光电检测光电探测器

1、光电检测光电探测器第1页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一光辐射探测器热电探测器光子探测器第2页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 热电探测器特点：响应波长无选择性，它对从可见光到远红外的各种波长的辐射同样敏感。响应慢，吸收辐射产生信号需要的时间长，一般在几毫秒以上。 光电探测器特点：响应波长有选择性，存在某一截止波长0，超过此波长，器件没有响应。 响应快，一般在纳秒到几百微秒。第3页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一1.响应度（或灵敏度) 光电探测器的输出电压或输出电流(或光电导)与入射光功率(或光照度)之比，它描述器件的光电

2、转换效能。第一节、基本特性参数一、响应方面的参数第4页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一光谱响应度 光电探测器的输出电压或输出电流与入射到探测器上的单色辐射通量之比，光谱响应度愈大，表示光电探测器愈灵敏。 第5页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一积分响应度 光电探测器输出的电流或电压与入射总光通量之比称为积分响应度。积分灵敏度表示探测器对连续辐射通量的反应程度。第6页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一2响应时间 当入射辐射到光电探测器后或入射辐射遮断后，光电探测器的输出上升到稳定值或下降到照射前的值所需时间称为响应时间。上升时间

3、和下降时间第7页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一3频率响应 光电探测器的响应随入射辐射的调制频率而变化的特性称为频率响应。第8页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一二、噪声方面的参数 从响应度的定义来看，好象只要有光辐射存在，不管它的功率如何小，都可探测出来。但事实并非如此。当入射功率很低时，输出只是些杂乱无章的变化信号，而无法肯定是否有辐射入射在探测器上。这并不是探测器不好引起的，而是它所固有的“噪声”引起的。如果对这些随时间而起伏的电压(流)按时间取平均值，则平均值等于零。但这些值的均方根不等于零，这个均方根电压(流)称为探测器的噪声电压(流)。

4、第9页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一热噪声： 也称约翰逊噪声， 载流子无规则的热运动造成的噪声。热噪声存在于任何电阻中。 热噪声与温度成正比。 热噪声与频率无关。热噪声是各种频率分量组成，就像白光是各种波长的光组成一样，所以热噪声也称为白噪声。1、器件的噪声第10页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一散粒噪声： 也称散弹噪声， 穿越势垒的载流子的随机涨落（统计起伏）所造成的噪声。在每个时间间隔内，穿过势垒区的载流子的数或从阴极到阳极的电子数都围绕一平均值上下起伏。散粒噪声也是白噪声。产生复合噪声： 载流子的产生率与复合率在某个时间间隔内也会在平均值

5、上下起伏，这种起伏导致载流子浓度的起伏，从而也产生均方噪声电流。它不是白噪声。 第11页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 1/f 噪声(闪烁噪声或低频噪声）： 由于光敏层的微粒不均匀或不必要的微量杂质的存在，当电流流过时在微粒间发生微火花放电而引起的微电爆脉冲称为1/f 噪声。 频率越低，这种噪声越大，所以也称为低频噪声，它是属于“红”噪声。第12页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一2、噪声参数：信噪比(SN) ： 信噪比是判定噪声大小通常使用的参数。它是在负载电阻RL上产生的信号功率与噪声功率之比，即若用分贝(dB)表示，则为第13页，共94页，

6、2022年，5月20日，17点40分，星期一 利用SN评价两种光电探测器性能时，必须在信号辐射功率相同的情况下才能比较。 但对单个光电探测器，其SN的大小与入射信号辐射功率及接收面积有关。如果入射辐射强，接收面积大，SN就大，但性能不一定就好。因此用SN评价器件有一定的局限性。第14页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一等效噪声输入(ENl) ： 它定义为器件在特定带宽内(1Hz)产生的均方根信号电流恰好等于均方根噪声电流值时的输入通量，此时，其他参数，如频率温度等应加以规定。这个参数是在确定光电探测器件的探测极限(以输入通量为瓦或流明表示)时使用。 噪声等效功率(NEP)

7、： 或称最小可探测功率Pmin。它定义为信号功率与噪声功率之比为1(即SN=1)时，入射到探测器上的辐射通量(单位为瓦)。即第15页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一探测率D ： 只用NEP无法比较两个不同来源的光探器的优劣。为此，引入两个新的性能参数探测率D和比探测率D*。探测率D定义为NEP（噪声等效功率）的倒数，即 显然，D愈大，光电探测器的性能就愈好。探测率D所提供的信息与NEP一样，也是一项特征参数。不过它所描述的特性是：光电探测器在它的噪声电平之上产生一个可观测的电信号的本领，即光电探测器能响应的入射光功率越小，则其探测率越高。第16页，共94页，2022年，

8、5月20日，17点40分，星期一归一化探测率D* ： 为了在不同带宽内对测得的不同的光敏面积的光电探测器件进行比较，使用了归一化探测率（比探测率）D*。暗电流Id ： 即光电探测器在没有输入信号和背景辐射时所流过的电流(加电源时)。一般测量其直流值或平均值。 第17页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一1、量子效率() ： 在某一特定波长上每秒钟内产生的光电子数与入射光量子数之比。 一般()反映的是入射辐射与最初的光敏面的相互作用。若()1（理论上），则入射一个光量子就能发射一个电子或产生一对电子孔穴对。实际上()410nm的可见光来说，很难产生光电发射，量子效率低；金属材

9、料是否满足良好的光电发射材料的条件？第31页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一半导体材料是否满足良好的光电发射材料的条件？光吸收系数比金属大；体内自由电子少，散射能量变小故量子效率比金属大；光发射波长延伸至可见光、近红外波段。 70年代后期，发展了负电子亲和势（NEA）光电阴极，长波可至1.6m。第32页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 (1)使光电阴极发射的光电子尽可能全部会聚到第一倍增极上，而将其他部分的杂散电子散射掉，提高信噪比； (2)使阴极面上各处发射的光电子在电子光学系统中有尽可能相等的渡越时间，以保证光电倍增管的快速响应。光电阴极聚焦

10、极3电子光学系统第33页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 倍增系统是由许多倍增极组成的综合体，每个倍增极都是由二次电子倍增材料构成，具有使一次电子倍增的能力。因此倍增系统是决定整管灵敏度最关键的部分。4二次发射倍增系统第34页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 阳极是采用金属网作的栅网状结构，把它置于靠近最末一级倍增极附近，用来收集最末一级倍增极发射出来的电子。光入射窗口光电阴极电子光学输入系统二次发射电子倍增器阳极5阳极第35页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一1、光子透过入射窗入射到光电阴极K上。2、光电阴极的电子受光子激

11、发，离开表面发射到真空中。3、光电子通过电场加速和电子光学系统聚焦入射到第一倍增极D1上，倍增极发射出比入射电子数目更多的二次电子。入射电子经N级倍增后，光电子就放大N次。4、经过倍增后的二次电子由阳极a收集起来，形成阳极光电流，在负载RL上产生信号电压。第36页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一、基本特性参数1光谱响应度 PMT的光谱响应曲线与光电阴极的相同，主要取决于光电阴极材料的性质。第37页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一2放大倍数(电流增益) 在一定工作电压下，光电倍增管的阳极电流与阴极电流之比称为管子的放大倍数M或电流增益G。3.暗电流

12、 它限制了可测直流光通量的最小值，同时也是产生噪声的重要因素，是鉴别管子质量的重要参量。应选取暗电流较小的管子。第38页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一4.伏安特性 光电倍增管的伏安特性曲线分为阴极伏安特性曲线与阳极伏安特性曲线。在电路设计时，一般使用阳极伏安特性曲线来进行负载电阻、输出电流、输出电压的计算。第39页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一5. 频率响应 由于PMT是光电发射型器件，而光电发射的延迟时间31013S，所以PMT有很高的频率响应。6.噪声 主要来源是光电阴极、光电发射的随机性和各倍增极二次电子发射的随机性，同时也与背景光或信

13、号光中的直流分量有关。第40页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一、PMT的供电电路 倍增管各电极要求直流供电，从阴极开始至各级的电压要依次升高，一般多采用电阻链分压办法来供电。一般情况下，各级间电压均相等，约80V100V，总电压约1KV1.3KV。第41页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 对电源电压稳定性要求较高。如果电源电压不稳，会引起许多参量的变化，特别是电流增益变化，从而直接影响输出特性。目前已有光电倍增管专用的电源稳压块。1)电源电压稳定性的要求 电源电压的变化和放大倍数变化的关系为：第42页，共94页，2022年，5月20日，17点40

14、分，星期一 因倍增管中的电流与电阻链中的电流是并联关系，要保证各级电压稳定，要求流过电阻链的电流IR至少要比阳极电流Ia大20倍以上。 一般说，IR越大，对稳定极间电压UD越有利。但IR也不能太大，因为IR太大会增大电阻的功耗，加重电源负担。当UD给定后，分压电阻R的最大值应取决于阳极的最大平均电流，R最小值应取决于高压电源输出的功率。一般常用分压器的阻值选择范围为20K 500K2)电阻链分压电阻的确定第43页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 倍增管的输出电流主要是来自于最后几级，探测脉冲光时，为了不使阳极脉动电流引起极间电压发生大的变化，常在最后几级的分压电阻上并联

15、电容器。3)并联电容的确定第44页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 倍增管供电电路与其后续信号处理电路必须要有一个共用的参考电位，即接地点。倍增管的接地方式有两种，即阴极接地或阳极接地。4)接地方式阴极接地阳极接地第45页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 优点：便于屏蔽，光、磁、电的屏蔽罩可以跟阴极靠得近些，屏蔽效果好；暗电流小，噪声低。 缺点：但这时阳极要处于正高压，会导致寄生电容大，匹配电缆连接复杂，特别是后面若接直流放大器，整个放大器都处于高电压，不利于安全操作；如果后面接交流放大器，则必须接一个耐压很高的隔直电容器，而一般耐压很高的电容器

16、体积大而且价格高。 阴极接地的特点 第46页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一优点：便于跟后面的放大器相接，操作安全，后面不仅可以通过一个低压耦合电容与交流放大器相接，也可以直接与直流放大器相接。缺点：但这时阴极要处于负高压，屏蔽罩不能跟阴极靠得很近，至少要间隔1cm2cm，因此屏蔽效果差一些，暗电流和噪声都比阴极接地时大，而且整个倍增管装置的体积也要大些。阳极接地的特点第47页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 使用前应了解器件的特性。真空光电器件的共同特点是灵敏度高、惰性小、供电电压高、采用玻璃外壳、抗震性差。 使用时不宜用强光照。光照过强时，光

17、电线性会变差而且容易使光电阴极疲劳（轻度疲劳经一段时间可恢复，重度疲劳不能恢复），缩短寿命。 工作电流不宜过大。工作电流大时会烧毁阴极面，或使倍增级二次电子发射系数下降，增益降低，光电线性变差，缩短寿命。 用来测量交变光时，负载电阻不宜很大，因为负载电阻和管子的等效电容一起构成电路的时间常数，若负载电阻较大，时间常数就变大，频带将变窄。6）使用注意事项第48页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一一、简答题1、光电倍增管的基本结构与工作原理是什么？二、文献检索 什么是负电子亲和势（NEA）光电阴极？原理？第49页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一三、选择

18、题1、关于PMT，错误的是（ ）A、使用时不宜用强光照 B、抗震性好 C、工作电流不宜过大 D、选大负载电阻来扩展频带2、关于良好的光电发射材料，错误的是（）A、光吸收系数要小 B、溢出深度要小C、材料的溢出功要小 D、有一定的电导率 第50页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一三、计算题 现有GDB-423光电倍增管的阴极有效面积为2cm2 ，阴极灵敏度为25A/lm，倍增系统的放大倍数105，阳极额定电流为20A，求允许的最大照度。 第51页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一一、光敏电阻第三节、半导体光电检测器件第52页，共94页，2022年，5月

19、20日，17点40分，星期一 本征型半导体光敏电阻、掺杂型半导体光敏电阻第53页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 当入射光子使电子由价带越升到导带时，导带中的电子和价带中的空穴均参与导电，因此电阻显著减小，电导增加。若连接电源和负载电阻，即可输出电信号。第54页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 优点：灵敏度高，工作电流大（达数毫安） ，光谱响应范围宽，所测光强范围宽，无极性之分。 缺点：响应时间长，频率特性差，强光线性差，受温度影响大。 主要用于红外的弱光探测与开关控制。 第55页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一第56页，

20、共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一路灯自动点熄原理图如图所示，分析它的工作原理。第57页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 它是利用光生伏特效应制成的将光能转换成电能的器件。它是一种不需加偏压就能把光能直接转换成电能P-N结光电器件。 按用途可分成太阳能光电池和光电检测光电池。二、光电池第58页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 在P（N）型硅作基底，然后在基底上扩散N（P）型半导体作为受光面。构成P-N结后，再经过各种工艺处理，分别在基底和光敏面上制作输出电极，涂上二氧化硅作保护膜，即成光电池。第59页，共94页，2022年，5

21、月20日，17点40分，星期一 当光照到PN结表面时，如果光子能量足够大，就将在PN结附近激发电子空穴对，在PN结内电场作用下，N区的光生空穴拉向P区，P区的光生电子拉向N区，结果在N区聚集了电子，P区聚集了空穴，这样在N区和P区之间产生了电势差。第60页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 光电检测光电池具有光敏面积大，频率响应高，光电流随照度线性变化。 太阳能光电池耐辐射，转换效率高，成本低，体积小，结构简单、重量轻、可靠性高、寿命长，在空间能直接利用太阳能转换成电能的特点。第61页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一符号 连接电路 等效电路第62页

22、，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一三、光敏二极管第63页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一共同点：一个PN结，单向导电性不同点： 受光面大，PN结面积更大，PN结深度较浅； 表面有防反射的SiO2保护层； 外加负偏压；与普通二极管相比:第64页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一共同点：均为一个PN结，利用光生伏特效应，SiO2保护膜；不同点： 结面积比光电池的小，频率特性好； 光生电势与光电池相同，但电流比光电池小； 可在零偏压下工作，更常在反偏压下工作；与光电池相比：第65页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星

23、期一无光照时，只有热效应引起的暗电流流过PN结；光照时，产生附加的光生载流子，使流过PN结的电流骤增；反向电压增加了耗尽层的宽度和结电场，使更多的光生载流子流过PN结。第66页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一a) 不加外电源 b) 加反向外电源 c) 2DU环极接法环极接法的作用：克制由于SiO2保护膜中的杂质正离子静电感应。消除表面漏电流，减少暗电流和噪声。第67页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一光谱响应第68页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一光照特性随着入射光功率的变强，则同一反向电压下的光电流也变大。入射光功率不变时

24、，反向电压加到某一电压后，光电流几乎不随反向电压的变化而变化。第69页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一频率响应光生载流子在薄层中的扩散时间及PN结中的漂移时间（载流子的渡越时间）；结电容和杂散电容（ RC时间常数）； 它是半导体光电器件中频率响应最好的器件之一，频率响应与下列因素有关：第70页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一无论是光生载流子向结区扩散，还是结电场中载流子的漂移，它们都有一定的驰豫时间，这个驰豫时间影响光敏器件的频率响应。对于扩散型二极管主要驰豫时间为光生载流子向结区扩散时间。对于耗尽层型二极管主要驰豫时间为光生少子在结区的漂移时间

25、。 对于不同波长的光，器件也有不同的频率响应。波长越长的光在较深处被吸收，产生的少数载流子远离PN结，需较长的扩散时间。而较短波长的光在靠近表面处被吸收，产生的少数载流子离PN结很近，扩散时间短。所以耗尽层型优于扩散型光敏二极管。载流子的渡越时间第71页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一温度特性由于反向饱和电流对温度的强烈依赖性，光敏二极管的暗电流对温度的变化非常敏感。第72页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一按材料 硅光敏二极管、 锗光敏二极管、化合物光敏二极管；按结特性： PN结（扩散层、耗尽层）、PIN结 、异质结、肖特基势 垒型及点接触型；按

26、对光的响应： 紫外、可见光、红外第73页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一PIN管 它的结构特点是，在P型半导体和N型半导体之间夹着一层（相对）很厚的本征半导体。这样，PN结的内电场就基本上全集中于I层中，从而使PN结双电层的间距加宽，结电容变小。几种特殊的光敏二极管第74页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 这种管子最大的特点是频带宽，可达10GHz。 另一个特点是，线性输出范围宽。 所不足的是，I层电阻很大，管子的输出电流小，一般多为零点几微安至数微安。目前有将PIN管与前置运算放大器集成在同一硅片上并封装于一个管壳内的商品出售。第75页，共94

27、页，2022年，5月20日，17点40分，星期一雪崩光电二极管 雪崩光电二极管是利用PN结在高反向电压下产生的雪崩效应来工作的一种二极管。第76页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 特点：工作电压很高，约100V200V，接近于反向击穿电压。 有很高的内增益，可达到几百。 响应速度特别快，带宽可达100GHz，是目前响应速度最快的一种光电二极管。 缺点：噪声大。第77页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一四、光敏三极管第78页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一第79页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一 特点：

28、光电晶体管的灵敏度比光电二极管高，输出电流也比光电二极管大，多为毫安级。 缺点：它的光电特性不如光电二极管好，在较强的光照下，光电流与照度不成线性关系。所以光敏三极管多用来作光电开关元件或光电逻辑元件。第80页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一五、阵列式或象限式结型光电器件 利用集成电路技术使两个至几百个光电二极管或光电池排成一行，集成在一块集成电路片子上，即成为阵列式的一维光电器件，也可以使光电二极管或光电池制成象限式的二维光电器件。 这两种器件中，衬底是共用的，而各光敏元都是独立的，分别有各自的前极引出线。第81页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期

29、一 就目前的应用看，两个并列的光电二极管或光电池，可用来辨别光点移动的方向。 24个并列的光敏元，可用来收集光点移动的相位信息。 几十个至几百个或更多并列的光敏元，可用来摄取光学图象或用作空间频谱分析。 象限式光电器件可用来确定光点在二维平面上的位置坐标。多用于准直、定位、跟踪或频谱分析等方面。 这种器件的特点是，光敏元件密集度大，总尺寸小，容易作到各单元多数一致，便于信号处理。第82页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一六、光电位置探测器（PSD） PSD是利用离子注入技术制成的一种可确定光的能量中心位置的结型光电器件，有一维的和二维的两种。 当入射光是一个小光斑，照射到

30、光敏面时，其输出则与光的能量中心位置有关。这种器件和象限光电器件比较，其特点是，它对光斑的形状无严格要求，光敏面上无象限分隔线，对光斑位置可连续测量。第83页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一一、接受光信号的方式光信号的有无：被测对象造成投射到光电器件上的光信号截断或通过。如光电开关、光电报警等。这时光电器件不考虑线性，而要考虑灵敏度。第四节、各种光电检测器件的性能比较和应用选择第84页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一光信号的色度差异：当被测对象本身光辐射的色温存在差异或表面颜色变化时，必须选择合适的光谱特性的光电器件。光信号的幅度大小：当被测对象

31、因对光的反射率、透过率或是被测对象本身光辐射的强度变化，此时光信号幅度大小亦改变。为准确测出幅度大小的变化，必须选用线性好、响应快的器件，如PMT或光电二极管。光信号按一定频率交替变化：这种光信号的输入是有一定频率的，必须使所选器件的上限截止频率大于输入信号的频率才能测出输入信号的变化。第85页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一二、各种光电器件的性能比较 波长响应范围（nm）输出电流光电特性直线性动态特性受光面积稳定性外形尺寸价格短波峰值长波频率响应上升时间光电管紫外红外小好好0.1s大良大高光电倍增管紫外红外小最好最好0.1s大良大最高光敏电阻CdS400640900大

32、差差0.21ms大一般中低光敏电阻CdSe3007501220大差差0.210ms大一般中低光电池Si4008001200最大好良0.5100s最大最好中中光电池Se350550700中好差1ms最大一般中中光电二极管4007501000最小好最好2s以下小最好最小低光电三极管同上小较好良2100s小良小低第86页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一在动态特性（即频率响应与时间响应）方面，以光电倍增管和光电二极管（尤其是PIN管与APD管）为最好；在光电特性（即线性）方面，以光电倍增管、光电二极管和光电池为最好；在灵敏度方面，以光电倍增管、雪崩光电二极管、光敏电阻和光电三极管为最好。第87页，共94页，2022年，5月20日，17点40分，星期一灵敏度高不一定就是输出电流大，而输出电流大的器件有大面积光电池、光敏电阻、雪崩光电二极管和光电三极管；外加偏置电压最低的是光电二极管、光电三极管，光电池不需外加偏置；在暗电流方面，光电倍增管和光