OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明

1、OPTORUN离子源的维护保养说明1.离子源的维护和Grid的分解和组装方法长时间运转後，石英杯内会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的洗净液）等除去膜层。石英杯的清扫周期通常是50100小时。（根据使用状况更改维护的周期）。注意：请注意石英杯很容易损坏。在对石英杯进行打砂时，请使用粒度#100的Al粒子,并保持0厂0.2MPa的低压力，离石英杯30cm以上进行打砂作业。1.1绝缘子的清洁长时间使用后，GridAssy部分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会引起Grid的短路，不能正常发挥作用。并会出现ACC电流值过大或Beam电

2、流上不去的现象，此时需清洁或交换绝缘子。由于绝缘子的清洁难度很大，建议您交换新品。注意：确认各Grid间，2000Vdc时须20MQ以上。维护和交换时期各Grid间绝缘子的状态呈恶化趋势时，用打砂纸清洁其外表部。Grid维护周期为每50100小时确认其外观?绝缘，如有异常请及时清扫或交换。如厚度有磨损，其磨损厚度为-0.02mm时，请交换新品。（例如：t=1.0mm的绝缘子当变为t=0.98mm时，请交换新品。）注意：请注意绝缘子很容易碎裂。12Grid的清洁长时间使用后，各Grid的被镀上一层的导电性膜，特别是DecelGrid莫层很容易被剥离，请在不对着Grid的情况下用吸尘器除去的剥落的

3、膜。ACCGrid和SCRGrid请用测试仪点检，表面被绝缘时请及时清洗。注意：Grid的分解和组装方法请参考添附资料。1）浓度25%的洗净液（BR-55）里浸泡510小时。（作为代替品25%的NaOH水溶液也可使用，但是洗净效果略差。）或者使用超声波洗净机，能得到同样的洗净效果。注意：BR-55和NaOH为危险物品，使用时请小心。用超声波洗净机时请注意Grid由于振动所引起的破损。2）边用热水清洗边用清洁布擦洗Grid表面，约洗10分钟以上，NaOH和赃物等将被洗净。3）用干燥机干燥。4）利用Grid固定夹具（参考照片1,2）,并使用#300的砂纸摩擦Grid表面直到表面的赃物和变色消失为止

4、。注意：不要使Grid变形。照片1Grid固定夹具凸侧)照片2Grid固定夹具(凹侧)再用热水清洗并用清洁布擦洗Grid表面，约洗20分钟以上，洗净附着的NaOH和赃物等。用AirGun吹散Grid上的水分。注意：使用AirGun时注意使用不含油的清洁空气。压力在0.05-O.IMpa之间以防Grid变形。用干燥机干燥后，维护清洗结束。注意：作业中须谨慎，以防止Grid的变形和破损。本清洗仅对酸化膜(SiO2Ta2O5)有效，因使用状态不同，也会出现洗不净的场合。2中和器的维护方法放电室(陶瓷放电室、陶瓷盘)的清扫长时间运转后，放电室内会被镀上导电性膜，因此会引起放射电流下降需较高RF输出,此

5、时用打砂的方式去除膜层。但要注意不要损伤陶瓷放电室和陶瓷盘的接触面，以免漏气。打砂时请注意用胶带等进行保护。注意：有关分解，组装请参考添附资料。请注意不要破坏放电室上绕着的线圈的形状，转动放电室然后再取下。RFN收集器(Collector)的清扫长时间运转后，collector表面被氧化或形成其它绝缘膜，因此会引起发射电流下降,并且启动困难，此时用打砂的方式去除膜层。注意：不要使收集器(Collector)变形。组装时要尽量减少陶瓷放电室和collector之间的缝隙。Keeper和中和器主体的清扫长时间运转后，keeper表面形成绝缘膜，因此会使动作不安定。请使用测试仪确认附资料1离子源Gr

6、id的分解和组装方法请参照添附图纸进行作业。分解1拆卜GridMountAssy.GridMountAssy.作业内容汪意点从离子源主体上拆下GridMountAssy.分解2拆卜QuartzChamberQuartzChamberrMountRing作业内容、i汪意点先拆下八角螺钉，然后拆下石英杯QuartzChamber请注意石英杯很容易碎和MountRing裂裂O分解3拆卜GridAssy.1GridRetainerPlate六角螺钉（M4L6）作业内容、I汪意点拆下六角螺钉後,再拆下GridAssy和GridRetainerPlate.分解5Grid的分解六角螺母(M4)六角螺母(M3

7、)和六角螺钉(M35)、I注意点分解6Grid的说明拧松GridAssy的六角螺母后，分解Grid拆下ACCGrid请注意Grid很容易变形。的ACCConnector。GRID校正孔校正孔GridNo.只有1个地方方向不同1个所族SOOO:ScreenGridAOOO:AccGridDOOO：DecelGrid（OOO为制造番号）向吉力违作业内容、-|注意点Grid如上所示注有标记。组装时请注意。组装1Grid的组装1nsulator2作业内容、-|汪意点将Grid组装夹具水平放置，装上八角螺钉和Insulator2组装2Grid的组装2ShieldinsulatorGridlnsulato

8、rl(t=1.0)作业内容、-、1、丿1注意点Shieldinsula和iGridInsulatoTf图放置。请注意Gridinsulat的厚度有两种（t=1.Q1.2。组装5Grid的组装5八角螺钉（M3L5）和八角螺母（M3）AccConnectorAccGrid（根据组装夹具的孔决定方向）作业内容、-、1、丿1注意点将AccGrid如图安装，注意对准孔的位置。（根据组装夹具的孔决定AccConnector的方向，然后再安装。组装夹具的孔和AccConnecto孔要对准。组装6Grid的组装6ShieldinsulatorGridinsulator2（t二1.2）作业内容、I汪意点将Shi

9、eldinsula和iGridinsulatc如（2图放置。注意Gridinsulat的厚度有2种（t=1.0,1）2组装7Grid的组装7SI作业内容如对准孔ScreenGrid对准孔creenConnector、I注意点Grid的组装8组装8六角螺母(M4)平型垫圈(4)和波形insulatori作业内容、-、1、丿1汪意点Insulatori平型垫圈（4）和波形垫圈（4）如图放置、暂时用八角螺母固疋。组装9Grid的组装9对准钉作业内容、-、1、丿1汪意点将对准钉插入Grid的对准孔。若对准钉不能向下插对准钉穿过后，旋转对准入，说明Grid安装错误，请再度确认。钉，确认各对准钉并不是强行

10、才能旋转。组装10Grid的组装10S:3LAJ2丨丨7作业内容、-、1、丿1汪意点如图所示拧上八角螺母，完成之后拔去对准钉拆下组装夹具。确认各Grid之间的ShieldinsulatorGridinsulat没r有重叠。组装11GridRetainerPl的安装GRfASSY八角螺钉（M4L6）ScreenConnector平型垫圈（4）GridRetainerPlate作业内容、YL1汪意点如图所示将ScreenConnect和GridAssy.,GridRetainerp组合e组装12GridMountPlat的安装如图所示将AccConnecto和DecelConnectc组合後，将G

11、ridAssy装在GridMountPlat上，然后装上AccTouchFlake和绝缘子。确认波型垫圈(12)是否装上。组装13QuartzChamber的组装Quart:Chamber，MountRing作业内容、-i汪意点组装QuartzChamber和MountRing组装14导通?绝缘测试DecelGridAccGrid绝缘AccGrichScreenGri绝缘AccTouchFlakeAccGrid导通作业内容、一1汪意点组装完成后，使用测试仪进行导通?绝缘测试。上记测试，如有异常时，请再次确认。添附资料2中和器分解?组装方法请参照添附图纸进行分解?组装作业。分解1Keeper的分

12、解KeeperNut(2pcs)Keeper作业内容、-、V1I汪意点拆卜KeeperNut和Keeper分解2拆卜Shroud八角螺钉（M3L5）、平型垫圈各4个作业内容、-、1、丿1汪意点先拆下八角螺钉（M35）,然后再分解MountFlange和InsulatorPlate分解3InsulatorPl的分解和清洗八角螺钉（M384个）作业内容、-、1、丿1汪意点先拆下八角螺钉，然后再分解MountFlange和InsulatorPl很容易碎裂。InsulatorPlate如InsulatorPiat有赃物，请用打砂纸去除。分解4Collectc的分解和清洁螺母(M4)Collector作

13、业内容、-、1、丿1汪意点拆下八角螺母後，分解Collector如Collectd附有赃Collecto很容易变形。物，请用打砂纸去除。分解5DischargeChambe分解和清洗DischargeChamber作业内容、-、V1I汪意点如DischargeChambe附有赃物，请用打砂纸去除。DischargeChambe很容易碎裂。组装1确认内部端子KeeperRFGNDRFCollector作业内容、-、1、丿1汪意点确认内部的端子部(Keeper,RFGND,RF,Collect)r各螺钉，各螺母是否有松弛。组装2Collector,DischargeChan的安装Collector

14、DischargeChamber（螺母（M4）作业内容、-、1、丿1汪意点用螺母（M4）固定Collector,DischargeChamberCoil容易变形。组装3InsulatorPl的组装MountFlangeinsulatorPlate注意平整度作业内容、-、1、丿1注意点用八角螺钉(M3L8)组装MountFlange和InsulatorPl容易碎裂，注InsulatorPlate意不要用力过度或拧得太*InsulatorPl无胃U后之分，可任意选择安装方向。紧。组装4Shroud的安装Shroud八角螺钉（M3L5）、平型垫圈各4个作业内容、一1汪意点安装Shroud组装5Kee

15、perPlat的安装KeeperNutKeeper作业内容、YL1汪意点安装KeeperPlate组装6导通和绝缘测试KeeperLeadRFLead1RKKFLea1eeperLeadoilecctoTLe绝缘eeper-中和器主体：绝纟缘Aj/c(JUeeperidKee11h)llectorLeaRFLead:绝缘perPlate导通RFLead-中和器主体：导通CollectorLead作业内容、一1汪意点组装完成后，使用测试仪做导通和绝缘测试。测试中如有异常，请再度确认。添附资料3故障处理No.项目原因处理方法1即使Source安钮，也不能启动。被设定成Interlock；确认真空度

16、的InterlockCab的连接情况。2Source安钮On之后，RFNPower不能切换成0W。RF电源AX-300皿的表示呈Analog或Manual，（若显示RS232应属正常）。重新打开控制器的电源。3Source按钮On之后，RFNPower不能从0W上升到100W。即持续为0W）RF电源AX-300皿的Alarm点灯。安Reset按钮後解除Alarm4中和器不能启动。中和器的罩子没有拆下。拆下中和器的罩子。GasLine没有被打开。打开GasLine气体流量低（不满5SCCM）。；提高气体流量（大约78SCCM）。反射大。调整射频电源（MatchingBox）确认RFCoil是否短

17、路。Keeper被弄脏。青洗KeeperCollecto被弄脏。青洗CollectorLead线的导通?绝缘不良。用测试仪确认导通?絶縁。电源的保险丝被切断。更换保险丝。5控制器上有中和器正启动着，实际上其并没有放电。Collecto短路。，用测试仪确认後，分解修理。6RFPower的反射大，无法匹配。离子源罩子没有取下。取下离子源罩子。射频电源（MatchingBoX的电源OFF。打开射频电源（MatchingBoX的电源。RFCoil和GND之间短路。用测试仪确认後，修理。RFFeedthroughGND之间短路。，用测试仪确认後，修理。No.项目原因处理方法7离子源不能启动。GasLin

18、e没有打开。打开GasLineGas流量低（O2：40SCCM未満）（Ar：20SCCM未満）增大Gas流量（02：50_60SCCM左右）（Ar：2530SCCM左右）Puls殳定电压过低（500V程度）增大Pulse殳定电压（1000V左右）AccGrid和ScreenGri之间短路。用测试仪确认并修理。QuartzChamber污染。清洗QuartzChamber中和器的Emissioi和Power过低。调整设定Emission800mA、Power：50W右电源的保险丝断了。更换保险丝。8即使按了Beam按钮，指示灯也不亮。离子源没有进入准备状态。等进入准备状态後再按按钮。9Beam按钮On後,Acc电流值显示0mA。Acc的电极部份无接触。用测试仪确认并修理。10BeamOn後，Beam仍停止（显示E010）。Grid污染。清洗GridQuartzChamber污染。清洗QuartzCh