换产品系列9.意外时间停机（原料、产品缺陷…）10.制造周期：生产合格产品的节奏设备的可运行性及综合效率1.生产设备的可用性停机维修停机意外2.综合效率维修部门效率指数通常用设备的可用性来表示。而今人们感兴趣的是生产

设备相对于它实际潜在生产能力而言的最终效率，也就是综合嫁动率综合嫁动率=合格产品数/可能产出的产品数2.综合效率维修部门效率指数通常用设备的可用性来表示。而设备关键性评估法--PIEU法对维修的需要与每台机器的性质及使用情况密切相关，为了更好地描述每个用户对机器的期待，有必要对机器的关键性进行评估。设备的关键性用于测试设备的不可用性对整个企业的影响。关键性通过以下四个指标来衡量：P=故障的后果，即故障出现对设备的严重性（problem）I=设备重要性，表示故障对企业生产活动的影响程度（Importance)E=设备现状（Equipment)U=使用率，即设备使用时间与设备开放时间之比（Usage）每个指标有4个可能的值，从0到3，每台设备都有相应得评分。设备关键性评估法--PIEU法对维修的需要与每台机器的性质及设备关键性的评分表设备关键性的评分表指标0123P故障

后果对质量和环境有严重影响影响质量产生次品可以反工对安全和质量无任何影响I设备

重要性既不可转用其他机器也不可能外协不可能转用其他设备但可以外协可以转用其它设备或外协辅助性设备E设备

状况需重新设计需更换坏好U使用

率饱和（100%）高一般低设备关键性的评分表设备关键性的评分表指标0123P每台机器的关键性等于该机器4个指标取值的乘积：CR=P*I*E*UCR值越低，机器的关键性越大，关键性为0的机器时极为关键的机器。根据用这种方法确定的设备关键性，可以对每个车间，每台设备制定维修方案。有两类设备：

极为关键的设备（关键性为0）

关键性在1和3之间的设备

对于极为关键的设备，应制定特别的维修方案

致于其他设备，可分三类A类；1≺CR≤3，关键设备B类；3≺CR≤25，一般设备C类；25≺CR≤81，非关键设备针对每类设备制定标准的维修方案。每台机器的关键性等于该机器4个指标取值的乘积：就算失败了，只要知道失败的原因就是成功！就算失败了，只要知道失败的原因就是成功！THANKSTHANKS什么是设备？半导体晶圆切割设备1.外界提供动力后可以运行2.可以使用3.生产出的产品具有可靠性什么是设备？半导体晶圆切割设备1.外界提供动力后可以运行2.90什么是保养维护？什么是维修？保持设备原始状态的工作内容原始状态是最初是通过制造商、经销商、代理商获取。后续原始状态是通过对设备信息的收集。（就是将单一的数据集群化，用科学的方法处理数据）将设备恢复到原始状态的工作内容什么是保养维护？什么是维修？保持设备原始状态的工作内容原始状91维修的变革历史维修的职能是将产品或服务的生产工具保持良好的状态。传统的维修职能发生变更诸种变迁其根本是企业苦苦追求的一个目标：最大限度地发挥现有设备的生产能力。提高效益成为高于一切的目标，为达成此目标，所有活动应围绕以下几点进行：缩短非生产时间，杜绝停产（Rundown)提高生产节奏（Activation)杜绝不良发生（Yield)维修的变革历史维修的职能是将产品或服务的生产工具保持良好的状92当今维修的新概念在经济因素，人力资源因素的影响下，维修职能有了新的内容，其特征是：维修人员向生产部门和外协维修厂家转移，维修部的执行人员逐渐消失；精简之后的维修部负责对企业设备的维修（改造）工作进行和领导。维修工程外委协维修厂家生产制造维修当今维修的新概念在经济因素，人力资源因素的影响下，维修职能有93维修工程负责人……调研TQC分析维修的必要性维修准备资源环境资源环境WorkBreakdownStructure（工作分解结构图）Work

package(工作包）不可分割部分外委维修合同维修工程负责人……调研TQC维修的必要性维修准备资源环境资源94OEE（OverallEquipmentEfficiency）综合设备效率OEE(%)=设备使用率*生产效率*良品合格率工作时间开机时间有效工作时间作业时间净工作时间OEE损失计划停机时间停机损失效率损失质量损失OEE（OverallEquipmentEfficien95OEE（OverallEquipmentEfficiency）综合设备效率设备使用率=作业时间/开机时间使用率有时也被称为开机率或机器开动率。开机时间=总的工作时间-计划停机时间计划停机时间=休息+5s+集会+预防维修+培训。。。作业时间=开机时间-所有非计划在内的停机时间OEE（OverallEquipmentEfficien96OEE（OverallEquipmentEfficiency）综合设备效率生产效率=（单个产品的标准生产时间*总的生产数量）/作业时间。合格率=（总的生产数量-总的次品数量）/总的生产数量OEE（OverallEquipmentEfficien97OEE（OverallEquipmentEfficiency）综合设备效率练习假设有一工厂某生产线某天工作时间为8H，其中用餐、休息时间为1H,在上线和收工之前的开会、点检、清扫需要费时30分钟，每天必须换线2次，每次15分钟，每天必须更换刀具1次，费时10分钟；生产线生产周期外围0.4分钟，当天生产数量为750个产品，其中不合格品为50个。请计算其总的设备效率。OEE(%)=作业时间350*0.4*750作业时间*700750*100%=80%OEE（OverallEquipmentEfficien98No英文翻译意义&公式1)OperationHrs(投产时间):设备台数*24hrs*查询天数2)LoadHrs(负载时间):投产时间-非负载时间3)Un-loadHrs(비负载时间):RunDown=NoWIP4)WorkedHrs(稼动时间):负载时间-(非稼动时间+设备BM时间+设备PM时间+设备ETC时间)5)un-workedHrs(非稼动时间):生产DownTotal+设备DownTotal+工程DownTotal时间6)ProductionDown(生产Down时间):Conversion等待+Conversion+OP确认+QC确认+作业准备+Cleaning时间7)EquipDown(设备Down时间):设备BM+设备PM+设备ETC8)OperDown(工程Down时间):工程Down+原材料缺失+UtilityDown9)Equip(BM)(设备BM时间):BM措施等待+BM措施+S/P缺失10)Equip(BM)Waiting(设备BM等待时间):BM措施等待时间11)Equip(BM)CarryOut(设备BM措施时间):BM措施时间12)PartShortage(S/P缺失时间):SparePart缺失时间13)Equip(PM)(设备PM时间):设备PM=定期PM+非定期PM时间14)Equip(PM)Regular(定期PM时间):定期PM=SchedulePM(根据计划实施的PM)时间15)EquipOccasionalPMRate(非定期PM时间):无计划的非定期PM时间16)EquipETC(设备其他时间):设备Modify+设备Overhaul时间17)EquipModify(设备Modify时间):设备Modify时间(为提高性能而进行改造的时间)18)EquipOverhaul(设备Overhaul时间):设备Overhaul(设备拆卸清洗/校正后重新组装)19)ReadyHrs（准备时间):Conversion等待+Convesion措施+生产作业者确认+QC作业者确认+Claning20)ConversionWaiting(Conversion等待时间):Conversion作业等待时间21)Conversion(Conversion时间):Conversion措施时间22)OperConfirm(生产作业者Confirm时间):Conversion完成后生产作业者作业者确认所需时间23)QCConfirm(QC作业者Confirm时间):Conversion完成后QC作业者确认所需时间24)OperationReady(作业准备时间):生产作业者作业准备时间25)Cleaning(Cleaning时间):Cleaning所需时间26)RawMaterialShortage(原材料缺失):因原材料不足引起的停止时间27)Utility(UtilityDown时间):因电力及水,Air异常引起的供给不稳定发生时间28)OPER(工程Down时间):工程师Down+原材料Down29)Eng'r(工程师Down时间):工程师Test&Evalatuon引起的Down时间30)RawMaterial(原材料时间):因原材料异常引起的Down时间No英文翻译意义&公式1)OperationHrs(投99No英文翻译意义&计算公式1OperationRate投产率:可投产率.100%基准计算2LoadRate负载率:负载时间/开工时间*100▶投产率-非负载率3UnloadRate非负载率:非负载时间/开工时间*100▶NoWIP(RunDown）等4OperatingRateofProducing生产稼动率:稼动时间/负载时间*1005OperatingRateofActualWorking时间稼动率:稼动时间/投产时间*1006OperatingRateofOperation投产稼动率:稼动时间/投产时间*1007OperatingRateofEquip.设备稼动率:(1-(设备Down时间/负载时间))*1008ProcessDownRate工程率:工程Down/投产时间*1009BMRateBM率:BMCarryOut(BM措施时间)/负载时间*10010BMWaitingRateBM等待率:BMWaiting(等待措施时间)/负载时间*10011MaintenanceRate整备率:BMTotal(措施时间+等待时间)/负载时间*100▶BM率+BM等待率12PartShortageRateS/P缺失率:S/P缺失时间/负载时间*10013PMRatePM率:定期PM时间(定期PM+非定期PM)/负载时间*10014RegularPMRate定期PM率:定期PM时间/负载时间*10015OccasionalPMRate非定期PM率:非定期PM时间/负载时间*10016Equip.ETCRate设备其他率:所有设备ETC时间(Modify+Overhaul)/负载时间*10017ModifyRateModify率:设备Modify时间/负载时间*10018OverhaulRate设备Overhaul率:设备Overhaul时间/负载时间*10019PreparationRate(%)准备率:准备率Total(Conversion+Conversion等待+OPConfirm+QCConfirm+作业准备+Cleaning)/负载时间*10020ConversionWaitingRateConversion等待率:Conversion等待时间/负载时间*10021ConversionRateConversion率:Conversion时间/负载时间*10022OperationReadyRate作业准备率:作业准备时间/负载时间*10023RawMaterialShortageRate原材料缺失率:原材料缺失时间/负载时间*10024UtilityRateUtility率:UtilityShutdown时间/负载时间*10025ProcessDownRate工艺率:工艺Down时间/负载时间*10026OPEREng'rRate工艺工程师率:工艺Engr'D