第五章 真空光电器件

1、5.1 5.1 光电阴极光电阴极工作基础：工作基础：基于外光电效应的光电探测器件基于外光电效应的光电探测器件结构特点：结构特点：有一个真空管，其它元件都放在真空管中有一个真空管，其它元件都放在真空管中分类：分类：光电管和光电倍增管光电管和光电倍增管 入射光辐射的光子能量足够大时，它和金入射光辐射的光子能量足够大时，它和金属或半导体材料中的电子相互作用的结果使电子从物质表面逸属或半导体材料中的电子相互作用的结果使电子从物质表面逸出，出，-光电发射效应。光电发射效应。在空间电场的作用下就会形成在空间电场的作用下就会形成电流电流光电发射体光电发射体-能够产生光电发射效应的物体能够产生光电发射效应的物

2、体光电阴极光电阴极-应用中光电发射体常和电源的阴极相连，所以称为应用中光电发射体常和电源的阴极相连，所以称为光电发射效应光电发射效应-（1）光照灵敏度）光照灵敏度在一定的白光照射下，光电阴极光电流与入射的白光光通量在一定的白光照射下，光电阴极光电流与入射的白光光通量之比，也称为白光灵敏度或积分灵敏度之比，也称为白光灵敏度或积分灵敏度（2）色光灵敏度）色光灵敏度当入射光波长为某一段波长范围的光时，当入射光波长为某一段波长范围的光时，光电阴极光电流与入射的光通量之比。光电阴极光电流与入射的光通量之比。通过加滤光片来实现，比如蓝光灵敏度、通过加滤光片来实现，比如蓝光灵敏度、红光灵敏度、红外灵敏度等红

3、光灵敏度、红外灵敏度等（3）光谱灵敏度）光谱灵敏度确定波长的单色光照射时，光电阴极光电流与入射的光通量之确定波长的单色光照射时，光电阴极光电流与入射的光通量之比。比。 )(N)(NQPe入射的光子数与产生的电子数之比入射的光子数与产生的电子数之比 )(N)(NQPe量子效率与光谱灵敏度之间的关系量子效率与光谱灵敏度之间的关系光电阴极的光谱灵敏度或量子效率与入射光波长的关系曲线光电阴极的光谱灵敏度或量子效率与入射光波长的关系曲线由于电子热能较大，而可能逸出阴极表面，而产生热电子发射由于电子热能较大，而可能逸出阴极表面，而产生热电子发射室温下典型阴极每秒每平方米发射的热电子可室温下典型阴极每秒每平

4、方米发射的热电子可形成形成10-1610-17A/m2的电流的电流对于光电测量而言是噪声对于光电测量而言是噪声hv)(q)( Ieqhc)(S1240)(S透射型：透射型：光通过透明介质射向光电阴极，而电子从光光通过透明介质射向光电阴极，而电子从光电阴极的另一面发射出去电阴极的另一面发射出去光光电子电子反射型：反射型： 光照射到阴极上，电子从同一测射出光照射到阴极上，电子从同一测射出对阴极的厚度有要对阴极的厚度有要求求,不能太厚不能太厚光光电子电子阴极一阴极一般较厚般较厚具有良好的可见和近红外响应具有良好的可见和近红外响应透射型：透射型：3001200nm，反射型：，反射型：3001100nm

5、在可见光区域灵敏度较低，所以主要用于近红外探测在可见光区域灵敏度较低，所以主要用于近红外探测紫外和可见光区的灵敏度最高紫外和可见光区的灵敏度最高适合于测量较强的入射光适合于测量较强的入射光CsSb：锑和某一种碱金锑和某一种碱金属的化合物属的化合物锑和多种碱金属锑和多种碱金属的化合物的化合物具有高灵敏度的宽光谱响应，红具有高灵敏度的宽光谱响应，红外端可延伸到外端可延伸到930nm半导体光电阴极的光电子的逸出过程，以半导体光电阴极的光电子的逸出过程，以P型半导体为例型半导体为例V0EE 价带价带导带导带E0ECEVEgE0thE)EE(Ecog（电子亲合势）（电子亲合势）AEPN负电子亲合势负电子

6、亲合势-E EO OE EC1C1E EV1V1E EC2C2E EV2V2E EO OE EA1A1E EC1C1E EV1V1E EC2C2E EV2V2表面耗尽区表面耗尽区P PN N0负电子亲合势负电子亲合势1coAEEE加速加速特点：特点：1）量子效率高）量子效率高-因其因其逸出深度逸出深度高的多高的多2）光谱响应率均匀，且光谱响应延伸到红外）光谱响应率均匀，且光谱响应延伸到红外正电子亲合势光电阴正电子亲合势光电阴极的阈值波长为极的阈值波长为)nm(EE1240Ag0负电子亲合势光电负电子亲合势光电阴极的阈值波长为阴极的阈值波长为)nm(E1240g03）热电子发射小）热电子发射小因

7、负电子亲合势的光电材料的禁带宽度般比较宽因负电子亲合势的光电材料的禁带宽度般比较宽4）光电子的能量集中）光电子的能量集中-“日日”盲型光电阴极盲型光电阴极CsTe(长波限长波限0.32mm）CsI（长波限（长波限0.2m)目前比较常用的有目前比较常用的有5.2 5.2 光电管与光电倍增管光电管与光电倍增管阴极阴极K K阳极阳极A AI IR RL LU UoutoutU Ub b真空型真空型充气型：充气型：有有倍增作用倍增作用光电倍增管比光电管增加的电子光学系统和电子倍增极，因光电倍增管比光电管增加的电子光学系统和电子倍增极，因此极大地提高了灵敏度此极大地提高了灵敏度光电倍增管光电倍增管-是建

8、立在光电子发射效应，二次电子发射是建立在光电子发射效应，二次电子发射效率应基础上，能将微弱光信号转换成光电子并将光电子效率应基础上，能将微弱光信号转换成光电子并将光电子数目放大的真空光电发射器件。数目放大的真空光电发射器件。电子光学系统电子光学系统阴极阴极K KA A阳极阳极AU U1 1U U2 2U U5 5U U6 6U U3 3D D2 2U U4 4D D3 3D D1 1D D4 4D D5 5每一倍增极之间的电压为每一倍增极之间的电压为50-150V50-150V。每每7-107-10个光子从光电阴极发射出个光子从光电阴极发射出1-31-3个电子。个电子。电子被加速打在倍增极上，

9、每电子被加速打在倍增极上，每1 1个电子可以打出个电子可以打出3-63-6个电子。个电子。一直持续下去直到最后一个倍增极一直持续下去直到最后一个倍增极, ,电子数量达到电子数量达到10105 5-10-108 8，最后这些电子被吸引到阳极形成电流输出。电流的大小正比于光阴极接受最后这些电子被吸引到阳极形成电流输出。电流的大小正比于光阴极接受的光子数目，即正比于探测器吸收的辐射通量或照度。的光子数目，即正比于探测器吸收的辐射通量或照度。工作原理工作原理反射式光反射式光电阴极电阴极透射式光透射式光电阴极电阴极硼硅玻璃：硼硅玻璃：透射范围从透射范围从300nm红外红外透紫外玻璃：透紫外玻璃：可透过的

10、最短波长为可透过的最短波长为185nm，但化学稳定性，但化学稳定性较差较差-决定了入射光的透过情况决定了入射光的透过情况侧窗式侧窗式端窗式端窗式熔融石英：熔融石英：可透过的最短波长为可透过的最短波长为160nm蓝宝石：蓝宝石：可透过的最短波长为可透过的最短波长为150nmMgF2: 可透过的最短波长为可透过的最短波长为115nm是指：阴极到第一是指：阴极到第一倍增极之间的电极倍增极之间的电极空间，包括光电阴空间，包括光电阴极、聚焦极、加速极、聚焦极、加速极及第一倍增极。极及第一倍增极。作用：作用：使光电子尽可能的汇集到第一倍增集使光电子尽可能的汇集到第一倍增集上，而将热发射的杂乱电子散射掉上，

11、而将热发射的杂乱电子散射掉尽量使电子的渡越时间相同尽量使电子的渡越时间相同电子光学系统电子光学系统二次电子二次电子发射系数发射系数12NN材料吸收一次电子的能量，跃迁到高能态，脱离材料吸收一次电子的能量，跃迁到高能态，脱离原子的速缚，称为内二次电子原子的速缚，称为内二次电子内二次电子中速度指向表面的电子向表面运动内二次电子中速度指向表面的电子向表面运动穿过表面势垒区发射到真空中穿过表面势垒区发射到真空中主要银氧和锑銫两种化合物，它们即可做光电发射材料，也可做二次电子主要银氧和锑銫两种化合物，它们即可做光电发射材料，也可做二次电子发射材料发射材料氧化物型，氧化镁、氧化钡氧化物型，氧化镁、氧化钡合

12、金型，银镁、铝镁、铜镁、铜铍合金型，银镁、铝镁、铜镁、铜铍负电子亲合势材料，如铯激活的磷化镓负电子亲合势材料，如铯激活的磷化镓一般为一般为3-63-6个个可达可达20-2520-25个个N N1 1入射光子数入射光子数N N2 2出射光电数出射光电数有聚焦型和非聚焦型两大类。有聚焦型和非聚焦型两大类。聚焦型聚焦型-鼠笼式、直线聚焦式鼠笼式、直线聚焦式非聚焦型非聚焦型-盒栅式、百叶窗式、近贴栅网式、盒栅式、百叶窗式、近贴栅网式、微通道板式微通道板式AKU Uoutout阴极阴极K KA A阳极阳极D D2 2E=700-3000VE=700-3000VD D3 3D D1 1D D4 4D D5

13、 5R R6 6R R3 3R R2 2R R1 1R R4 4R R5 5R RL LI IP P5.3 光电倍增管的主要特性参数光电倍增管的主要特性参数阴极光谱灵敏度阴极光谱灵敏度窗口材料窗口材料光电阴极材料光电阴极材料阳极光谱灵敏度阳极光谱灵敏度光电倍增管放大系数光电倍增管放大系数l阴极灵敏度：阴极输出电流与入射光通量之比阴极灵敏度：阴极输出电流与入射光通量之比KKISI IK KI IK K阴极阴极K KA A阳极阳极AD2D3D1D4D5白光灵敏度白光灵敏度单色灵敏度，或光谱灵敏度单色灵敏度，或光谱灵敏度以阴极为一极，其它倍增极和阳极连在一起为一以阴极为一极，其它倍增极和阳极连在一起

14、为一极，即无倍增时的光电流与入射辐射通量之比值。极，即无倍增时的光电流与入射辐射通量之比值。l阳极灵敏度：阳极灵敏度：阴极输出电流与入射光通量之比阴极输出电流与入射光通量之比PPIS I IP P白光灵敏度白光灵敏度蓝光灵敏度、红光灵敏度蓝光灵敏度、红光灵敏度各种单色灵敏度各种单色灵敏度光电倍增管正常工作下的总输出电流与入射辐射通光电倍增管正常工作下的总输出电流与入射辐射通量之比值。量之比值。阴极阴极K KA A阳极阳极AU1U2U5U6U3D2U4D3D1D4D5k12CUNN二次电子发射系数二次电子发射系数与极间电压的关系与极间电压的关系C是常数是常数k一般为一般为0.70.8设第一，第二

15、、第三、设第一，第二、第三、第、第N极的倍增系数分别为：极的倍增系数分别为：N321,.,且电子光学系统的电子收集率为：且电子光学系统的电子收集率为：则阳极光电电流和阴极电流的关系为则阳极光电电流和阴极电流的关系为N321KP.II设各倍增系数都为设各倍增系数都为则：则：kNNUCKPIIM Nk)CU(NkNkNNE)1N(CkNN)1NE(CkNAE正常工作状态下正常工作状态下,但无信号光照的情况下但无信号光照的情况下,阳极的电流输出阳极的电流输出（1）阴极的热电子发射是主要原因。）阴极的热电子发射是主要原因。 只能通过降低阴极温度来减弱。只能通过降低阴极温度来减弱。（2）支撑电极的绝缘体

16、的漏电。保持清洁）支撑电极的绝缘体的漏电。保持清洁（3）高压电场产生离子反馈）高压电场产生离子反馈,进而形成光反馈进而形成光反馈器件本身的散粒噪声：器件本身的散粒噪声：对于一些不连续的量对于一些不连续的量,如电子发射如电子发射,光子发射光子发射,电子流等电子流等,其发射率在平均值附近上下起伏其发射率在平均值附近上下起伏,而产而产生噪声生噪声.-大部分由阴极的热电子发射引起大部分由阴极的热电子发射引起器件本身的热噪声器件本身的热噪声负载电阻的热噪声负载电阻的热噪声光电阴极和倍增极的闪烁噪声光电阴极和倍增极的闪烁噪声(1/f噪声噪声)fqI2i2n一般采用冷却的方法来抑制，但有几点要注意一般采用冷

17、却的方法来抑制，但有几点要注意.光电阴极的光谱响应曲线会随温度而变化，光电仪器定光电阴极的光谱响应曲线会随温度而变化，光电仪器定标时的工作温度必须和测量温度相同标时的工作温度必须和测量温度相同光电阴极（如光电阴极（如CsSb)CsSb)的电阻会随温度一降而很快增加，的电阻会随温度一降而很快增加，结果光电流改变了阴极的电位分布，从而影响第一倍增极结果光电流改变了阴极的电位分布，从而影响第一倍增极的光电子收集效率的光电子收集效率冷却时要防止光入射窗上凝结水汽，引起入射光线的散冷却时要防止光入射窗上凝结水汽，引起入射光线的散射，同样在管座上也易引起高压击穿和漏电流射，同样在管座上也易引起高压击穿和漏

18、电流致冷温度不能过低，否则可能会引起阴极和倍增极材料致冷温度不能过低，否则可能会引起阴极和倍增极材料的损坏，或者是玻壳封结处裂开的损坏，或者是玻壳封结处裂开2 2）阳极伏安特性曲线）阳极伏安特性曲线2351015I IA A(A)(A)UP(V)5050100100相应于不同辐射通量值的阳极伏安相应于不同辐射通量值的阳极伏安特性示于图中，它表示阳极电流特性示于图中，它表示阳极电流 I IP P 对于最后一级倍增极和阳极间的电对于最后一级倍增极和阳极间的电压压U U的关系。作此曲线时，其余各电的关系。作此曲线时，其余各电极的电压保持恒定。极的电压保持恒定。1 1）阴极伏安特性曲线）阴极伏安特性曲

19、线2351015I IK K(nA)(nA)UK(V)5050100100它表示阴极电流它表示阴极电流 I IK K 与与阴极与第一倍阴极与第一倍增极之间电压的关系。增极之间电压的关系。-表征阳极电流与阴极光通量之间关系。表征阳极电流与阴极光通量之间关系。在一定的光照度范围内，光电倍增管的输出与在一定的光照度范围内，光电倍增管的输出与入射光功率保持正比例关系，但是随着入射光入射光功率保持正比例关系，但是随着入射光强的增强，在最后几级倍增极上出现较大的电强的增强，在最后几级倍增极上出现较大的电流，倍增极的次级电子发射因大量发射电子而流，倍增极的次级电子发射因大量发射电子而出现疲劳效应，又由于较大

20、的电流形成显著的出现疲劳效应，又由于较大的电流形成显著的空间电荷而使电子的加速受阻，因此使增益降空间电荷而使电子的加速受阻，因此使增益降低。低。工作在饱合区时信号会失真。工作在饱合区时信号会失真。I IP P线性区线性区饱合区饱合区5.4 光电倍增管的供电和信号输出电路光电倍增管的供电和信号输出电路5.4.1 高压电源高压电源要求稳定度在要求稳定度在0.01%0.05%之间之间5.4.2 高压分压电路高压分压电路-将高压分配在各极之间的电路将高压分配在各极之间的电路阴极阴极K KA A阳极阳极D D2 2E ED D3 3D D1 1D D4 4D D5 5R R6 6R R3 3R R2 2

21、R R1 1R R4 4R R5 5I IP PbIA0bI-阴极阴极K KA A阳极阳极D D2 2U UD D3 3D D1 1D D4 4D D5 5R R6 6R R3 3R R2 2R R1 1R R4 4R R5 5R RL LI IP PbICs阴极阴极K KA A阳极阳极D D2 2U UD D3 3D D1 1D D4 4D D5 5R R6 6R R3 3R R2 2R R1 1R R4 4R R5 5U UoutoutR RL LI IP P5.4.3 分压电流与输出线性的关系分压电流与输出线性的关系分压电流：流经分压电路的电流分压电流：流经分压电路的电流bIA段：段：当

22、入射光比较弱时，流经各分压电阻的电流差别当入射光比较弱时，流经各分压电阻的电流差别不大，所以此时成线性不大，所以此时成线性B段：段：当入射光再增强，前面几级所分得的电压明显增大，当入射光再增强，前面几级所分得的电压明显增大，使它们的二次电子发射系数增大，而这种改变又一步使它们的二次电子发射系数增大，而这种改变又一步步的被放大，所以使输出电流的放大倍数增大步的被放大，所以使输出电流的放大倍数增大C段：段：当入射光再增强，用电器上的电压降比较大，使最后一级与阳级之间的电当入射光再增强，用电器上的电压降比较大，使最后一级与阳级之间的电压被显著降低，使电子的收集率大大降低，从而进入饱和区压被显著降低，

23、使电子的收集率大大降低，从而进入饱和区bI一般光电流的最大直流输出为分压电流的一般光电流的最大直流输出为分压电流的1/201/50，从而使光，从而使光电流的改变不能对各分压电阻上的电压造成显著的影响电流的改变不能对各分压电阻上的电压造成显著的影响 要增大线性输出范围，通常采用两种方法：要增大线性输出范围，通常采用两种方法：减小分压电阻的阻值来增加分减小分压电阻的阻值来增加分压电流压电流在最后一倍增极和阳极之间使在最后一倍增极和阳极之间使用一只齐纳二极管，如果必要倒用一只齐纳二极管，如果必要倒数第二、第三极也可以使用数第二、第三极也可以使用5.4.4 信号输出方式信号输出方式在频率响应要求比较高

24、的场合，负载电阻应尽量可能小一些在频率响应要求比较高的场合，负载电阻应尽量可能小一些当输现信号的线性要求较高时，选择的负载电阻应使信号电流当输现信号的线性要求较高时，选择的负载电阻应使信号电流在它上面的电压降在几伏以下在它上面的电压降在几伏以下负载电阻应比放大器的输入阻抗小得多负载电阻应比放大器的输入阻抗小得多LscRC21fLinL0RR/RR0UfP0RIU 0+5.5 微通道板光电倍增管微通道板光电倍增管微通道的排列+高压电子入口电子出口微通道板的结构：微通道板的结构：微通道板是由成千微通道板是由成千上万个直径为上万个直径为1540m、长度为、长度为0.61.6mm的微通道组成的，微通道

25、的微通道组成的，微通道的内壁镀有高阻值的二次电子发射材的内壁镀有高阻值的二次电子发射材料。料。微通道板的工作原理微通道板的工作原理用微通道板代替传统光电倍增管中用微通道板代替传统光电倍增管中的电子倍增器的光电倍增管的电子倍增器的光电倍增管为了减小微通道内残存离子的影响，为了减小微通道内残存离子的影响，防止雪崩击穿中，通常使用防止雪崩击穿中，通常使用Z形的形的折线通道折线通道优点：优点：尺寸大为缩小尺寸大为缩小 响应速度大大提高响应速度大大提高5.6 光电倍增管的应用光电倍增管的应用5.6.1光谱测量光谱测量以其光谱响应范围宽而被广泛应用于：生产过程控制、无素的以其光谱响应范围宽而被广泛应用于：

26、生产过程控制、无素的测定、各种化学分析和冶金学分析仪器中测定、各种化学分析和冶金学分析仪器中5.6.2 极微弱光信号的测量极微弱光信号的测量-光子计数光子计数一般测量范围为：一般测量范围为：大于大于10-18W(每秒约每秒约10个个光子左右光子左右)，小于，小于10-14W(每秒约每秒约105个光子个光子)5.6.2 射线的探测射线的探测-将闪烁晶体与将闪烁晶体与光电倍增管结合光电倍增管结合在一起来测量高在一起来测量高能粒子能粒子xy1.1.若某一光电倍增管的阴极是用半导体若某一光电倍增管的阴极是用半导体GaAsGaAs做成，已知做成，已知GaAsGaAs的电子亲的电子亲合势为合势为4eV4eV，禁带宽度为，禁带宽度为1 1.4eVeV，则能使这种阴极产生电子发射的长波限是多，则能使这种阴极产生电子发射的长波限是多少？少？如果通过表面处理，使阴极