电镜第三章12

1、CRT样品PE(入射电子）X射线阴极荧光TE（透射电子）BE(背散射电子）SE（二次电子）Auger E（俄歇电子）AE（吸收电子）束感生电效应501005001000Xray激发区BE入射电子SE俄歇电子0.55m520信号激发范围 样品原子的外层电子受入射电子轰击后得到足够的能量克服逸出功而离开样品的电子。特点：90%的SE来自价电子的电离.能量较低.产生于近表面（50100），图象分辨率较高.SE的产率与表面起伏密切相关，而受样品成分的影响较小，主要带有表面形态的信息。 如果设二次电子的产率为，样品表面的倾角为，入射电流为ip，二次电子电流为is =（is/ip） （1/Cos）2060

2、100原子序数散射强度i是入射电子在样品中受到固体样品原子大角度散射后反方向射出的电子。包括弹性散射和非弹性散射。形成的像衬度与样品形貌有一定关系。但主要反映的是样品的成分差异。5. Auger电子电子 样品原子的内层电子被电离，其能量有元素特征 性，所以可以作元素分析。4. 透射电子透射电子：。入射自由电子KLM。Xray原子的K电离激发及其后的跃迁过程 a) K激发态 b)发射K光子自由电子入射电子Ka2特征X射线VL3L2L1Kab 但是不是任意壳层上的电子都可以填补任意壳上的空位，必须服从跃迁选择定则，每一种元素都有其X-ray的谱系，对这些谱系的鉴别就形成了元素分析的基础。8. 电子

3、束感生电效应 高能电子被样品吸收时会产生许多电子空穴对，在外电场的作用下，这 些载流子会运动，产生信号，称为束感生电流，这种效应对研究半导体的导 电性很有帮助 SEM由电子光学系统，扫描系统，信号检测放大系统，图象显示和记录系统，电源和真空系统组成。其成像过程如下： 对中线圈电子枪第一聚光镜第二聚光镜扫描线圈物镜消像散视频放大检测CRTCRT扫描发生器真空 电子枪发射出2050nm交叉斑直径的电子束 三级透镜聚焦(50 ) 样品表面 各种物理信号 检测器 视频信号 视频放大器 调制阴极射线管的电子强度 扫描图象普通热阴极电子枪、LaB6电子枪和场发射电子枪 30 以下。 两种新型电子枪与热钨丝

4、电子枪性能比较： 亮度（A/cm2sr） 电子源直径（m） 寿命（hr） 热钨丝 104105 2050 50 LaB6 105106 110 500 场发射 107108 0.010.1 5000 2 ）. 三级透镜聚焦，3 ）. 消像散器 消像散器置于物镜的下方。 SEM像散的特点：是在欠焦和过焦时，特征物的细节有方向性的拉长，需要调节消像散线圈的电流，产生合适的迭加磁场加以补偿，直到消除方向性的拉长。3. 信号检测放大系统信号检测放大系统物像SSM=7010，SEM分析中影响分辨率的主要因素： a. 电子束斑直径 .入射电子束在样品中的扩展效应 .操作方式及所用的调制信号 SE优于70B

5、E5002000TE（样品薄，无侧向扩散）与束斑相当70来自整个电子束散射区100010000以上 .信噪比，杂散磁场,机械振动引起的漂移入射电子束样品平面1样品平面2Ffd0理想样品平台SEM与TEM相比，样品适应性大l对样品尺寸适应大，可以从几百到几个cm3l样品种类的适应性大，干样品、湿样品、软样品、硬样品厚样品以及薄样品、导电样品、非导电样品、块状样品、粉末状样品均可，只要其存在形态、结构、成分差异的样品，都可以用SEM进行研究l辐照损伤及污染程度较小，I约为10-1010-12A,束斑小（几十几百），能量小（140KV），不固定（光栅扫描）。常用来观察生物样品，如花粉、孢子、细胞、线粒体、组织块、生物结晶、