氯硅烷物理特性

1、氯硅烷的性质1、氯硅烷的基本物性相关氯硅烷的基本性质见表1:表1氯硅烷的物理特性类另U分子式分子量沸点(C)凝固点(C)临界条件温度(C)压强（atm）体积（cm3/g）一氯硅烷SiClH66.55-30.4-118.1123.547.8174二氯硅烷SiCl2H2101.018.3-122.0176.344.4211三氯硅烷SiClH135.4331.8-134.020640.6268四氯化硅SiCl 4169.9057.57-70.0233.837.1326.32、氯硅烷的蒸汽压氯硅烷的蒸汽压与温度关系见图1,经数据拟合可以得到对应的P-T曲线如下:图1氯硅烷的蒸汽压与温度的关系一氯硅烷：

2、（式1-1）P = 0.0012t3 + 0.0692t2 + 10.316t + 380.84二氯硅烷：（式1-2）P = 0.0003t3 + 0.0431t2 + 2.9293t + 75.091三氯氢硅：（式1-3）P = 0.0002t3 + 0.0169t2 + 1.2314t + 30.534四氯化硅：（式1-4）P = 0.0003t3 + 0.0112t2 + 0.1593t + 7.4207说明：其中压强单位为kPs温度单位为。C。3、氯硅烷的汽化热图2氯硅烷的汽化热对温度的关系氯硅烷的汽化热与温度关系如图2,用图中 数据可以拟合得到如下方程：三氯氢硅：(式2-1)H气=-

3、3 X10-6t3 + 0.0002t2 - 0.0426t + 28.927四氯化硅：(式2-2)H气=-5 X10-713 - 0.0001t2 - 0.0373t + 33.019说明：H气勺单位为kJ/mol,温度单位C。4、氯硅烷的密度氯硅烷液体密度与温度关系见图3,对数据 进行拟合可以得到如下方程：三氯氢硅：（式3-1）P = 7 X10-5t3 + 0.0069t2 - 1.8365t +1370.9四氯化硅：（式3-2）P =-2 X10-5t3 + 0.0012t2 - 1.8748t +1520.7说明：密度单位为kg/m3，温度单位C。5、氯硅烷的粘度、氯硅烷蒸汽粘度对温

4、度的关系如图4, 用图中数据可以拟合得到如下方程：图3氯硅烷的液体密度对温度的关系m i胃三氯氢硅：H g = 9 x 10-1013 + 4 x 10-8t2 + 0.0036t + 0.9424（式 4-1）四氯化硅：H g = 2 x 10-9t3 +1 x 10-6t2 + 0.0033t + 0.9085（式 4-2）说明：粘度单位为10-5Pa.s,温度单位C。、氯硅烷液体粘度对温度的关系如图5,用图中数据可以拟合得到如下方程: 三氯氢硅：H 1 = 3X10-7t3 + 5X10-5t2 + 0.0043t + 0.397（式 4-3）四氯化硅：H 1 =-5X10-7t3 +

5、8X10-5t2 -0.0068t + 0.5749（式 4-4）5心说明：粘度单位为1X10-3Pa.s，温度单位C。图4氯硅烷的蒸汽粘度对温度的关系图5氯硅烷的液体粘度对温度的关系6、氯硅烷的表面张力氯硅烷表面张力对温度的关系如图6,用图中数据可以拟合得到如下方程：三氯氢硅：o=-0.1044t +19.868（式 5-1）四氯化硅：。=-0.1048t + 21.576说明：表面张力的单位为mMm,温度单位。C。7、氯硅烷的热容量、氯硅烷的蒸汽热容量对温度的关系如图7,用图中数据可以拟合得到如下方程：三氯氢硅：（式6-1）Cg = 7 x 10-8t3 - 0.0001t2 - 0.0792t + 75.023四氯化硅：（式6-2）Cg = 2 x 10-713 - 0.0002t2 + 0.0871t + 89.073说明：热容单位J/mol.K,温度单位C。、氯硅烷的液体热容量对温度的关系如图8,用图中数据拟合得到如下方程：图三氯氢硅：C1 =-8 x 10 -6t3 + 0.0018t2 + 0.1942t 四氯化硅：C i =-6 x 10 -7t3 + 0.0014t2 + 0.1508t 说明：热容量单位为J/mol.K,温