桂林关于成立机械设备公司可行性报告范文模板

1、泓域咨询/桂林关于成立机械设备公司可行性报告桂林关于成立机械设备公司可行性报告xx（集团）有限公司目录 TOC o 1-3 h z u HYPERLINK l _Toc108709682 第一章 拟成立公司基本信息 PAGEREF _Toc108709682 h 8 HYPERLINK l _Toc108709683 一、 公司名称 PAGEREF _Toc108709683 h 8 HYPERLINK l _Toc108709684 二、 注册资本 PAGEREF _Toc108709684 h 8 HYPERLINK l _Toc108709685 三、 注册地址 PAGEREF _Toc

2、108709685 h 8 HYPERLINK l _Toc108709686 四、 主要经营范围 PAGEREF _Toc108709686 h 8 HYPERLINK l _Toc108709687 五、 主要股东 PAGEREF _Toc108709687 h 8 HYPERLINK l _Toc108709688 公司合并资产负债表主要数据 PAGEREF _Toc108709688 h 9 HYPERLINK l _Toc108709689 公司合并利润表主要数据 PAGEREF _Toc108709689 h 9 HYPERLINK l _Toc108709690 公司合并资产负债

3、表主要数据 PAGEREF _Toc108709690 h 10 HYPERLINK l _Toc108709691 公司合并利润表主要数据 PAGEREF _Toc108709691 h 11 HYPERLINK l _Toc108709692 六、 项目概况 PAGEREF _Toc108709692 h 11 HYPERLINK l _Toc108709693 第二章 背景及必要性 PAGEREF _Toc108709693 h 14 HYPERLINK l _Toc108709694 一、 反应离子刻蚀 PAGEREF _Toc108709694 h 14 HYPERLINK l _T

4、oc108709695 二、 等离子体刻蚀面临的问题 PAGEREF _Toc108709695 h 14 HYPERLINK l _Toc108709696 三、 激发企业创新活力 PAGEREF _Toc108709696 h 15 HYPERLINK l _Toc108709697 四、 提升完善“345”产业发展格局 PAGEREF _Toc108709697 h 15 HYPERLINK l _Toc108709698 第三章 市场分析 PAGEREF _Toc108709698 h 17 HYPERLINK l _Toc108709699 一、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术 PAG

5、EREF _Toc108709699 h 17 HYPERLINK l _Toc108709700 二、 离子束刻蚀 PAGEREF _Toc108709700 h 18 HYPERLINK l _Toc108709701 三、 高密度等离子体刻蚀 PAGEREF _Toc108709701 h 19 HYPERLINK l _Toc108709702 第四章 公司组建方案 PAGEREF _Toc108709702 h 21 HYPERLINK l _Toc108709703 一、 公司经营宗旨 PAGEREF _Toc108709703 h 21 HYPERLINK l _Toc10870

6、9704 二、 公司的目标、主要职责 PAGEREF _Toc108709704 h 21 HYPERLINK l _Toc108709705 三、 公司组建方式 PAGEREF _Toc108709705 h 22 HYPERLINK l _Toc108709706 四、 公司管理体制 PAGEREF _Toc108709706 h 22 HYPERLINK l _Toc108709707 五、 部门职责及权限 PAGEREF _Toc108709707 h 23 HYPERLINK l _Toc108709708 六、 核心人员介绍 PAGEREF _Toc108709708 h 27 H

7、YPERLINK l _Toc108709709 七、 财务会计制度 PAGEREF _Toc108709709 h 29 HYPERLINK l _Toc108709710 第五章 法人治理 PAGEREF _Toc108709710 h 32 HYPERLINK l _Toc108709711 一、 股东权利及义务 PAGEREF _Toc108709711 h 32 HYPERLINK l _Toc108709712 二、 董事 PAGEREF _Toc108709712 h 35 HYPERLINK l _Toc108709713 三、 高级管理人员 PAGEREF _Toc10870

8、9713 h 40 HYPERLINK l _Toc108709714 四、 监事 PAGEREF _Toc108709714 h 43 HYPERLINK l _Toc108709715 第六章 发展规划分析 PAGEREF _Toc108709715 h 45 HYPERLINK l _Toc108709716 一、 公司发展规划 PAGEREF _Toc108709716 h 45 HYPERLINK l _Toc108709717 二、 保障措施 PAGEREF _Toc108709717 h 49 HYPERLINK l _Toc108709718 第七章 项目风险防范分析 PAGE

9、REF _Toc108709718 h 52 HYPERLINK l _Toc108709719 一、 项目风险分析 PAGEREF _Toc108709719 h 52 HYPERLINK l _Toc108709720 二、 项目风险对策 PAGEREF _Toc108709720 h 54 HYPERLINK l _Toc108709721 第八章 项目选址方案 PAGEREF _Toc108709721 h 56 HYPERLINK l _Toc108709722 一、 项目选址原则 PAGEREF _Toc108709722 h 56 HYPERLINK l _Toc10870972

10、3 二、 建设区基本情况 PAGEREF _Toc108709723 h 56 HYPERLINK l _Toc108709724 三、 提升科技支撑能力 PAGEREF _Toc108709724 h 61 HYPERLINK l _Toc108709725 四、 提升产业链供应链现代化水平 PAGEREF _Toc108709725 h 61 HYPERLINK l _Toc108709726 五、 项目选址综合评价 PAGEREF _Toc108709726 h 62 HYPERLINK l _Toc108709727 第九章 项目环境保护 PAGEREF _Toc108709727 h

11、 63 HYPERLINK l _Toc108709728 一、 环境保护综述 PAGEREF _Toc108709728 h 63 HYPERLINK l _Toc108709729 二、 建设期大气环境影响分析 PAGEREF _Toc108709729 h 63 HYPERLINK l _Toc108709730 三、 建设期水环境影响分析 PAGEREF _Toc108709730 h 63 HYPERLINK l _Toc108709731 四、 建设期固体废弃物环境影响分析 PAGEREF _Toc108709731 h 64 HYPERLINK l _Toc108709732 五

12、、 建设期声环境影响分析 PAGEREF _Toc108709732 h 64 HYPERLINK l _Toc108709733 六、 环境影响综合评价 PAGEREF _Toc108709733 h 65 HYPERLINK l _Toc108709734 第十章 项目规划进度 PAGEREF _Toc108709734 h 66 HYPERLINK l _Toc108709735 一、 项目进度安排 PAGEREF _Toc108709735 h 66 HYPERLINK l _Toc108709736 项目实施进度计划一览表 PAGEREF _Toc108709736 h 66 HYP

13、ERLINK l _Toc108709737 二、 项目实施保障措施 PAGEREF _Toc108709737 h 67 HYPERLINK l _Toc108709738 第十一章 投资计划 PAGEREF _Toc108709738 h 68 HYPERLINK l _Toc108709739 一、 投资估算的依据和说明 PAGEREF _Toc108709739 h 68 HYPERLINK l _Toc108709740 二、 建设投资估算 PAGEREF _Toc108709740 h 69 HYPERLINK l _Toc108709741 建设投资估算表 PAGEREF _To

14、c108709741 h 71 HYPERLINK l _Toc108709742 三、 建设期利息 PAGEREF _Toc108709742 h 71 HYPERLINK l _Toc108709743 建设期利息估算表 PAGEREF _Toc108709743 h 71 HYPERLINK l _Toc108709744 四、 流动资金 PAGEREF _Toc108709744 h 73 HYPERLINK l _Toc108709745 流动资金估算表 PAGEREF _Toc108709745 h 73 HYPERLINK l _Toc108709746 五、 总投资 PAGER

15、EF _Toc108709746 h 74 HYPERLINK l _Toc108709747 总投资及构成一览表 PAGEREF _Toc108709747 h 74 HYPERLINK l _Toc108709748 六、 资金筹措与投资计划 PAGEREF _Toc108709748 h 75 HYPERLINK l _Toc108709749 项目投资计划与资金筹措一览表 PAGEREF _Toc108709749 h 76 HYPERLINK l _Toc108709750 第十二章 项目经济效益分析 PAGEREF _Toc108709750 h 77 HYPERLINK l _T

16、oc108709751 一、 经济评价财务测算 PAGEREF _Toc108709751 h 77 HYPERLINK l _Toc108709752 营业收入、税金及附加和增值税估算表 PAGEREF _Toc108709752 h 77 HYPERLINK l _Toc108709753 综合总成本费用估算表 PAGEREF _Toc108709753 h 78 HYPERLINK l _Toc108709754 固定资产折旧费估算表 PAGEREF _Toc108709754 h 79 HYPERLINK l _Toc108709755 无形资产和其他资产摊销估算表 PAGEREF _

17、Toc108709755 h 80 HYPERLINK l _Toc108709756 利润及利润分配表 PAGEREF _Toc108709756 h 82 HYPERLINK l _Toc108709757 二、 项目盈利能力分析 PAGEREF _Toc108709757 h 82 HYPERLINK l _Toc108709758 项目投资现金流量表 PAGEREF _Toc108709758 h 84 HYPERLINK l _Toc108709759 三、 偿债能力分析 PAGEREF _Toc108709759 h 85 HYPERLINK l _Toc108709760 借款还

18、本付息计划表 PAGEREF _Toc108709760 h 86 HYPERLINK l _Toc108709761 第十三章 总结说明 PAGEREF _Toc108709761 h 88 HYPERLINK l _Toc108709762 第十四章 附表 PAGEREF _Toc108709762 h 90 HYPERLINK l _Toc108709763 主要经济指标一览表 PAGEREF _Toc108709763 h 90 HYPERLINK l _Toc108709764 建设投资估算表 PAGEREF _Toc108709764 h 91 HYPERLINK l _Toc10

19、8709765 建设期利息估算表 PAGEREF _Toc108709765 h 92 HYPERLINK l _Toc108709766 固定资产投资估算表 PAGEREF _Toc108709766 h 93 HYPERLINK l _Toc108709767 流动资金估算表 PAGEREF _Toc108709767 h 94 HYPERLINK l _Toc108709768 总投资及构成一览表 PAGEREF _Toc108709768 h 95 HYPERLINK l _Toc108709769 项目投资计划与资金筹措一览表 PAGEREF _Toc108709769 h 96 H

20、YPERLINK l _Toc108709770 营业收入、税金及附加和增值税估算表 PAGEREF _Toc108709770 h 97 HYPERLINK l _Toc108709771 综合总成本费用估算表 PAGEREF _Toc108709771 h 97 HYPERLINK l _Toc108709772 固定资产折旧费估算表 PAGEREF _Toc108709772 h 98 HYPERLINK l _Toc108709773 无形资产和其他资产摊销估算表 PAGEREF _Toc108709773 h 99 HYPERLINK l _Toc108709774 利润及利润分配表

21、 PAGEREF _Toc108709774 h 100 HYPERLINK l _Toc108709775 项目投资现金流量表 PAGEREF _Toc108709775 h 101 HYPERLINK l _Toc108709776 借款还本付息计划表 PAGEREF _Toc108709776 h 102 HYPERLINK l _Toc108709777 建筑工程投资一览表 PAGEREF _Toc108709777 h 103 HYPERLINK l _Toc108709778 项目实施进度计划一览表 PAGEREF _Toc108709778 h 104 HYPERLINK l _

22、Toc108709779 主要设备购置一览表 PAGEREF _Toc108709779 h 105 HYPERLINK l _Toc108709780 能耗分析一览表 PAGEREF _Toc108709780 h 105报告说明xx（集团）有限公司主要由xxx有限公司和xxx集团有限公司共同出资成立。其中：xxx有限公司出资208.00万元，占xx（集团）有限公司40%股份；xxx集团有限公司出资312万元，占xx（集团）有限公司60%股份。根据谨慎财务估算，项目总投资26924.13万元，其中：建设投资21095.84万元，占项目总投资的78.35%；建设期利息594.60万元，占项目总

23、投资的2.21%；流动资金5233.69万元，占项目总投资的19.44%。项目正常运营每年营业收入49800.00万元，综合总成本费用42135.46万元，净利润5588.24万元，财务内部收益率14.16%，财务净现值2184.30万元，全部投资回收期6.81年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。反应离子刻蚀（RIE）是一种采用化学反应和物理离子轰击去除硅片表面材料的技术，是当前常用技术路径，属于物理和化学混合刻蚀。在传统的反应离子刻蚀机中，进入反应室的气体会被分解电离为等离子体，等离子体由反应正离子、自由基、反应原子等组成。反应正离子会轰击硅片表面形成物理刻

24、蚀，同时被轰击的硅片表面化学活性被提高，之后硅片会与自由基和反应原子形成化学刻蚀。这个过程中由于离子轰击带有方向性，RIE技术具有较好的各向异性。本报告基于可信的公开资料，参考行业研究模型，旨在对项目进行合理的逻辑分析研究。本报告仅作为投资参考或作为参考范文模板用途。拟成立公司基本信息公司名称xx（集团）有限公司（以工商登记信息为准）注册资本520万元注册地址桂林xxx主要经营范围经营范围：从事机械设备相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）主要股东xx（集团）有限公司主要

25、由xxx有限公司和xxx集团有限公司发起成立。（一）xxx有限公司基本情况1、公司简介未来，在保持健康、稳定、快速、持续发展的同时，公司以“和谐发展”为目标，践行社会责任，秉承“责任、公平、开放、求实”的企业责任，服务全国。经过多年的发展，公司拥有雄厚的技术实力，丰富的生产经营管理经验和可靠的产品质量保证体系，综合实力进一步增强。公司将继续提升供应链构建与管理、新技术新工艺新材料应用研发。集团成立至今，始终坚持以人为本、质量第一、自主创新、持续改进，以技术领先求发展的方针。2、主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额8556.03684

26、4.826417.02负债总额3175.472540.382381.60股东权益合计5380.564304.454035.42公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入20756.8216605.4615567.61营业利润4309.313447.453231.98利润总额3603.262882.612702.45净利润2702.452107.911945.76归属于母公司所有者的净利润2702.452107.911945.76（二）xxx集团有限公司基本情况1、公司简介公司在发展中始终坚持以创新为源动力，不断投入巨资引入先进研发设备，更新思想观念，依托优秀的人才、

27、完善的信息、现代科技技术等优势，不断加大新产品的研发力度，以实现公司的永续经营和品牌发展。公司秉承“诚实、信用、谨慎、有效”的信托理念，将“诚信为本、合规经营”作为企业的核心理念，不断提升公司资产管理能力和风险控制能力。2、主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额8556.036844.826417.02负债总额3175.472540.382381.60股东权益合计5380.564304.454035.42公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入20756.8216605.4615567.61营业利润430

28、9.313447.453231.98利润总额3603.262882.612702.45净利润2702.452107.911945.76归属于母公司所有者的净利润2702.452107.911945.76项目概况（一）投资路径xx（集团）有限公司主要从事关于成立机械设备公司的投资建设与运营管理。（二）项目提出的理由全球龙头持续投入，加强研发、外围并购维持竞争力。应用材料于2018年6月宣布成立材料工程技术推动中心（META中心），主要目标是加快客户获得新的芯片制造材料和工艺技术，从而在半导体性能、成本方面实现突破。（三）项目选址项目选址位于xxx（待定），占地面积约64.00亩。项目拟定建设区域

29、地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。（四）生产规模项目建成后，形成年产xxx套机械设备的生产能力。（五）建设规模项目建筑面积80459.48，其中：生产工程56690.36，仓储工程9706.45，行政办公及生活服务设施8855.97，公共工程5206.70。（六）项目投资根据谨慎财务估算，项目总投资26924.13万元，其中：建设投资21095.84万元，占项目总投资的78.35%；建设期利息594.60万元，占项目总投资的2.21%；流动资金5233.69万元，占项目总投资的19.44%。（七）经济效益（正常经营年份）1、营业收入（SP）

30、：49800.00万元。2、综合总成本费用（TC）：42135.46万元。3、净利润（NP）：5588.24万元。4、全部投资回收期（Pt）：6.81年。5、财务内部收益率：14.16%。6、财务净现值：2184.30万元。（八）项目进度规划项目建设期限规划24个月。（九）项目综合评价本期项目技术上可行、经济上合理，投资方向正确，资本结构合理，技术方案设计优良。本期项目的投资建设和实施无论是经济效益、社会效益等方面都是积极可行的。背景及必要性反应离子刻蚀反应离子刻蚀（RIE）是一种采用化学反应和物理离子轰击去除硅片表面材料的技术，是当前常用技术路径，属于物理和化学混合刻蚀。在传统的反应离子刻蚀

31、机中，进入反应室的气体会被分解电离为等离子体，等离子体由反应正离子、自由基、反应原子等组成。反应正离子会轰击硅片表面形成物理刻蚀，同时被轰击的硅片表面化学活性被提高，之后硅片会与自由基和反应原子形成化学刻蚀。这个过程中由于离子轰击带有方向性，RIE技术具有较好的各向异性。等离子体刻蚀面临的问题随着当前先进芯片关键尺寸的不断减小以及FinFET与3DNAND等三维结构的出现，不同尺寸的结构在刻蚀中的速率差异将影响刻蚀速率，对于高深宽比的图形窗口来说，化学刻蚀剂难以进入，反应生成物难以排出。另外，薄膜堆栈一般由多层材料组成，不同材料的刻蚀速率不同，很多刻蚀工艺都要求具有极高的选择比。第三个问题在于

32、当达到期望深度之后，等离子体中的高能离子可能会导致硅片表面粗糙或底层材料损伤。干法刻蚀通常不能提供对下一层材料足够高的刻蚀选择比。在这种情况下，一个等离子体刻蚀机应装上一个终点检测系统，使得在造成最小的过刻蚀时停止刻蚀过程。当下一层材料正好露出来时，重点检测器会触发刻蚀机控制器而停止刻蚀。激发企业创新活力强化企业创新主体地位，促进各类创新要素向企业集聚，支持龙头企业开展核心技术自主创新攻关和新产品研发，加强共性技术平台建设。加快发展高新技术企业和科技型中小企业，培育一批隐形冠军企业、专精特新企业、瞪羚企业。建立创新引导基金，落实企业研发投入财税优惠政策及奖励机制，鼓励企业加大研发投入。优化中小

33、微企业创新创业环境，构建科技金融服务体系，建设提升一批科技企业孵化器、众创空间等科创平台。实施企业质量提升行动，打造一批具有自主知识产权的名牌产品，全面提升桂林产品质量，打响“桂林制造”品牌。提升完善“345”产业发展格局强化全市工业发展一盘棋理念，进一步明确园区主导产业，积极承接粤港澳大湾区、长三角等地区产业转移，鼓励引导产业集聚发展，提升壮大高新区、经开区、高铁园三大园区，加快发展全州、兴安、平乐、荔浦四个工业重点县，推动阳朔、灌阳、龙胜、资源、恭城五个生态功能区县特色发展，形成覆盖全市、布局合理、多点支撑的“345”产业发展新格局。以三大园区为工业振兴主战场，深化体制机制改革，做大做强做

34、优新一代信息技术、先进装备制造、新材料、生物医药及医疗器械等主导产业，强化园区产业链协同发展，着力把高新区打造成为高新技术产业集聚区、产业融合和产城融合发展先行区、产学研用协同示范区、高质量发展排头兵;把经开区打造成为面向东盟的先进制造业基地、智能制造基地、产城融合发展的改革开放新高地，力争升级为国家级经开区;把高铁园打造成为粤桂黔协作发展创新区、粤桂黔高铁经济带产业承接新高地、国家物流枢纽区域性中心。加快发展四个工业重点县，推动生态食品、新型建材、智能光电、绿色家居等一批县域特色产业园做大做强，提升壮大县域经济实力，形成工业振兴重要支撑。培育发展五个生态功能区县，依托产业基础和资源禀赋，实现

35、特色化、差异化发展。市场分析干法刻蚀是芯片制造的主流技术刻蚀设备处于半导体产业链上游环节。半导体产业链的上游由为设计、制造和封测环节提供软件及知识产权、硬件设备、原材料等生产资料的核心产业组成。半导体产业链的中游可以分为半导体芯片设计环节、制造环节和封装测试环节。半导体产业链的下游为半导体终端产品以及其衍生的应用、系统等。刻蚀的基本目标是在涂胶的硅片上正确的复制掩模图形。刻蚀是指使用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，并保证有图形的光刻胶在刻蚀中不受到腐蚀源显著的侵蚀。常用来代表刻蚀效率的参数主要有：刻蚀速率、刻蚀剖面、刻蚀偏差和选择比等。刻蚀速率指刻蚀过程中去除硅片表面材

36、料的速度；刻蚀剖面指的是刻蚀图形的侧壁形状，通常分为各向同性和各向异性剖面；刻蚀偏差指的是线宽或关键尺寸间距的变化，通常由横向钻蚀引起；选择比指的是同一刻蚀条件下两种材料刻蚀速率比，高选择比意味着不需要的材料会被刻除。刻蚀技术按工艺分类可分为湿法刻蚀和干法刻蚀，其中干法刻蚀是最主要的用来去除表面材料的刻蚀方法，湿法刻蚀主要包括化学刻蚀和电解刻蚀。由于在湿法刻蚀技术中使用液体试剂，相对于干法刻蚀，容易导致边侧形成斜坡、要求冲洗或干燥等步骤。因此干法刻蚀被普遍应用于先进制程的小特征尺寸精细刻蚀中，并在刻蚀率、微粒损伤等方面具有较大的优势。目前先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是

37、单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。一个等离子体刻蚀机的基本部件包括发生刻蚀反应的反应腔、产生等离子体气的射频电源、气体流量控制系统、去除生成物的真空系统。刻蚀中会用到大量的化学气体，通常用氟刻蚀二氧化硅，氯和氟刻蚀铝，氯、氟和溴刻蚀硅，氧去除光刻胶。离子束刻蚀离子束刻蚀（IBE）是具有较强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。他能对小尺寸图型产生各向异性刻蚀，等离子体通常是由电感耦合RF源或微波源产生的。热灯丝发射快速运动的电子。氩原子通过扩散筛进入等离子体腔内。电磁场环绕等离子体腔，磁场使电子在圆形轨道上运动，这种循环运动是的电子与氩原子产生多次碰撞，从而产生大量的正氩离子，正氩离子被从带格栅电

38、极的等离子体源中引出并用一套校准的电极来形成高密度束流。离子束刻蚀主要用于金、铂、铜等较难刻蚀的材料。优势在于硅片可以倾斜以获取不同的侧壁形状。但也面临低选择比和低刻蚀速率的问题。高密度等离子体刻蚀在先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。根据产生等离子体方法的不同，等离子体刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀（CCP）、电感性等离子体刻蚀(ICP)、电子回旋加速震荡（ECR）和双等离子体源。电子回旋加速震荡（ECR）反应器是最早商用化的高密度等离子体反应器之一，它是1984年前后日本日立公司最早研究的，第一次使用是在20世纪80年代初。它在现代硅片

39、制造中仍然用于0.25微米及以下尺寸图形的刻蚀。ECR反应器的一个关键是磁场平行于反应剂的流动方向，这使自由电子由于磁力作用做螺旋形运动。增加了电子碰撞的可能性，从而产生高密度的等离子体。优点在于能产生高的各向异性刻蚀图形，缺点是设备复杂度较高。耦合等离子体刻蚀机包括电容耦合（CCP）与电感耦合（ICP），相比ECR结构简单且成本低。电容耦合等离子体刻蚀机（CCP）通过电容产生等离子体，而电感耦合等离子体刻蚀机（ICP）通过螺旋线圈产生等离子体。硅片基底为加装有低功率射频偏置发生器的电源电极，用来控制轰击硅片表面离子的能量，从而使得整个装置能够分离控制离子的能量与浓度。电容性等离子体刻蚀（CC

40、P）主要是以高能离子在较硬的介质材料上，刻蚀高深宽比的深孔、深沟等微观结构；而电感性等离子体刻蚀（ICP）主要是以较低的离子能量和极均匀的离子浓度刻蚀较软的和较薄的材料。这两种刻蚀设备涵盖了主要的刻蚀应用。双等离子体源刻蚀机主要由源功率单元、上腔体、下腔体和可移动电极四部分组成。这一系统中用到了两个RF功率源。位于上部的射频功率源通过电感线圈将能量传递给等离子体从而增加离子密度，但是离子浓度增加的同时离子能量也随之增加。下部加装的偏置射频电源通过电容结构能够降低轰击在硅表面离子的能量而不影响离子浓度，从而能够更好地控制刻蚀速率与选择比。公司组建方案公司经营宗旨以市场经济为导向，立足主业，引进新

41、项目、开发新技术、开辟新市场，以求高信誉、高效率、高效益，为用户提供一流的产品和服务，为股东和投资者获得更多的利益，实现社会效益和经济效益的最大化。公司的目标、主要职责（一）目标近期目标：深化企业改革，加快结构调整，优化资源配置，加强企业管理，建立现代企业制度；精干主业，分离辅业，增强企业市场竞争力，加快发展；提高企业经济效益，完善管理制度及运营网络。远期目标：探索模式创新、制度创新、管理创新的产业发展新思路。坚持发展自主品牌，提升企业核心竞争力。此外，面向国际、国内两个市场，优化资源配置，实施多元化战略，向产业集团化发展，力争利用3-5年的时间把公司建设成具有先进管理水平和较强市场竞争实力的

42、大型企业集团。（二）主要职责1、执行国家法律、法规和产业政策，在国家宏观调控和行业监管下，以市场需求为导向，依法自主经营。2、根据国家和地方产业政策、机械设备行业发展规划和市场需求，制定并组织实施公司的发展战略、中长期发展规划、年度计划和重大经营决策。3、深化企业改革，加快结构调整，转换企业经营机制，建立现代企业制度，强化内部管理，促进企业可持续发展。4、指导和加强企业思想政治工作和精神文明建设，统一管理公司的名称、商标、商誉等无形资产，搞好公司企业文化建设。5、在保证股东企业合法权益和自身发展需要的前提下，公司可依照公司法等有关规定，集中资产收益，用于再投入和结构调整。公司组建方式xx（集团

43、）有限公司主要由xxx有限公司和xxx集团有限公司共同出资成立。其中：xxx有限公司出资208.00万元，占xx（集团）有限公司40%股份；xxx集团有限公司出资312万元，占xx（集团）有限公司60%股份。公司管理体制xx（集团）有限公司实行董事会领导下的总经理负责制，各部门按其规定的职能范围，履行各自的管理服务职能，而且直接对总经理负责；公司建立完善的营销、供应、生产和品质管理体系，确立各部门相应的经济责任目标，加强产品质量和定额目标管理，确保公司生产经营正常、有效、稳定、安全、持续运行，有力促进企业的高效、健康、快速发展。总经理的主要职责如下：1、全面领导企业的日常工作；对企业的产品质量

44、负责；向本公司职工传达满足顾客和法律法规要求的重要性；2、制定并正式批准颁布本公司的质量方针和质量目标，采取有效措施，保证各级人员理解质量方针并坚持贯彻执行；3、负责策划、建立本公司的质量管理体系，批准发布本公司的质量手册；4、明确所有与质量有关的职能部门和人员的职责权限和相互关系；5、确保质量管理体系运行所必要的资源配备；6、任命管理者代表，并为其有效开展工作提供支持；7、定期组织并主持对质量管理体系的管理评审，以确保其持续的适宜性、充分性和有效性。部门职责及权限（一）综合管理部1、协助管理者代表组织建立文件化质量体系，并使其有效运行和持续改进。2、协助管理者代表，组织内部质量管理体系审核。

45、3、负责本公司文件（包括记录）的管理和控制。4、负责本公司员工培训的管理，制订并实施员工培训计划。5、参与识别并确定为实现产品符合性所需的工作环境，并对工作环境中与产品符合性有关的条件加以管理。（二）财务部1、参与制定本公司财务制度及相应的实施细则。2、参与本公司的工程项目可信性研究和项目评估中的财务分析工作。3、负责董事会及总经理所需的财务数据资料的整理编报。4、负责对财务工作有关的外部及政府部门，如税务局、财政局、银行、会计事务所等联络、沟通工作。5、负责资金管理、调度。编制月、季、年度财务情况说明分析，向公司领导报告公司经营情况。6、负责销售统计、复核工作，每月负责编制销售应收款报表，并

46、督促销售部及时催交楼款。负责销售楼款的收款工作，并及时送交银行。7、负责每月转账凭证的编制，汇总所有的记账凭证。8、负责公司总长及所有明细分类账的记账、结账、核对，每月5日前完成会计报表的编制，并及时清理应收、应付款项。9、协助出纳做好楼款的收款工作，并配合销售部门做好销售分析工作。10、负责公司全年的会计报表、帐薄装订及会计资料保管工作。11、负责银行财务管理，负责支票等有关结算凭证的购买、领用及保管，办理银行收付业务。12、负责先进管理，审核收付原始凭证。13、负责编制银行收付凭证、现金收付凭证，登记银行存款及现金日记账，月末与银行对账单和对银行存款余额，并编制余额调节表。14、负责公司员

47、工工资的发放工作，现金收付工作。（三）投资发展部1、调查、搜集、整理有关市场信息，并提出投资建议。2、拟定公司年度投资计划及中长期投资计划。3、负责投资项目的储备、筛选、投资项目的可行性研究工作。4、负责经董事会批准的投资项目的筹建工作。5、按照国家产业政策，负责公司产业结构、投资结构的调整。6、及时完成领导交办的其他事项。（四）销售部1、协助总经理制定和分解年度销售目标和销售成本控制指标，并负责具体落实。2、依据公司年度销售指标，明确营销策略，制定营销计划和拓展销售网络，并对任务进行分解，策划组织实施销售工作，确保实现预期目标。3、负责收集市场信息，分析市场动向、销售动态、市场竞争发展状况等

48、，并定期将信息报送商务发展部。4、负责按产品销售合同规定收款和催收，并将相关收款情况报送商务发展部。5、定期不定期走访客户，整理和归纳客户资料，掌握客户情况，进行有效的客户管理。6、制定并组织填写各类销售统计报表，并将相关数据及时报送商务发展部总经理。7、负责市场物资信息的收集和调查预测，建立起牢固可靠的物资供应网络，不断开辟和优化物资供应渠道。8、负责收集产品供应商信息，并对供应商进行质量、技术和供就能力进行评估，根据公司需求计划，编制与之相配套的采购计划，并进行采购谈判和产品采购，保证产品供应及时，确保产品价格合理、质量符合要求。9、建立发运流程，设计最佳运输路线、运输工具，选择合格的运输

49、商，严格按公司下达的发运成本预算进行有效管理，定期分析费用开支，查找超支、节支原因并实施控制。10、负责对部门员工进行业务素质、产品知识培训和考核等工作，不断培养、挖掘、引进销售人才，建设高素质的销售队伍。核心人员介绍1、邱xx，中国国籍，无永久境外居留权，1958年出生，本科学历，高级经济师职称。1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事长；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事长；2016年11月至今任xxx有限公司董事、经理；2019年3月至今任公司董事。2、韦xx，中国国籍，1977年出生，本科学历。2018年9月至今历任公司办公室主任，2017年8月至今任公司

50、监事。3、邓xx，中国国籍，无永久境外居留权，1959年出生，大专学历，高级工程师职称。2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技术顾问；2004年8月至2011年3月任xxx有限责任公司总工程师。2018年3月至今任公司董事、副总经理、总工程师。4、贾xx，中国国籍，无永久境外居留权，1971年出生，本科学历，中级会计师职称。2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司财务经理。2017年3月至今任公司董事、副总经理、财务总监。5、陈xx，中国国籍，无永久境外居留权，1970年出生，硕士研究生学历。2012年4月至

51、今任xxx有限公司监事。2018年8月至今任公司独立董事。6、吕xx，中国国籍，无永久境外居留权，1961年出生，本科学历，高级工程师。2002年11月至今任xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。7、秦xx，中国国籍，1976年出生，本科学历。2003年5月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2004年4月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理。2018年3月起至今任公司董事长、总经理。8、毛xx，中国国籍，1978年出生，本科学历，中国注册会计师。2015年9月至今任xxx有限公司

52、董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司独立董事。财务会计制度1、公司依照法律、行政法规和国家有关部门的规定，制定公司的财务会计制度。2、公司除法定的会计账簿外，将不另立会计账簿。公司的资产，不以任何个人名义开立账户存储。3、公司分配当年税后利润时，应当提取利润的10%列入公司法定公积金。公司法定公积金累计额为公司注册资本的50%以上的，可以不再提取。公司的法定公积金不足以弥补以前年度亏损的，在依照前款规定提取法定公积金之前，应当先用当年利润弥补亏损。公司从税后利润中提取法定公积金后，经股东大会决议，还可以从税后利润中提取任意公积金。公司弥补亏损和提取公积金后所余

53、税后利润，按照股东持有的股份比例分配，但本章程规定不按持股比例分配的除外。存在股东违规占用公司资金情况的，公司应当扣减该股东所分配的现金红利，以偿还其占用的资金。股东大会违反前款规定，在公司弥补亏损和提取法定公积金之前向股东分配利润的，股东必须将违反规定分配的利润退还公司。公司持有的本公司股份不参与分配利润。4、公司的公积金用于弥补公司的亏损、扩大公司生产经营或者转为增加公司资本。但是，资本公积金将不用于弥补公司的亏损。法定公积金转为资本时，所留存的该项公积金将不少于转增前公司注册资本的25%。5、公司股东大会对利润分配方案作出决议后，公司董事会须在股东大会召开后2个月内完成股利（或股份）的派

54、发事项。如股东存在违规占用公司资金情形的，公司在利润分配时，应当先从该股东应分配的现金红利中扣减其占用的资金。6、公司利润分配政策为：（1）利润分配的原则公司实施积极的利润分配政策，重视对投资者的合理投资回报，并保持连续性和稳定性。（2）利润分配的形式公司采取现金分配形式。在符合条件的前提下，公司应优先采取现金方式分配股利。公司一般情况下进行年度利润分配，但在有条件的情况下，公司董事会可以根据公司的资金需求状况提议公司进行中期现金分配。（3）现金分红的具体条件和比例在当年盈利的条件下，如无重大投资计划或重大现金支出等事项发生，公司每年以现金方式分配的利润应不低于当年实现的可分配利润的10%，且

55、连续三年以现金方式累计分配的利润不少于该三年实现的年均可分配利润的30%。公司董事会在制定以现金形式分配股利的方案时，应当综合考虑公司所处行业特点、发展阶段、自身经营模式、盈利水平等因素在当年实现的可供分配利润的20%-80%的范围内确定现金分红在本次利润分配中所占比例。独立董事应针对已制定的现金分红方案发表明确意见。7、公司利润分配决策机制与程序为：公司当年盈利且符合实施现金分红条件但公司董事会未做出现金利润分配方案的，应在当年的定期报告中披露未进行现金分红的原因以及未用于现金分红的资金留存公司的用途，独立董事应该对此发表明确意见。法人治理股东权利及义务1、公司召开股东大会、分配股利、清算及

56、从事其他需要确认股东身份的行为时，由董事会或股东大会召集人确定股权登记日，股权登记日收市后登记在册的股东为享有相关权益的股东。2、公司股东享有下列权利：（1）依照其所持有的股份份额获得股利和其他形式的利益分配；（2）依法请求、召集、主持、参加或者委派股东代理人参加股东大会，并行使相应的表决权；（3）依法请求人民法院撤销董事会、股东大会的决议内容；（4）对公司的经营进行监督，提出建议或者质询；（5）依照法律、行政法规及本章程的规定转让、赠与或质押其所持有的股份；（6）查阅本章程、股东名册、公司债券存根、股东大会会议记录、董事会会议决议、监事会会议决议、财务会计报告；（7）公司终止或者清算时，按其

57、所持有的股份份额参加公司剩余财产的分配；（8）对股东大会作出的公司合并、分立决议持异议的股东，要求公司收购其股份；（9）单独或者合计持有公司百分之10以上股份的股东，有向股东大会行使提案的权利；（10）法律、行政法规、部门规章或本章程规定的其他权利。3、股东提出查阅前条所述有关信息或者索取资料的，应当向公司提供证明其持有公司股份的种类以及持股数量的书面文件，公司经核实股东身份后按照股东的要求予以提供。4、公司股东大会、董事会决议内容违反法律、行政法规的，股东有权请求人民法院认定无效。股东大会、董事会的会议召集程序、表决方式违反法律、行政法规或者本章程，或者决议内容违反本章程的，股东有权自决议作

58、出之日起_日内，请求人民法院撤销。5、董事、高级管理人员执行公司职务时违反法律、行政法规或者本章程的规定，给公司造成损失的，连续180日以上单独或合并持有公司1%以上股份的股东有权书面请求监事会向人民法院提起诉讼；监事会执行公司职务时违反法律、行政法规或者本章程的规定，给公司造成损失的，股东可以书面请求董事会向人民法院提起诉讼。监事会、董事会收到前款规定的股东书面请求后拒绝提起诉讼，或者自收到请求之日起30日内未提起诉讼，或者情况紧急、不立即提起诉讼将会使公司利益受到难以弥补的损害的，前款规定的股东有权为了公司的利益以自己的名义直接向人民法院提起诉讼。他人侵犯公司合法权益，给公司造成损失的，本

59、条第一款规定的股东可以依照前两款的规定向人民法院提起诉讼。6、董事、高级管理人员违反法律、行政法规或者本章程的规定，损害股东利益的，股东可以向人民法院提起诉讼。7、公司股东承担下列义务：（1）遵守法律、行政法规和本章程；（2）依其所认购的股份和入股方式缴纳股金；（3）除法律、法规规定的情形外，不得退股；（4）不得滥用股东权利损害公司或者其他股东的利益；不得滥用公司法人独立地位和股东有限责任损害公司债权人的利益；公司股东滥用股东权利给公司或者其他股东造成损失的，应当依法承担赔偿责任。公司股东滥用公司法人独立地位和股东有限责任，逃避债务，严重损害公司债权人利益的，应当对公司债务承担连带责任。（5）

60、法律、行政法规及本章程规定应当承担的其他义务。8、持有公司_%以上有表决权股份的股东，将其持有的股份进行质押的，应当自该事实发生当日，向公司作出书面报告。9、公司的控股股东、实际控制人员不得利用其关联关系损害公司利益。违反规定的，给公司造成损失的，应当承担赔偿责任。公司控股股东及实际控制人对公司和公司社会公众股股东负有诚信义务。控股股东应严格依法行使出资人的权利，控股股东不得利用利润分配、资产重组、对外投资、资金占用、借款担保等方式损害公司和社会公众股股东的合法权益，不得利用其控制地位损害公司和社会公众股股东的利益。董事1、公司设董事会，对股东大会负责。董事会由5名董事组成。公司不设独立董事，