EVO18技术说明演示教学

1、Good is good, but better carries it.精益求精，善益求善。EVO18技术说明-钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号：EVO182009年6月3日目录附件一、品牌介绍附件二、设备用途附件三、技术指标附件四、供货范围及报价附件五、计划进度及培训附件六、环境要求附件七、质保及其它服务附件一：聚焦CARLZEISS世界可见光及电子光学的领导企业-德国蔡司公司始创于1846年。其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：第一台静电式透射电镜(1949

2、)第一台商业化扫描电镜(1965)第一台数字化扫描电镜(1985)第一台场发射扫描电镜(1990)第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)第一台具有Koehler照明的200kV场发射透射电镜(2003)第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARLZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIBandSEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。其产品的高

3、性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。作为全球电镜标准缔造者的CARLZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。CarlZeissSMT下属的纳米技术系统部在北京，上海，广州，鞍山设有营销公司和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。附件二：设备主要用途扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背反射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。扫描电镜（SEM）广泛地应用于金属材料（

4、钢铁、冶金、有色、机械加工）和非金属材料（化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维）等检验和研究。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。选配附件：能谱仪：即X射线能量色散谱仪,简称EDS主要是用来分析材料表面微区的化学成分,分析方式有定点定性分析、定点定量分析、元素的线分布、元素的面分布。波谱仪：(即X射线波长色散谱仪,简称WDS)，用

5、作微区成分分析。分析精度方面比能谱仪精度更高，可以做成分的定量分析。EBSD(电子背散射衍射仪)：EBSD主要可做单晶体的物相分析,同时提供花样质量、置信度指数、彩色晶粒图,可做单晶体的空间位向测定、两颗单晶体之间夹角的测定、可做特选取向图、共格晶界图、特殊晶界图,同时提供不同晶界类型的绝对数量和相对比例,即多晶粒夹角的统计分析、晶粒取向的统计分析以及它们的彩色图和直方统计图,还可做晶粒尺寸分布图,将多颗单晶的空间取向投影到极图或反极图上可做二维织构分析,也可做三维织构即ODF分析。离子溅射仪：样品镀覆导电膜（金膜），喷碳，使绝缘材料能够导电，是配合扫描电子显微镜制样必备的仪器。附件三：技术指

6、标EVO18是一台高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高真空成像功能，可对各种材料表面作分析。并且具有业界领先的X射线分析条件，样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。主要参数：1.光学系统1.1、光源：钨灯丝。预对中式灯丝，灯丝具有自动加热、自动对中功能。1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。1.3、光阑：三级可调物镜光阑。*1.4、加速电压：200V30kV，10V步进连续可调。1.5、图像电平移：50m。*1.6、放大倍数：51000,000，连续可调。*1.7、分辨率：高真空二次电子

7、像=3.0nm（30kV）；低真空背散射电子像=4.0nm（30kV）。*1.8、探针电流范围：0.5pA5A，连续可调。1.9、聚焦工作距离：2mm145mm。2.0、电子束气体路径长度：2mm。2、真空系统*2.1、真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水。2.2、真空度：最高真空度：优于0.1mPa；低真空压力范围：10Pa400Pa。2.3、在低真空条件下，保持8.5的工作距离，并且可以做能谱分析。3、样品系统*3.1、样品室内部尺寸：365mm()275mm（h）。*3.2可放置的最大样品尺寸：直径250mm，高度145mm3.3、最大允许样品重量：不小于5kg。*3.4、样品台

8、移动方式：五轴马达驱动。*3.5、样品台移动范围：X125mm,Y125mm,Z50mm,0+90倾斜，360旋转。3.6、样品台移动精度：重复性2m；最小步长100nm；漂移3,000,000cps6.6、最在输出计数：1,100,000cps注：如配热台样品台XY轴移动范围必须大于100MM附件四、供货范围及报价ItemSaleCodeDescription1EVO-18-BUBasicUnitEVO18.Tungstenemissionsystem,airadmittanceto400Pa,5-axismotorisedstagewithsoftwarejoystick,SE-detec

9、tor,andmultilingualWinXPProEVO18主机。钨灯丝发射系统，低真空工作可达400Pa，带有软件操纵杆的5轴马达驱动计算机居中样品台，二次电子探测器，WinXPPro操作系统。219TFT19colourflatpaneldisplaymonitor19寸彩色液晶显示器3JOYSTICKStyledDualJoystickController双轴遥感操作器4CONTROLPANEL-UKControlpanelwithrotarycontrolsandkeyboard.UKEnglish旋钮操作控制面板5CHAMBERSCOPEChamberscopewithIRill

10、uminationdisplayedtofullscreen(stagedoormounted)具有红外照明、全屏幕显示的样品室观察系统（CCD)6CENTRECentrePointandCentreFeature.Tobringapoint,orarea,tothecentreofthefieldofview.中心点和中心特征功能。7EVO-FISHEYEOptiBeammodeforverylowmagnificationimagingduringnavigation.鱼眼模式用于低倍率观察8LM-4QBSDLM4QBSD-1kV16mmdiode.背散射电子探测器9EXTIFExtern

11、alscaninputandvideooutputcable.IncludesRemoteControlusingRS232(REMCON)能谱接口10EDX牛津XMAX-20电制冷能谱仪11MPSHMultipurposesampleholder多用途样品托12EVO-SPECIMEN-PREPSpecimenpreparationkit(IncludingUPS)样品准备工具。13Parts其他附件耗材灯丝3盒(10支)碳导电胶5卷,机械油2瓶,真空脂一支.总计：26万美金附件五、计划进度及培训Attachment5:Plan&Training交货期为收到L/C后四个月.Systemdel

12、ivery:4monthsafterreceiptofL/C供方与需方配合进行：设备到达需方地址后，供方在接到需方安装通知十四日内派工程师到达现场进行安装调试。Aftersystemarrives,sellerwillstartinstallationwithin14daysuponarrivalnotification.安装调试完毕后，马上对用户人员进行培训。Aftercompletionofinstallation,on-sitetrainingwillcommence.培训内容：-电镜及附件的操作MicroscopeBasicOperation-电镜及附件的日常维护Microscoped

13、ailymaintenance-样品观测、分析、获取图象SampleAnalysisandimagetaking培训时间3-5天或可针对用户情况延长时间。Standardtrainingtakesminimumoneweekandcanbeextendedifnecessary.附件六、环境要求Power100-240V50/60HzSinglePhase电源100-240V50/60Hz单相Consumption2kVA3kVA(dependentonaccessoriesfitted)功耗2kVA3kVA（取决于安装的附件）Theincomingsingle-phasesupplyshou

14、ldpreferablybeaspurthatfeedstheSEM.A13AmppowersocketwillberequiredfortheSEM,plusonefortherotarypump(twoifthesystemisanEPwithtworotarypumps).Powersocketsforaccessoriesshouldbeconnectedtothesamephase.Itshouldnotsupplyneighboringequipmentlikelytogenerateanabnormalamountofline-borneinterference.Asafetyg

15、roundoflessthan0.25toearthisrequired.A5-meterlongearthcableissuppliedwiththeEVOandshouldbeconnectedtoaseparateM8earthstud.进来的单相电源最好是供给SEM的支线。对于SEM需要一个13安培的电源插座，另加一个用于旋转泵的插座（如果系统是带有两个旋转泵的EP，则另加两个插座）。用于附件的电源插座应连接到同一相上。它应不供给附近可能产生异常干扰的仪器。需要一个小于0.25接地电阻的保护接地。一根5米长的接地线与EVO一起提供，并将连接到独立的M8地线螺栓上。AmbientTemp

16、erature环境温度20-30C.Itisrecommendedthatforoperatorcomforttheroomtemperatureismaintainedbetween22and24DegC.20-30C。为了操作者的舒适，建议室温保持在22C和24C之间RelativeHumidity相对湿度Lessthan65%小于65%CompressedNitrogen压缩氮气Drynitrogenishighlyrecommendedforchamberandpumpventilationduringspecimenexchanges.Theminimumpressureshould

17、notbelessthan0.2bar;otherwise,ventilationtimeforthechamberwouldbetoolong.Themaximumpressuremustbelimitedto0.3bar.Withthechamberopenednitrogenconsumptionisapproximately3l/min.at0.2baraboveambientpressure.Thepurityofthenitrogenshouldbeabout99.996%.Thepipesuppliedis4mminternaldiameterand6mmexternaldiam

18、eter.强烈建议，在样品更换期间用干燥的氮气对样品室与真空泵进气。最低压力应不小于0.2bar；不然，对样品室进气时间将太长。最大压力必须限制在0.3bar。在高于周围压力0.2bar时，在样品室打开时氮气的消耗量大约是3l/min。氮气的纯度应约为99.996%。提供的管子为4mm内径和6mm外径。RotaryPumpExhaust旋转泵排气Therotarypumpproducesoilmistduringpumpdown,thiscancontaminatetheenvironmentandcreateahealthhazardwhenusedinenclosedsurrounding

19、s.Theoilmistfiltersuppliedand/oranexternalexhaustmustbeconnectedtotherotarypump.Thepipeshouldbeaplastictubewithaninnerdiameterof10mm.在抽真空期间，旋转泵产生油雾，在封闭环境中使用时，它能污染环境并危害健康。旋转泵上必须连接提供的油雾过滤器和/或外部排气。管子应为内经为10mm的塑料管。Vibration震动Velocitylevel:速度水平：Lessthan6m/secrms.from0-30Hz.Lessthan12m/secrms.above30Hz.Me

20、asurementdirections:XYandZ小于6m/secrms。从0-30Hz。小于12m/secrms。30Hz以上。测量方向：X、Y、ZStrayMagneticField杂散磁场Themaximumpermissiblestrayfieldintheroomis3x10-7T(peaktopeak)=3mG(peaktopeak).室内最大允许杂散磁场为3x10-7T（峰-峰值）=3mG（峰-峰值）。Theenvironmentalandutilityrequirementsaretheresponsibilityofthecustomerandshallbeprovided

21、atthetimeofinstallation.Failuretocomplywiththeseconditionsmayadverselyaffecttheperformancefiguresquotedinthisspecification.环境与实用要求是用户的责任，并应在安装时提供。如果不满足这些条件，可能会对技术规格中给出的性能产生不利的影响。ZEISSTechnicalSupportwillbehappytosuggestsuppliersofanti-vibrationplatformsandACfieldcancellationsystemsshouldtheseberequi

22、red.ZEISS技术支持建议使用减震台和AC磁场消除系统。尺寸及重量：Thefollowingdataisprovidedasaguideonly:-下面提供的数据只作为指导：-TheZEISSEVOissuppliedintwocontainers.ZEISSEVO用两个包装箱来提供。Container1:Re-UsableWoodenBox包装箱1：可重复使用的木箱OverallDimensions整体尺寸140cmx122cmx135cmOverallWeight整体重量110kgContainer2:CardboardboxonEuroPallet包装箱2：欧洲推荐的硬纸板箱Over

23、allDimensions整体尺寸191cmx122cmx110cmOverallWeight整体重量102kgPlinthUn-crated基体（无包装）OverallDimensions整体尺寸98cmdeepx78.4cmwidex158cmhigh98cm深x78.4cm宽x158cm高OverallWeight整体重量600kg附件七、质保及其它服务ZEISS在中国境内的维修保养部是直接由ZEISS亚洲新加坡总部负责。所有维修保养工程师都经过ZEISS工厂培训。目前维修部的结构如下：ServiceSupportinChinawillbedirectlybyZeissSingapore

24、.Allserviceengineerarefactorytrained.Servicesupportstructureasfollows:固定维修站：在北京有2位维修工程师、无锡有3位维修工程师，上海有1位维修工程师及1位应用专家，广州有2位维修工程师.向目前ZEISS的用户提供服务。Servicelocation:2FieldServiceEngineersinBeijing3FieldServiceEngineersinWuxi1FieldServiceEngineerinShanghai1ApplicationSpecialistinShanghai2FieldServiceEngineersinGUAMGZHOU流动维修站：目前在新加坡有4位资深工程师及4位维修工程师，如有需要将随时协助ZEISS中国境内工程师包括安装、检修工作等，以弥补由于ZEISS用户数量短期内的急剧增加而需要的安装调试及维修工作。ServiceBackup:4SeniorServiceSpecialistsand4ServiceEngineersfromCarlZeissSMTPteLtd,Singaporewillsupportinemergencysituations.远程遥控服务：根据我们多年在世界各地的经验，80%以上用户提出的“技术问题”都是由于用户本身，特别是电