俄乌冲突、氖气断供-中国半导体会“窒息”-

1、俄乌冲突、氖气断供_中国半导体会“窒息”_作者|清柠 来源|科工力量(ID：guanchacaijing)前言“现在两三天一个价格，价格波动很大。”面对俄乌冲突，凯美特气淡定的选择涨价。根据公司官方说法，公司的特种气体主要销往国外，国外企业的报价也高于国内。涨价是最正常的反应。作为缓冲气体，氖气可以看做是光刻机的“刀片”：稀有气体经过混合后，在高压条件下产生电子跃迁，释放出光子，光子在通过介质转化成激光。如同刀片在磨刀石中摩擦，变得格外锋利。从而“刮掉”光刻胶。不巧的是，乌克兰掌握着全球70%的氖气供应。俄乌冲突，很可能意味着没有氖气。没有了氖气，就没有了刀片。没有了刀片，光刻机就要罢工。光刻

2、机罢工后，全球的半导体供应都会受到干扰。凯美特气的反应没有错，现在最慌的，可能是半导体企业。01乌克兰的氖气，靠捡漏乌克兰在特种气体行业的发展史，可以用八个字概括：大哥吃肉，小弟喝汤。工业气体根据来源不同，可以简单的分为空分气体，特种气体和合成气体。俄乌局势引发讨论的氖气，就属于工业气体中的特种气体。不论是分离空气成分，还是化学合成气体。这两者都离不开工业生产的支持，尤其是能源化工产业和钢铁产业。乌克兰不可能凭空冒出这么多原油和钢铁，其气体产业因此前苏联的工业分工体系：按照当时的产业分布，乌克兰拥有着以电子、化学、造船为代表的高技术工业，消化掉苏联内部的重工业产能。不论是钢铁还是油气生产，都会

3、产生以氧气和合成氨为代表的工业气体。粗加工的气体产品，也会经过乌克兰当地的“深加工”，生产出合成气体和稀有气体。前苏联生产的IN-16辉光管，内部就需要填充大量的氖气，这些辉光管的生产地，恰恰是乌克兰的Gazotron工厂。（代表着怀古风格的辉光管，实际是空分产业的结晶）除了氖气之外，乌克兰还提供了全球30%的氙气和40%的氪气。此前社交媒体流行的“立陶宛激光设备”，也需要这些稀有气体才能正常运行。乌克兰在气体行业中的关键身份，也就可见一斑。乌克兰统领全球的特种气体产业，不过是苏联工业大餐的一道配菜而已。苏联解体之后，虽然东欧局势风云变幻。但是俄乌两国的产业分工体系，却并没有被彻底推翻。因此乌

4、克兰特种气体的生产材料来源，依旧是俄罗斯的粗分气体产品。就算不考虑现在的“特别军事行动”，全球半导体产业的气体供应，也一直悬着俄乌冲突这把刀。2015年克里米亚事件期间，中国氖气市场价一下从年初750元/立方米，涨到7月中的25000元/立方米。百川盈孚数据显示，国内氖气（含量99.99%）价格已从去年10月份的400元/立方米上涨到目前超过1600元/立方米。面对可能到来的供应链冲击，半导体巨头纷纷选择避险。美光CEO桑杰梅赫罗特拉就在2月23日的采访中，颇为自信地表示：“美光有一小部分稀有气体来自乌克兰，但我们拥有多种供应来源，并拥有大量的库存。”全球光刻机巨头阿斯麦（ASML）也同时宣布

5、，公司已经开始寻求替代乌克兰的供应商。更是在氖气供应方面，尝试与乌克兰撇清关系：“ASML使用的氖气中只有不到20%来自于乌克兰。”半年之内，半导体不缺乌克兰这口气。02国内行业发展：40年的铺垫，2年的爆发比起乌克兰气体工业的悠久传统，我国的特种气体发展史要短暂得多。1983年，国务院成立电子计算机和大规模集成电路领导小组，并在5月召开全国计算机和大规模集成电路会议，制定LSI发展规划。随着北京氧气厂、光明化工分析设计院等院所机构的超纯气体研制项目逐步成型，我国电子气体成为了电子行业的重点攻关项目。与此同时，我国也在迅速开展气体标准化的相关分析。1987年，中方分析人员翻译了全套“国际半导体

6、设备与材料协会（SEMI）”标准，并在1992年以“SEMI中国标准化委员会”名义加入SEMI组织。有了这套标准，中国的半导体工业生产才能对接国际体系。有了研发和体系的铺垫，国内出现了广东华特、中昊光明、中船集团718分析所、大连科利德和金宏气体为代表的电子特种气体企业。在低端氨气，笑气等领域也实现了稳定投产。以氖气为代表的稀有气体产品，也随着我国钢铁产业的深化整合实现了自主化。卓创资讯工业气体分析师张卫就指出，“稀有气体方面，国内头部厂商包括武钢、首钢、宝钢、邯钢、衢州杭氧、攀钢梅塞尔等。”“气体圈子”总经理任路也表示，“氖气在半导体领域的用量并不是太大，而中国就拥有包括氖气在内的多种稀有气

7、体充足的生产能力。”然而由于我国半导体行业规模有限，大量求稳求快的厂家，更愿意选择产品质量稳定的国外产商。以美国空气化工，德国林德，大阳日酸和液化空气为代表的国外厂商，最终拿下了国内电子特气领域超过85%的市场。在2020年，这一局面再次被国家规划打破，由于新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策出台，电子特气成为国家产业投资的重点目标。高纯硅烷、高纯氨、砷烷实现了产业化生产，国产特种气体有了产业化的模样。仅派瑞特气一家，就在去年9月获得了国家集成电路产业投资基金，国企混改基金，国家军民融合产业投资基金等机构超过5.2亿元的战略融资。华特气体和凯美特气也在借助“通过ASML认证”等

8、方式，逐步进入半导体行业供应链中。2021年，中国稀有气体出口市场中，氖气出口量为6.5万立方米，其中有60%出口到了韩国。氪气出口量为2.5万立方米，37%出口至日本；氙气出口量为900立方米，30%出口至韩国。已经出海的国产电子特气，也无需考虑东欧引发的断“氖”之忧。03电子特气未来发展：战场在市场我国电子特气的战斗，不在供应，在市场。由于我国的电子气体行业长期依赖国外巨头，国内的电子气体行业争取客户，面临着以标准和技术的无形壁垒。在半导体行业，这一现象体现为漫长的审核流程。一家OLED面板厂商生产负责人表示，如果气体想要进厂需要先审厂，再看产品认证，并且要按照面板厂商合同需求调动产能。这

9、个流程走下来，一般需要三年左右。除非公司出现重大变动，一般不更换供应商。（图为OLED的生产车间）这位负责人还表示，面板产品往往是多规格生产，他们希望气体供应商能够灵活制备产品。整体而言，他们对其他的需求，是常年不断的细碎订单，需要气体提供方能够随叫随到。任路在调研期间也发现了这一点，“我们曾在去年采访华东某外资半导体大厂（8寸线），该公司使用的63种电子特气中，仅有4种由中国国内企业分装或者生产。”针对这种问题，国内企业的思路是依托产品，逐步攻克。2019年登陆科创板的华特气体，就成为了国内首家打破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、光刻气（Ar/F/Ne

10、混合气、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Kr/F/Ne 混合气）等产品进口制约的气体公司，并率先实现了近20个产品的进口替代。在规模化的产品覆盖下，华特气体已经覆盖了国内80%的8寸以上集成电路制造厂商，拿下了60%的国内光刻气份额。虽然华特尚未打入阿斯麦的供应链，但是公司已经进入英特尔、美光、德州仪器等半导体巨头的供应链体系。为华润微电子、京东方等客户直接供气，也为国内半导体产业解决了部分气体来源问题。凯美特气作为另一家争取“阿斯麦认证”的国内企业，则在2020年7月投产了岳阳电子特种稀有气体项目，根据凯美特气说法，公司目前已产出合格氯化氢基准分子激光混配气、氟基准分子激光混配气和动态激光混配气。2021年，公司签订电子特气合同金额达 1938 万元。目前公司已经通过激光器巨头相干公司认证，正在争取阿斯麦、大阳日酸、亘福的认证，从而进军半导体行业。获得过亿融资的宏芯气体，创始人白久曾任职于林德气体的电子业务，参加过中芯国际、联芯、长江存储等国内一流FAB厂和三星、京东方等头部面