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文档简介
1、1 固体晶格结构半导体物理及固体物理基础2固体材料分类 绝缘体 半导体 导体 108 10-4 108 10-4 2绝缘体导体3导体两种导电率最低的物质是银和铜,导电性最好;考虑到价格因素,半导体产业中用的最多的金属为铝。.4绝缘体绝缘体:像玻璃、塑料、橡胶等;在半岛体产业中用的比较多的为二氧化硅,氮化硅,氧化铝等;二氧化硅用的最广,因为它非常稳定;与硅有非常好的接触界面;5半导体 元素半导体:Si,Ge (IV族) III-V族半导体:GaN GaAs, InP等化合物半导体 II-VI族半导体:ZnS,ZnO等 IV-IV族半导体:SiC有机半导体:有机物、聚合物和络合物等 6固体的形态类
2、型无定型(非晶)多晶单晶无定型材料:只在几个原子或分子的尺度内有序;多晶材料:在许多个原子或分子的尺度内有序;单晶材料:在整个材料范围内都有很高的几何周期性;晶粒晶界7单晶硅8多晶硅9非晶硅10晶体结构理论晶体结构=基元+点阵;基元:构成晶体的原子、分子、离子、原子团、分子团等;点阵:用一个几何点表示基元后,晶体所构成的几何点的阵列; 点阵是无限大,沿三维周期性排列的点子;晶格:用直线以某种方式把点子连接起来所形成的格子,晶格中每一个点称为格点;11点阵与晶格二维无限格点阵列12晶胞晶胞:可以复制整个晶体的一小部分晶体,并非只有一种结构;原胞:可以通过重复形成整个晶体的最小晶胞; 晶胞:考虑对
3、称性,更全面地了解晶体性质;13晶胞与晶格AB晶格中任意一个格点都可以用矢量表示:14晶系描写晶胞的六个物理量:三个基矢的长度晶轴上的周期(a, b, c)和基矢之间的夹角(,),如图所示:根据a, b, c, , , 的不同,晶格可分为七大晶系。15七大晶系晶系名称 晶轴上的周期 晶轴间的夹角 三斜晶系 abc 90 单斜晶系 abc =90o,90 正交晶系 abc =90 四方晶系 a=bc =90 六角晶系 a=bc =90o,=120 三角晶系 a=b=c =90 立方晶系 a=b=c =90 16立方晶系晶体结构简立方结构体心立方结构面心立方结构17例118例219晶面晶格中,可以
4、从各个方向上划分成无限多平面族,即晶面族;一族晶面中,彼此距离相等,方向相同,格点在晶面上的分布也相同;如何描述一个平面的方向?20不同晶面方向硅的晶格21密勒指数(Miller Index)采用密勒指数来定义晶体中的不同晶面。密勒指数可由下列步骤确定:找出晶面在坐标系中三个坐标轴上的截距;取这三个截距值的倒数,并将其化为最小整数比(hkl);将此结果以(hkl)表示,即为这个晶面的密勒指数;22晶面的密勒指数晶面在三个坐标轴上的截距分别为a,3a和2a; 取这些截距的倒数可得1/1,1/3和1/2;因此,可以表示为(623)晶面。 这三个数的最小整数比为6:2:3(每个分数乘6所得);23晶
5、面的密勒指数晶面在三个坐标轴上的截距分别为: 1,2,2取这些截距的倒数,分别为1/1,1/2,1/2;最小整数比为2:1:1;因此,这个可以表示为(211)晶面;24晶面的密勒指数25晶面的密勒指数26晶面的密勒指数27晶面原子密度28晶向格点可以看成分列在一系列相互平行的直线系上, 这些直线系称为晶列。同一个格点可以形成不同方向的晶列,每一个晶列定义了一个方向,称为晶向。29晶向晶向指数计算方法:它的取法是:先作一条通过晶胞原点且平行于该晶向方向的直线;在此直线上任选一点,求出其三个坐标(矢量分量);将此三个坐标数值化为最小整数比, ; 则为该晶向指数。等效方向上的所有方向组用表示。30晶
6、向计算31晶向计算32晶向计算33晶向计算34金刚石结构硅和锗都属于金刚石结构晶胞中包含一种元素35闪锌矿结构GaAs属于闪锌矿结构晶胞中包含两种元素36原子价键为什么特定的原子倾向于特定的晶格结构?热平衡系统的总能量趋于达到某个最小值;原子形成固体时的相互作用以及达到的最低能量依赖于原子类型;通过原子的价电子定性的理解原子之间是如何相互作用的;37离子键:I族的元素倾向于失去电子,带正电荷;VII族的元素倾向于得到电子,带负电荷;电荷相反的离子通过库伦作用形成离子键;(NaCl)晶体中,负离子被正离子包围,正离子被负离子包围;静电引力较强,很难产生自由运动的电子;38共价键每个氢原子有一个电
7、子,两原子共用两个电子,价电子层都是满的;电负性相差不大的原子间通过共用电子对而形成的化学键39共价键IV族元素硅和锗,每个原子有4个价电子, 需要4个价电子填满价电子层;40原子价键金属键:I族元素钠,有一个价电子; 两个钠原子离得很近,价电子会像共价键那样互相影响; 第三个钠原子靠近时,价电子也会相互作用成键; 固体钠中,每个钠原子有很多共享电子;41原子价键范德华键:HF分子是通过离子键构成的; HF分子中正电荷有效中心不同于负电荷有效中心; 电荷分布的不对称型会形成电偶极子; 电偶极子之间会相互作用,最后达到平衡;最弱的化学键; 分子间相互作用若; 形成的固体的熔点相对较低; 室温下呈气态;42晶体中缺陷-点缺陷缺陷尺寸在原子量级;43晶体中缺陷-点缺陷缺陷尺寸在原子量级;44晶体中缺陷-线缺陷(位错)刃型位错: 在晶格里额外插入一个原子平面:45晶体中缺陷-面缺陷晶粒间界:彼此没有固定晶向关系的晶体之间的过渡区46 本征堆垛层错.堆垛层错:在这种缺陷中,
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